text.skipToContent text.skipToNavigation
원자층 증착(ALD) 밸브

Клапаны Swagelok® для атомно-слоевого осаждения (ALD)

Клапаны Swagelok сверхвысокой чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают сверхвысокий циклический срок службы, высокую скорость срабатывания, уровни расхода, термопогружение и исключительную чистоту, необходимые для прецизионного дозирования в современном полупроводниковом производстве.

Запросить дополнительную информацию

Наши высокоэффективные клапаны для атомно-слоевого осаждения — яркий пример того, как компания Swagelok в течение длительного времени обеспечивала ответственное техническое руководство в отрасли производства полупроводников. Познакомив мир с клапанной технологией ALD, компания Swagelok тесно сотрудничала с заказчиками из полупроводниковой отрасли, чтобы понять их потребности, а затем создать клапаны ALD, обеспечивающие высочайшие уровни точности, единообразия, чистоты и длительный срок службы, необходимые для соответствия стремительным темпам внедрения инноваций в отрасли. Наши клапаны сверхвысокой степени чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают:

  • сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания;
  • коэффициенты расхода от 0,27 до 1,7;
  • работу с полным погружением при температуре до 392 °F (200 °C) с термостойкими приводами;
  • пригодность для применения в сверхчистых системах со стандартными корпусами клапанов из нержавеющей стали 316L VIM-VAR;
  • модульные соединения для монтажа на поверхность, соединения под приварку встык и торцевые соединения Swagelok VCR®;
  • вариант исполнения с электронным или оптическим датчиком положения привода.

Каталоги клапанов для атомно-слоевого осаждения (ALD)

Получите подробную информацию о продукции, в том числе о материалах изготовления, номинальных параметрах давления и температуры, вариантах исполнения и вспомогательных принадлежностях.

반도체 산업용 스웨즈락 ALD20 UHP 밸브의 클린룸 조립

Один новый клапан — и три причины, которые позволят ему изменить производство полупроводников

Узнайте, как новейшие достижения в технологии производства клапанов для атомно-слоевого осаждения (ALD) меняют условия игры в сфере высокотехнологичного производства полупроводников.

Узнайте больше о периодической таблице

Ресурсы Swagelok специально для вас

스웨즈락 유체 시스템 부품은 반도체 제조 환경에 견디도록 설계된 재질들로 만들어졌습니다.
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов

Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.

Carl White는 반도체 산업 내 다양한 분야에서 40년이 가까이 종사했으며, 반도체 산업 발전의 과거와 현재, 그리고 미래에 관한 인사이트를 제공합니다.
Вопросы и ответы. Полупроводниковое производство — вчера, сегодня, завтра

Узнайте, как сотрудничество между OEM-производителями оборудования, производителями микросхем и поставщиками решений для жидкостных и газовых систем позволило полупроводниковой отрасли десятилетиями придерживаться закона Мура, а также о том, куда двигаться дальше.

운영 효율을 극대화하기 위한 Rosendahl Nextrom과 스웨즈락의 협력
Производитель оптоволоконного оборудования повышает эффективность с помощью специализированных решений

С 1980-х годов Rosendahl Nextrom полагается на компанию Swagelok в развитии своего бизнеса. Узнайте больше о решениях, которые позволили компании обойти конкурентов и остаться в числе отраслевых лидеров.

희석 냉동기 제조업체인 Bluefors사는 스웨즈락 유체 시스템 부품과 솔루션을 신뢰합니다.
Надежные решения в жидкостных и газовых системах для новых научно-исследовательских возможностей

Узнайте, почему финская компания-производитель криогенных рефрижераторов Bluefors доверяет компонентам и решениям Swagelok для жидкостных и газовых систем, которые способствуют развитию сферы квантовых вычислений, экспериментальной физики и других направлений.

Этот процесс может занять несколько минут. Дождитесь его завершения и не покидайте страницу.