Membranventile von Swagelok®
Mit den Membranventilen von Swagelok lässt sich die Systemleistung optimieren und gleichzeitig für eine effektive Absperrung des Durchflusses sorgen, während Einschlussbereiche minimiert und durch einen Fließweg ohne Totzonen die Spülung erleichtert wird. Ausgelegt für die Systemanforderungen von hochreinen und ultrahochreinen Anwendungen zeichnen sich Membranventile durch eine lange Lebensdauer aus und sind in vielen unterschiedlichen Größen, Werkstoffen und Konfigurationen erhältlich.
Membranventile anzeigenAusgelegt für die Anforderungen von hochreinen und ultrahochreinen Anwendungen sind die Membranventile von Swagelok in unterschiedlichen Größen, Werkstoffen und Konfigurationen und mit Durchflusskoeffizienten von 0,20 bis 13 erhältlich. Dank des Fließwegs ohne Totzonen und der korrosionsbeständigen Konstruktionswerkstoffe sind sie die ideale Wahl für Anwendungen, in denen es auf eine hohe Reinheit ankommt. Anwender können aus einem umfassenden Angebot aus manuellen, pneumatischen und absperrenden Handgriff- und Stellantriebsoptionen wählen.
Die Membranventile von Swagelok eigenen sich für Anwendungen zur Atomlagenabscheidung (ALD), in modularen Gassystemen, zur Wärmeimmersion sowie für ultrahochreine Anwendungen, für die Komponenten aus Fluorpolymer erforderlich sind.
- Die federlosen Membranventile von Swagelok für modulare Gassysteme sind einfach zu installieren, zeigen die Durchflussrichtung visuell an und zeichnen sich durch eine Sitzkonstruktion aus, die die thermische Stabilität verbessert.
- Die Membranventile für Bulkgassysteme von Swagelok halten nicht nur großer Beanspruchung stand, sondern zeichnen sich außerdem durch ein hohes Maß an Flexibilität und eine lange Lebensdauer für die sichere Absperrung, Gasverteilung und Isolierung in ultrahochreinen Anwendungen aus.
- Die Membranventile zur Wärmeimmersion von Swagelok können in hochreinen Umgebungen bei hohen Temperaturen eingesetzt werden und sind daher eine ausgezeichnete Wahl für Anwendungen zur Atomlagenabscheidung (ALD) und entsprechend vorgelagerte Prozesse.
- Die ultrahochreinen Fluorpolymer-Membranventile der Serie DRP von Swagelok sind eine robuste Lösung für Systeme zur Verteilung von ultrahochreinen Chemikalien, deionisiertem Wasser (VE-Wasser) und großen Chemikalienmengen.
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ダイヤフラム・バルブのカテゴリー
スペアー・パーツ／アクセサリー
ダイヤフラム・バルブのメンテナンスを行う際の交換用部品／アクセサリー（ダイヤフラム・キット、シール・キット、ステム・キット、アクチュエーター交換キットなど）を幅広く取り揃えています。
超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ、DRPシリーズ
フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブは、流路から障害物を一掃したデザインで応力や流体のコンタミネーションを最小限に抑えると同時に、超高純度薬液システムのパフォーマンスおよび耐久性を最大限に高めます。
超高純度用大流量ダイヤフラム・バルブ、DFシリーズ
大流量用スプリングレス・ダイヤフラム・バルブは、長いサイクル・ライフを実現します。スプリングやねじを使用していないため清浄度が向上し、流路から障害物を一掃したデザインを採用することでパージ性を強化しています。
超高純度用締め切り型ダイヤフラム・バルブ、DPシリーズ
超高純度用締め切り型ダイヤフラム・バルブには、ストレート型（手動式アクチュエーター付き）、マルチポート、集積型（MSM）（一体型アクチュエーター付き）があります。
集積化ガス・システム用スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ、1.125インチ、DEシリーズ
本バルブは、スプリングレス構造を採用し、信頼性およびパフォーマンスの向上を図っています。集積化ガス・システムのオペレーションの効率化に最適です。
高純度／高圧用ダイヤフラム･バルブ、DL／DSシリーズ
高純度／高圧用ダイヤフラム・バルブは、ステムの先端がソフト・シート（プラスチック製）の変形を最小限に抑えるよう設計されており、繰り返し締め切ることが可能です。底部取り付けまたはパネル取り付けを選ぶことができます。
ダイヤフラム・バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。
■ 1.125 インチ集積サイズのCシール／Wシール・デザイン／■ 形状：2 ポート／3ポート／■ アクチュエーター作動型式：空気式／手動式／■ ボディに対するアクチュエーターの向きが一定のため、一貫した取り付けが可能／■ 二次側のボディの角を面取りしているため、流れの方向が一目で確認可能
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
■ 空気作動式バルブ（2方タイプ／3方タイプ）、1/4 回転手動式バルブ（2方タイプ）、手動式流量調節バルブ、空気作動式流量調節バルブ（開度調節機能付き、ストローク・リミッター）、空気作動式流量調節バルブ（バイバス流量調節機能付き、トリックル・フロー）／■ 接液・接ガス部の材質：次世代PTFE／アクチュエーターの材質：ポリプロピレン／■ 超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI F57-0301に適合／■ 標準のエンド・コネクション：フレアー継手、スーパー300 タイプピラーフィッティング／Flowell（フロウエル）、スペース・セーバーなど／その他のエンド・コネクションもございます／■ カスタム・マニホールドやサブアセンブリーもございます
■ パッキンを用いておらず、耐圧部材はすべて金属／■ 使用圧力範囲：真空から24.1 MPaまで／■ 使用温度範囲：273℃から121℃まで
■ 超高純度用／■ ボディ材質：316L VIM-VAR ステンレス鋼／■ モデル：低圧型、高圧型／■ エンド・コネクション・タイプ：VCR® メタル・ガスケット式面シール継手、チューブ突き合わせ溶接、集積モデル／■ アクチュエーター・タイプ：手動式、空気式
■ 最高使用圧力：2.06 MPa／■ 用途：締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用／■ ボディ材質：ステンレス鋼（鋳造製／鍛造製／バー・ストック製）／■ エンド・コネクション・サイズ：1/4 インチから1 インチまで、12 mmから25 mmまで
■ ボディ材質：316L VAR ステンレス鋼／■ 最高使用圧力：2.06 MPa／■ エンド・コネクション・サイズ：1/4 インチ、3/8 インチ、1/2 インチ、10 mm、12 mm
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