Swagelok®ダイヤフラム・バルブ
Swagelokダイヤフラム・バルブを使用すると、効率的に流れを締め切りながら、システム効率を向上させることができます。流路から障害物を一掃したデザインを採用しているため、たまり部分を最小限に抑えると同時にパージを促進することができます。長いサイクル・ライフを実現すると共に、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができるため、高純度および超高純度（UHP）アプリケーションのシステム要件に適合します。
ダイヤフラム・バルブを見るSwagelokダイヤフラム・バルブは、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができるため、高純度および超高純度（UHP）アプリケーションのニーズに適合します。流量係数（Cv値）は0.20～13です。流路から障害物を一掃したデザインおよび耐食性に優れた構造を採用しているため、清浄度が重要なアプリケーションに適しています。アクチュエーターは手動式、空気式、ロッキング・ハンドルから選ぶことができます。
ダイヤフラム・バルブは、原子層蒸着（ALD）用、大流量用、集積化ガス・システム用、サーマル・イマージョン用やフルオロポリマー製があり、超高純度のさまざまなアプリケーションに適しています。
- Swagelokスプリングレス・ダイヤフラム・バルブ（ 集積化ガス・システム 用）は取り付けが容易で、流れの方向を一目で確認することができます。熱安定性を向上させるシート設計を採用しています。
- Swagelokダイヤフラム・バルブ（バルク・ガス供給用）は、優れた強度および柔軟性、長いサイクル・ライフを兼ね備えており、超高純度締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用など、さまざまなアプリケーションに対応することができます。
- Swagelokサーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブは、高温／高純度環境において完全に封止することができるため、原子層蒸着（ALD） やプリカーサー供給アプリケーションに適しています。
- Swagelok超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブは、超高純度の薬液供給システム、超純水システム、薬液のバルク供給システムに対して強力なソリューションを提供します。
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Беспружинные мембранные клапаны для модульных газовых систем, 1,125 дюйма, серия DE
Надежные и современные регулирующие клапаны с беспружинной конструкцией идеально подходят для эффективной работы в модульных газовых системах.
Высокотемпературные погружные мембранные клапаны, серия DH
Les vannes à membrane pour immersion à haute température sont utilisées dans des process comme le dépôt par couche atomique (ALD) et l’alimentation en gaz précurseurs.
バルク・ガス供給用ダイヤフラム・バルブ、LDシリーズ
Предлагаются мембраны для распределения и отсечения газов в больших объемах и с высоким расходом в системах сверхвысокой степени чистоты.
ダイヤフラム・バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。
Features: 1.125 in. C-seal and W-seal designs; Available in two- and three-port configurations; Compact pneumatic and manual actuators; Pneumatic actuator indicator ball: red for normally closed, green for normally open; Fixed orientation of actuator to body for consistency of installation; Corner chamfers on outlet side of body for visual indication of flow direction
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
Features: Pneumatic and quarter-turn manual 2-way and 3-way models; pneumatic and manual models with adjustable flow and bypass features; DuPont® Teflon® modified PTFE wetted parts and polypropylene actuator; Meet SEMI Standard F57-0301 for ultrahigh-purity system components; Fine thread flare and Nippon Pillar® Super 300 end connections standard; space saver and other end connections available; Custom manifolds and subassemblies available
Etanchéité vers l’atmosphére par membrane métallique, Pressions de service allant du vide à 241 bar (3500 psig), Températures de –73 à 121°C (–100 à 250°F)
Convient aux applications haute pureté; Corps en acier inoxydable 316L VIM-VAR; Modèles basse et haute pression; Raccordements VCR®, tube à souder bout à bout et raccordements pour montage modulaire en surface; Commande manuelle ou pneumatique
Pressions de service jusqu’à 20,6 bar (300 psig); Fonctions d’arrêt, réseau de distribution de gaz, et d’isolation; Matériau du corps en acier inoxydable moulé, forgé et usiné dans la masse; Raccordements d’extrémité de 12 à 25 mm et de 1/4 à 1 po.
Features: 316L VAR stainless steel body; Working pressures up to 300 psig (20.6 bar); 1/4, 3/8, and 1/2 in.; 10 and 12 mm end connections
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