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超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD3 / ALD6シリーズ
Swagelokダイヤフラム・バルブ ALD3/ALD6シリーズは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、最高0.62の流量係数を備えており、ALD(原子層蒸着)半導体製造に必要なプリカーサーの供給制御を行います。 Swagelok ® 超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD3/ALD6シリーズを使用すると、 半導体製造 時に蒸着チャンバー内でマイクロデバイスに1層ずつ堆積する際に使用するプリカーサー・ガスの信頼性を保ちつつ、高速供給を行うことができます。高パフォーマンスを誇るALD3/ALD6シリーズ・バルブは、非常に優れたサイクル・ライフ、アクチュエーター部分を含めた高温対応を特...
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超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD7シリーズ
Swagelok超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD7シリーズは、新規または既存の半導体製造装置のスループットを最大化するのに必要な一貫した流量、開閉スピード、使用温度範囲、クレンリネス(清浄度)を備えています。 原子層蒸着(ALD)向けのSwagelok ® 超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD7シリーズを使用すると、 半導体製造装置メーカー やデバイス・メーカーは、製造工程の限界を克服するのに必要な一貫した流量、大流量、開閉スピード、高温性能を実現し、デバイスの歩留まりを向上させ、収益性を高めることができます。非常に優れたサイクル・ライフで、バルブ間、プリカーサーの供給間、チャ...
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ALD(原子層蒸着)バルブ
Swagelok超高純度用ALD(原子層蒸着)用バルブは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、流量、高温対応性、極めて高い清浄度を備えており、最先端の半導体製造アプリケーションにおいて正確なプリカーサーの供給を実現し、デバイスの歩留まりを最大化します。 ALD用バルブ を世界に送り出してからも、スウェージロックは半導体製造装置メーカーやファブと密接に協力して高度なALD用バルブ・テクノロジーを提供し、市場において急速に進む技術革新に対応する上で欠かせない非常に高いレベルの精度、一貫性、クレンリネス(清浄度)、優れたサイクル・ライフの実現に努めてきました。Swagelok ALD用バルブは、...
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コンパクト・ゲージ・バルブ
コンパクト・ゲージ・バルブは、軽量かつ設置スペースが小さくてすむため、圧力計の取り付けやメンテナンスを迅速かつ容易に行うことができます。 Swagelokコンパクト・ゲージ・バルブを使用すると、圧力計を遮断してベントすることができます。ステンレス鋼製の Swagelokニードル・バルブ 1シリーズ (パネル・ナットは含まれません)および一体型のステンレス鋼製 Swagelokパージ・バルブ で構成されています。 Swagelokコンパクト・ゲージ・バルブは、チューブ・アダプター・エンド・コネクション付きの Swagelok 圧力計 用に設計しているため、目盛板の位置合わせが容易で、圧力計の取り...
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コーン&スレッド継手
Swagelok ® コーン&スレッド継手 IPTシリーズは、さまざまな合金から製造されており、各種最終用途の環境、および中圧/高圧アプリケーション(最高使用圧力:413.4 MPa)において、信頼性の高いパフォーマンスを発揮します。 コーン&スレッド(C&T)継手による接続は、中圧/高圧下で信頼性の高いパフォーマンスを発揮するものとして、長きにわたって採用されてきました。Swagelokコーン&スレッド継手IPTシリーズの材質は316ステンレス鋼、合金625、合金2507から選ぶことができ、サイズは1/4~1 1/2 インチ、最高使用温度は371°Cです。 Swage...
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ダイヤフラム・バルブ
Swagelokダイヤフラム・バルブを使用すると、効率的に流れを締め切りながら、システム効率を向上させることができます。流路から障害物を一掃したデザインを採用しているため、たまり部分を最小限に抑えると同時にパージを促進することができます。長いサイクル・ライフを実現すると共に、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができるため、高純度および超高純度(UHP)アプリケーションのシステム要件に適合します。 Swagelokダイヤフラム・バルブは、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができるため、高純度および超高純度(UHP)アプリケーションのニーズに適合します。流量係数(C v 値)は0.20~1...
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高圧用メタル・ホース、FXシリーズ
高圧用オール・メタル・フレキシブル・ホース FXシリーズは、高温、真空、高圧の腐食環境でも耐食性を発揮します。 FXシリーズ・ホースは、316Lステンレス鋼製コンボルーティッド・コアのブレード・ホース(321ステンレス鋼製ダブル・ブレード・レイヤー付き)で、ホースの耐圧性が向上しています。コンボルーティッド・コアにより、柔軟性がありながらつぶれにくくなっています。高温の真空用途、腐食性のある高圧環境、または透過が望ましくない用途での使用に適しています。 透過の詳細につきましては動画をご覧ください。 FXシリーズ・ホースのサイズは1/4 インチ~2 インチ、使用圧力範囲は真空から41.3 MPa...
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高純度/大流量用ガス・レギュレーター、HFシリーズ
HFシリーズ・レギュレーターを使用すると、容易な調節で圧力調整を正確に行うことができます。大流量かつクリーンなプロセス要求に適しています。 HFシリーズ・レギュレーターは、小型ながら大流量システムに対応可能なため、システム部品やプロセス・ラインをコンパクトに配置することができます。HFシリーズ・レギュレーターは、従来のダイヤフラム・タイプ圧力レギュレーターの半分以下のサイズで、調整ミスの防止および容易な取り付けが可能な設計を採用しています。 HFシリーズ・レギュレーターは、高レベルの清浄度が要求される環境に適しています。耐久性に優れ、正確な圧力調整を行うことができるほか、革新的な構造のガス作動...
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漏れ検出液
Snoop ® (スヌープ)やReal Cool Snoop(リアル・クール・スヌープ)漏れ検出液は、泡立ちが持続し、手の届きにくい場所でもガス漏れを検出できるため、コストがかさむシステムのロスや安全性の問題を防止することができます。 ガス漏れが生じると、交換費用がかさむばかりか、生産プロセスの効率が低下し、安全性が大きく損なわれるおそれがあります。そこでスウェージロックは、Swagelok ® Snoop ® (スヌープ)およびSwagelok Real Cool Snoop(リアル・クール・スヌープ)漏れ検出液を提供しています。 SnoopやReal Cool Sn...
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漏れ検出液/潤滑剤/シール剤
スウェージロックの漏れ検出液、潤滑剤、シール剤を使用すると、漏れの検出や排除が容易になるため、流体システムのパフォーマンスへの悪影響を未然に防止することができます。 漏れ検出液 | 流体システムの接続部から漏れが生じていないかを調べることができます。 潤滑剤/シール剤 | 取り付ける際に漏れが生じるのを防止することができます。 スウェージロックの漏れ検出液、潤滑剤、シール剤を使用すると、産業用流体システムのオペレーション・コストや取り付けに要する時間を削減すると同時に、オペレーションの安全性を向上させることができます。ユーティリティやプロセス流体の漏れが生じるとコストがかさむばかりか、最悪の場...
