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Membranventil

Membranventile von Swagelok®

Mit den Membranventilen von Swagelok lässt sich die Systemleistung optimieren und gleichzeitig für eine effektive Absperrung des Durchflusses sorgen, während Einschlussbereiche minimiert und durch einen Fließweg ohne Totzonen die Spülung erleichtert wird. Ausgelegt für die Systemanforderungen von hochreinen und ultrahochreinen Anwendungen zeichnen sich Membranventile durch eine lange Lebensdauer aus und sind in vielen unterschiedlichen Größen, Werkstoffen und Konfigurationen erhältlich.

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Ausgelegt für die Anforderungen von hochreinen und ultrahochreinen Anwendungen sind die Membranventile von Swagelok in unterschiedlichen Größen, Werkstoffen und Konfigurationen und mit Durchflusskoeffizienten von 0,20 bis 13 erhältlich. Dank des Fließwegs ohne Totzonen und der korrosionsbeständigen Konstruktionswerkstoffe sind sie die ideale Wahl für Anwendungen, in denen es auf eine hohe Reinheit ankommt. Anwender können aus einem umfassenden Angebot aus manuellen, pneumatischen und absperrenden Handgriff- und Stellantriebsoptionen wählen.

Die Membranventile von Swagelok eigenen sich für Anwendungen zur Atomlagenabscheidung (ALD), in modularen Gassystemen, zur Wärmeimmersion sowie für ultrahochreine Anwendungen, für die Komponenten aus Fluorpolymer erforderlich sind.

  • Die federlosen Membranventile von Swagelok für modulare Gassysteme sind einfach zu installieren, zeigen die Durchflussrichtung visuell an und zeichnen sich durch eine Sitzkonstruktion aus, die die thermische Stabilität verbessert.
  • Die Membranventile für Bulkgassysteme von Swagelok halten nicht nur großer Beanspruchung stand, sondern zeichnen sich außerdem durch ein hohes Maß an Flexibilität und eine lange Lebensdauer für die sichere Absperrung, Gasverteilung und Isolierung in ultrahochreinen Anwendungen aus.
  • Die Membranventile zur Wärmeimmersion von Swagelok können in hochreinen Umgebungen bei hohen Temperaturen eingesetzt werden und sind daher eine ausgezeichnete Wahl für Anwendungen zur Atomlagenabscheidung (ALD) und entsprechend vorgelagerte Prozesse.
  • Die ultrahochreinen Fluorpolymer-Membranventile der Serie DRP von Swagelok sind eine robuste Lösung für Systeme zur Verteilung von ultrahochreinen Chemikalien, deionisiertem Wasser (VE-Wasser) und großen Chemikalienmengen.

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ダイヤフラム・バルブのカテゴリー

サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ、DHシリーズ

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サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブは、原子層蒸着(ALD)/プリカーサー供給アプリケーションなどの高温プロセスに適しています。

スペアー・パーツ/アクセサリー

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ダイヤフラム・バルブのメンテナンスを行う際の交換用部品/アクセサリー(ダイヤフラム・キット、シール・キット、ステム・キット、アクチュエーター交換キットなど)を幅広く取り揃えています。

バルク・ガス供給用ダイヤフラム・バルブ、LDシリーズ

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大流量アプリケーション向けのダイヤフラム・バルブは、超高純度締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用など、さまざまなニーズに応えます。

マルチ・バルブ・マニホールド

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ダイヤフラム・バルブを使用したマルチバルブ・マニホールドは、信頼性の高いパフォーマンスを発揮し、高純度かつ精密な流体制御を実現します。

超高純度 / 高圧用ダイヤフラム・バルブ、DPHシリーズ

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超高純度/高圧用ダイヤフラム・バルブは、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができ、幅広いアプリケーションに適合します。

超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ、DRPシリーズ

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フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブは、流路から障害物を一掃したデザインで応力や流体のコンタミネーションを最小限に抑えると同時に、超高純度薬液システムのパフォーマンスおよび耐久性を最大限に高めます。

超高純度用大流量ダイヤフラム・バルブ、DFシリーズ

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大流量用スプリングレス・ダイヤフラム・バルブは、長いサイクル・ライフを実現します。スプリングやねじを使用していないため清浄度が向上し、流路から障害物を一掃したデザインを採用することでパージ性を強化しています。

超高純度用締め切り型ダイヤフラム・バルブ、DPシリーズ

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超高純度用締め切り型ダイヤフラム・バルブには、ストレート型(手動式アクチュエーター付き)、マルチポート、集積型(MSM)(一体型アクチュエーター付き)があります。

集積化ガス・システム用スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ、1.125インチ、DEシリーズ

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本バルブは、スプリングレス構造を採用し、信頼性およびパフォーマンスの向上を図っています。集積化ガス・システムのオペレーションの効率化に最適です。

高純度/高圧用ダイヤフラム・バルブ、DL/DSシリーズ

高純度/高圧用ダイヤフラム・バルブ、DL/DSシリーズ

高純度/高圧用ダイヤフラム・バルブは、ステムの先端がソフト・シート(プラスチック製)の変形を最小限に抑えるよう設計されており、繰り返し締め切ることが可能です。底部取り付けまたはパネル取り付けを選ぶことができます。

ダイヤフラム・バルブのカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。

流量係数(C<sub>v</sub>値)計算ツール

流量を計算して適切なバルブを選定する

流量係数(Cv値)計算ツールを使用することで、ニーズに適したサイズのバルブを選定することができます。

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