
Swagelok®集積化ガス・システム用スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ(DEシリーズ)
Swagelokスプリングレス・ダイヤフラム・バルブ DEシリーズは、容易に取り付けることができます。流れの方向を一目で確認可能で、熱安定性を向上させるシート・デザインを採用しています。
詳細について問い合わせるSwagelokスプリングレス・ダイヤフラム・バルブ DEシリーズを使用すると、超高純度の集積化ガス供給システムにおいて、容易な取り付け、信頼性の高いパフォーマンス、優れた純度を実現することができます。
主な特徴
- バルブ・ボディは316L VIM-VARステンレス鋼製で、耐食性に優れ、超高純度規格を維持します。
- 集積化ガス・システムのCシール/Wシール(1.125 インチ・サイズ)に対応します。
- 完全に組み込まれたPFA製シートでコンタミネーションを防止して純度を高めると共に、重要なアプリケーションにおける熱安定性の向上を実現します。
- 2ポート/3ポートの形状でさまざまなシステム要件に対応します。
- アクチュエーターの作動型式は空気式または手動式を選ぶことができ、柔軟なオペレーションを実現しながら、コンパクトなフットプリント(設置面積)を維持します。
- ボディに対するアクチュエーターの向きが一定のため、一貫した取り付けが可能で、アライメント(位置合わせ)のミスを最小限に抑えます。
- ボディの二次側ポート側にある面取りした角で流れの方向を一目で確認することが可能なため、取り付けやシステムのセットアップ時に役立ちます。
仕様
作動圧力範囲 | 真空~0.86 MPa |
破裂時 | >22.0 MPa |
操作時 | ノーマル・クローズ型:0.41~0.82 MPa ノーマル・オープン型/ハイブリッド式(手動式ロッキング・ハンドル/空気作動式):0.41~0.62 MPa |
使用温度範囲 | –10°~65°C |
流量係数(Cv値) | 0.3 |
ボディ材質 | 316L VIM-VARステンレス鋼 |
ダイヤフラム材質 | コバルト基超合金 |
エンド・コネクション | タイプ:集積モデル(サイズ:1.125 インチ) 形状:2ポート、3ポート |
スプリングレス・ダイヤフラム・バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。
■ 1.125 インチ集積サイズのCシール/Wシール・デザイン/■ 形状:2 ポート/3ポート/■ アクチュエーター作動型式:空気式/手動式/■ ボディに対するアクチュエーターの向きが一定のため、一貫した取り付けが可能/■ 二次側のボディの角を面取りしているため、流れの方向が一目で確認可能

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