Клапаны Swagelok® для атомно-слоевого осаждения (ALD)
Клапаны Swagelok сверхвысокой чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают сверхвысокий циклический срок службы, высокую скорость срабатывания, уровни расхода, термопогружение и исключительную чистоту, необходимые для прецизионного дозирования и максимального увеличения выхода годных кристаллов в современном полупроводниковом производстве.
Запросить информацию о клапанах ALDПознакомив мир с клапанами ALD, мы продолжаем тесно сотрудничать с изготовителями полупроводников с целью дальнейшей модернизации своих устройств, которые обеспечат высочайшие уровни точности, единообразия, чистоты и длительный срок службы, необходимые для соответствия стремительным темпам внедрения инноваций в отрасли. ALD-клапаны Swagelok® повышают эффективность производства микросхем и устраняют трудности, которые часто связаны с процессами атомно-слоевого осаждения.
Наши клапаны сверхвысокой степени чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают:
- Сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания
- Cv в диапазоне от 0,27 до 1,7
- Указанные модели обеспечивают устойчивую работу вплоть до 200°С (392°F)
- Вариант исполнения с электронным или оптическим датчиком положения привода
- Применение в условиях сверхвысокой чистоты
- Модульное торцевое соединение для монтажа на поверхность, торцевые соединения под приварку встык и VCR®
원자층 증착(ALD) 밸브 카테고리
UHP 다이어프램 밸브, ALD3 및 ALD6 시리즈
ALD3 및 ALD6 다이어프램 밸브는 원자층 증착(ALD) 애플리케이션에서 매우 긴 수명, 고속 작동, 강력한 성능을 제공합니다.
UHP 다이어프램 밸브, ALD7 시리즈
Swagelok® ALD7 초고순도 다이어프램 밸브는 반도체 제조 애플리케이션에서 칩 수율을 극대화하는 데 필요한 정밀도와 일관성을 제공합니다.
Каталоги клапанов для атомно-слоевого осаждения (ALD)
Получите подробные сведения о продукции, в том числе о материалах изготовления, номинальных параметрах давления и температуры, вариантах исполнения и вспомогательных принадлежностях.
원자층 증착 (ALD) 용 다이어프램 밸브 고속 개폐 시에도 매우 긴 수명 유지 ; Cv 범위 0.27 ~ 0.62; 고온용 개폐기로 200°C (392°F)까지 사용가능; 전자 개폐기 위치 감지 옵션; 초고순도 사양에 적합한 316L VIM-VAR 스텐레스강 몸체; VCR®, 튜브 맞대기 용접 및 블럭 조립식 연결구
Один новый клапан и три причины, которые позволят ему изменить производство полупроводников
Узнайте, как новейшие достижения в технологии ALD (атомно-слоевое осаждение) меняют ситуацию на рынке высокотехнологичного производства полупроводников.
Узнайте больше о периодической таблицеРесурсы Swagelok специально для вас
최적의 합금으로 반도체 수율 향상
반도체 제조업체가 어떻게 하면 핵심 유체 시스템 부품에 적절한 합금을 선택하여 종합적인 생산 수율과 장기 수익성을 높일 수 있는지 알아보십시오.
Q&A: 반도체 제조의 과거와 현재, 그리고 미래
반도체 장비 OEM, 마이크로칩 제조업체, 유체 시스템 솔루션 제공업체가 어떻게 지난 몇십 년 동안 협력을 통해 반도체 시장이 무어의 법칙에 따른 수요를 충족하도록 해왔으며, 이제부터는 어떻게 해야 할 것인지 알아보십시오.
Fiber Optics Equipment Manufacturer Increases Efficiency with Customized Solutions
Since the 1980s, Rosendahl Nextrom has depended on Swagelok to move its business forward. Learn more about the solutions that allowed the company to outpace its competitors and remain an industry leader.
Reliable Fluid System Solutions for the Scientific Frontier
Learn why Finnish dilution refrigerator manufacturer Bluefors trusts Swagelok for fluid system components and solutions that help enable quantum computing, experimental physics, and more.