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Swagelokダイヤフラム・バルブ ALD3／ALD6シリーズは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、最高0.62の流量係数を備えており、ALD（原子層蒸着）半導体製造に必要なプリカーサーの供給制御を行います。 Swagelok ® 超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD3／ALD6シリーズを使用すると、 半導体製造 時に蒸着チャンバー内でマイクロデバイスに1層ずつ堆積する際に使用するプリカーサー・ガスの信頼性を保ちつつ、高速供給を行うことができます。高パフォーマンスを誇るALD3／ALD6シリーズ・バルブは、非常に優れたサイクル・ライフ、アクチュエーター部分を含めた高温対応を特...

Swagelok超高純度用ALD（原子層蒸着）用バルブは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、流量、高温対応性、極めて高い清浄度を備えており、最先端の半導体製造アプリケーションにおいて正確なプリカーサーの供給を実現し、デバイスの歩留まりを最大化します。 ALD用バルブ を世界に送り出してからも、スウェージロックは半導体製造装置メーカーやファブと緊密に連携し、ALDの供給制御の向上に取り組んできました。これにより急速な技術革新に対応し、開発期間を短縮し、ますます複雑化するプロセスにおいてデバイスの歩留まりを向上できるよう支援しています。Swagelok ® ALD用バルブは、製品ライ...

Swagelokアンモニア・サンプラーを使用することで、液体や気化したアンモニアの作業者への曝露を最小限に抑えることができるため、無水アンモニア・サンプリングの安全性が向上します。また、サンプリング作業が標準化されることにより、サンプリング・プロセスが大幅に短縮され、工場内でアンモニア・サンプルを運搬する必要が無くなります。 無水アンモニアは、肥料、プラスチック、繊維、石油などの製造に使用されます。貯蔵タンクでのアンモニアによる応力腐食割れや製品の品質低下を防止するため、アンモニアを定期的にサンプリングし、水分の含有量が0.2～0.5%であることを確認する必要があります。 スウェージロックのク...

スウェージロックは、プロセス流体分析に関する豊富な知識を活かして、Pre-Engineered Subsystems（PrESS）、流体システム・アセンブリー、部品など、さまざまなソリューションを提供します。また、設計、トラブルシューティング、トレーニング・サービスを通じて、幅広い流体システム・アプリケーションをサポートします。 スウェージロックがあらかじめ設計したサブシステム（Swagelokリミティッド・ライフタイム保証付き）を使用すると、さまざまな施設において流体のサンプリングおよび制御を簡素化することが可能になり、一貫性および容易な取り付けを実現します。アプリケーション・エンジニアが、...

Swagelok ® フランジ・アダプターを使用すると、ねじや溶接作業無しでパイプ・フランジ配管からチューブ配管へ移行させることが可能なため、計装ラインなどのアプリケーションにおける潜在的なリーク・ポイント数を削減することができます。 Swagelokフランジ・アダプターを使用すると、ねじや溶接作業無しでパイプ配管からチューブ配管へ容易に移行させることができます。一体型に機械加工された鍛造製ボディにより、継手移行部の材料強度を高めると共に、漏れが生じる可能性を最小限に抑えます。 Swagelokフランジ・アダプターは、さまざまな合金および設計で提供されており、幅広いアプリケーションの要...

フレキシブル・メタル・ホース FJシリーズを使用すると、高温の真空用途または透過が望ましくない一般アプリケーションにおいて、透過を低減することができます。 FJシリーズ・ホースは、汎用の316Lステンレス鋼製コンボルーティッド・コアのブレード・ホース（304ステンレス鋼製シングル・ブレード・レイヤー付き）で、ホースの耐圧性が向上しています。また、316Lステンレス鋼製ブレード（オプション）を選定すると、耐食性が高まります。コンボルーティッド・コアにより、柔軟性がありながらも、つぶれにくくなっています。 透過の詳細につきましては動画をご覧ください。 FJシリーズ・ホースのサイズは1/4～2 イン...

Swagelokフレキシブル・チューブを使用すると、透明性、耐薬品性、高温や低圧に対する回復力が求められるアプリケーションにおいて、流体の安全かつ信頼性の高い移送を行うことができます。 耐薬品性に優れたPFAフレキシブル・チューブは、低圧のアプリケーション（最高使用圧力：1.89 MPa）において、Swagelok PFAチューブ継手および金属製Swagelokチューブ継手の両方に取り付けることができます。チューブは半透明のためシステム流体を目視で確認できるほか、内壁が滑らかなため、流れの制御やドレン性に優れています。 Swagelokビニール・チューブ LTシリーズは透明かつソフトで、柔軟性...

Swagelok ® フロー・センサー FV4シリーズを使用すると、ガスの流れを正確に把握することができます。 Swagelok ® フロー・センサー FV4シリーズは、ガス・システム内のガス流量の増減を正確に検知します。FV4シリーズ・フロー・センサーではスナップ動作式フロート機構を採用しています。校正済みのオリフィスが流量の増減に伴ってフロート・ガイド内を上下に動くことで、正確にガスを検知します。オリフィス上部のフロートに内蔵された磁石によって、隣接するリード・スイッチの線を交互に導通させることで、流量の変化を検出します。 316Lステンレス鋼製の全溶接構造を採用することで...

KCMシリーズ・レギュレーターは、ガス供給源を自動的に切り替えることで継続したガス供給を実現し、ダウンタイム（停止時間）を削減します。 重要な一般産業アプリケーションにおいて、Swagelok ガス・ボンベ切り替え用 レギュレーター KCMシリーズを使用して、ひとつのガス供給源から別の供給源へ自動的に切り替えることで、継続したガス供給を実現し、ダウンタイム（停止時間）および人件費を削減することができます。KCMシリーズ・レギュレーターは、最小限のメンテナンスで信頼性の高いガス供給を実現します。コンボルーティッド非せん孔型ダイヤフラムを使用しているため、耐久性および圧力応答性に優れています。 仕...

Swagelok ® 高性能スウェージング・ユニット（HVSU）を使用すると、容易にSwagelokナットやフェルールをステンレス鋼チューブに予備締めすることができるため、信頼性の高いチューブ接続が実現します。 Swagelok ® 高性能スウェージング・ユニット（HVSU）を使用すると、Swagelokナットやフェルールを効率的かつ確実にステンレス鋼チューブに予備締めすることができます。HVSUは空気駆動／電子制御式のユニットで、先進 センサーを使用して締め付けプロセスを開始／停止するため、数多くのチューブ継手を使用するアプリケーションにおいて、正確かつ一貫した予備締め付けを...