text.skipToContent text.skipToNavigation
Клапаны для атомно-слоевого осаждения (ALD)

Клапаны Swagelok® для атомно-слоевого осаждения (ALD)

Клапаны Swagelok сверхвысокой чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают сверхвысокий циклический срок службы, высокую скорость срабатывания, уровни расхода, термопогружение и исключительную чистоту, необходимые для прецизионного дозирования и максимального увеличения выхода годных кристаллов в современном полупроводниковом производстве.

Запросить информацию о клапанах ALD

Познакомив мир с клапанами ALD, мы продолжаем тесно сотрудничать с изготовителями полупроводников с целью дальнейшей модернизации своих устройств, которые обеспечат высочайшие уровни точности, единообразия, чистоты и длительный срок службы, необходимые для соответствия стремительным темпам внедрения инноваций в отрасли. ALD-клапаны Swagelok® повышают эффективность производства микросхем и устраняют трудности, которые часто связаны с процессами атомно-слоевого осаждения.

Наши клапаны сверхвысокой степени чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают:

  • Сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания
  • Cv в диапазоне от 0,27 до 1,7
  • Указанные модели обеспечивают устойчивую работу вплоть до 200°С (392°F)
  • Вариант исполнения с электронным или оптическим датчиком положения привода
  • Применение в условиях сверхвысокой чистоты
  • Модульное торцевое соединение для монтажа на поверхность, торцевые соединения под приварку встык и VCR®

Каким образом клапаны ALD решают сложные проблемы

ALD(原子層蒸着)用バルブのカテゴリー

大流量用超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD20シリーズ

大流量用超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD20シリーズ

原子層蒸着技術の進歩を支えるべく、超高純度用ALD20バルブは、他のALDバルブの2~3倍もの大流量に対応します。

超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD3 / ALD6シリーズ

超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD3 / ALD6シリーズ

ALD3/ALD6ダイヤフラム・バルブは、非常に優れたサイクル・ライフおよび高速作動という特徴を備えており、原子層蒸着アプリケーションにおいて高いパフォーマンスを発揮します。

超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD7シリーズ

超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD7シリーズ

Swagelok® ALD7超高純度用ダイヤフラム・バルブは、半導体製造アプリケーションにおいてデバイスの歩留まりを最大化するのに必要な精度および一貫性を備えています。

Каталоги клапанов для атомно-слоевого осаждения (ALD)

Получите подробные сведения о продукции, в том числе о материалах изготовления, номинальных параметрах давления и температуры, вариантах исполнения и вспомогательных принадлежностях.

Сборка клапана Swagelok ALD20 UHP в чистом помещении для применения в полупроводниковой отрасли

Один новый клапан и три причины, которые позволят ему изменить производство полупроводников

Узнайте, как новейшие достижения в технологии ALD (атомно-слоевое осаждение) меняют ситуацию на рынке высокотехнологичного производства полупроводников.

Узнайте больше о периодической таблице

Recursos Swagelok Elaborados para Vd.

Los componentes para sistemas de fluidos Swagelok están disponibles en materiales diseñados para resistir los entornos de fabricación de semiconductores.
Mejorar el Rendimiento de los Semiconductores con Aleaciones Optimizadas

Vea cómo los fabricantes de semiconductores pueden mejorar el rendimiento de la producción de extremo a extremo, y mejorar la rentabilidad a largo plazo mediante la selección de los metales adecuados para los componentes críticos de los sistemas de fluidos.

Carl White, que ha pasado casi 40 años trabajando en varios puntos de la cadena de suministro de la industria del semiconductor, ofrece una perspectiva de primera mano sobre el pasado, el presente y el futuro del avance de esta industria.
P&R: Pasado, Presente y Futuro de la Fabricación de Semiconductores

Vea cómo la colaboración entre los fabricantes de herramientas, los fabricantes de microchips y los proveedores de soluciones para sistemas de fluidos ha permitido que el mercado del semiconductor se mantenga a la altura de las exigencias de la Ley de Moore durante décadas, y hacia dónde nos dirigimos a partir de aquí.

Rosendahl Nextrom y Swagelok colaboran para maximizar la eficiencia operativa
Un Fabricante de Equipos de Fibra Óptica Aumenta la Eficiencia con Soluciones Personalizadas

Desde la década de los 80, Rosendahl Nextrom ha confiado en Swagelok para impulsar su negocio. Más información sobre las soluciones que permitieron a la empresa superar a sus competidores y seguir siendo un líder de la industria.

El fabricante de refrigeradores de dilución Bluefors confía en Swagelok para los componentes y soluciones de sistemas de fluidos.
Soluciones Fiables de Sistemas de Fluidos para la Frontera Científica

Vea por qué el fabricante finlandés de refrigeradores de dilución Bluefors, confía en Swagelok para los componentes y soluciones de sistemas de fluidos que ayudan a hacer posible, entre otras, la informática cuántica o la física experimental.

Этот процесс может занять несколько минут. Дождитесь его завершения и не покидайте страницу.