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逆止弁

Swagelok®超高純度用フルオロポリマー・ポペット式逆止弁(エラストマー・フリー)(CHPシリーズ)

超高純度用Swagelokフルオロポリマー・ポペット式逆止弁(エラストマー・フリー) CHPシリーズは、低いクラッキング圧力および再シール圧力を特徴としており、接液・接ガス部コンポーネントは超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI規格F57-0301に適合しています。

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超高純度用フルオロポリマー・ポペット式逆止弁(エラストマー・フリー) CHPシリーズは流れを最大限化し、 かつ差圧を低減するデザインを採用しています。たまり部分を排除し、熱サイクル時にも漏れの無い優れたシール性能を発揮します。

  • ポペットにはOリングを使用していないため、優れた清浄度を維持します。曲線部がなだらかなため乱流を低減し、圧力損失を最小限に抑制します。
  • 突起部とみぞ部が噛み合って外部シールを形成します。熱サイクルや高圧アプリケーションにおいても、漏れの無い優れたシール性能を発揮します。
  • スプリングには非汚染性PFA材質を使用しており、バルブはどの向きにでも取り付けることができます。確実なストッパーで圧縮によるスプリングの硬化を防止するほか、スプリング・コイル周辺の流れをスムーズにし、たまりを低減します。
  • ボディ・サイズが中(Mサイズ)の場合は、リテイナーが流れを最大限化し、かつ差圧を低減します。ボディ・サイズが小(Sサイズ)の場合は、リテイナーのオープン・ケージが確実なポペットの位置合わせと、たまり部分の排除を同時に実現します。

このバルブはどの方向にでも取り付けることができます。エンド・コレクションは、フレアー継手およびスーパー300 タイプピラーフィッティング®です。

仕様

最高使用圧力 0.55 MPa
流体温度 10~85°C
ボディ材質
小(Sサイズ) 次世代PTFE
中(Mサイズ) PFA
クラッキング圧力範囲
小(Sサイズ) 0.011 MPa未満
中(Mサイズ) 0.007 MPa未満
再シール圧力 0.004 MPaまで
流量係数(Cv値) 最大4.1
エンド・コネクション
タイプ フレアー継手、スーパー300 タイプピラーフィッティング®
サイズ 小(Sサイズ):1/4 インチ、3/8 インチ、6 mm、10 mm
中(Mサイズ):1/2インチ、3/4インチ

超高純度用フルオロポリマー・ポペット式逆止弁(エラストマー・フリー)(CHPシリーズ)のカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。

流量係数(C<sub>v</sub>値)計算ツール

流量を計算して適切なバルブを選定する

流量係数(Cv値)計算ツールを使用することで、ニーズに適したサイズのバルブを選定することができます。

ツールを使用する

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