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大流量用超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD20シリーズ
Swagelok超高純度用バルブ ALD20シリーズは、低蒸発圧プリカーサー・ガスを必要とする原子層蒸着プロセスに適した大流量用バルブです。 Swagelok ® 超高純度用バルブ(大流量用) ALD20シリーズは、ALDバルブに求められている信頼性および性能を維持しつつ、かつては対応が難しかった温度の安定性および流量も達成しています。このため、メーカーは大幅な工程変更を行うことなく、最先端技術の開発に欠かせない均一な蒸着を実現するため、さまざまな工程と低い蒸気圧の組み合わせを試すことができます。 Swagelok ALD20シリーズ・バルブの特徴: 1.2の流量係数(C v 値)を実...
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超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD3 / ALD6シリーズ
Swagelokダイヤフラム・バルブ ALD3/ALD6シリーズは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、最高0.62の流量係数を備えており、ALD(原子層蒸着)半導体製造に必要なプリカーサーの供給制御を行います。 Swagelok ® 超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD3/ALD6シリーズを使用すると、 半導体製造 時に蒸着チャンバー内でマイクロデバイスに1層ずつ堆積する際に使用するプリカーサー・ガスの信頼性を保ちつつ、高速供給を行うことができます。高パフォーマンスを誇るALD3/ALD6シリーズ・バルブは、非常に優れたサイクル・ライフ、アクチュエーター部分を含めた高温対応を特...
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ダイヤフラム・バルブ
Swagelokダイヤフラム・バルブを使用すると、効率的に流れを締め切りながら、システム効率を向上させることができます。流路から障害物を一掃したデザインを採用しているため、たまり部分を最小限に抑えると同時にパージを促進することができます。長いサイクル・ライフを実現すると共に、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができるため、高純度および超高純度(UHP)アプリケーションのシステム要件に適合します。 Swagelokダイヤフラム・バルブは、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができるため、高純度および超高純度(UHP)アプリケーションのニーズに適合します。流量係数(C v 値)は0.20~1...
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ダイエレクトリック継手
ダイエレクトリック継手を使用して電流の影響からモニタリング計器を遮断して保護することで、計器の精度を維持し、計器の交換コストを削減することができます。なお、流量が制限されることはありません。 Swagelokダイエレクトリック継手は、2つの主要な機能(電気絶縁性および流体の封止性能)を分離することで、計器を保護します。成形したサーモプラスチック絶縁体は、電気抵抗が高く、耐薬品性、耐紫外線性に優れています。また、吸水率が低いため、さまざまな使用条件や気候条件下でも絶縁耐力を保持します。 ダイエレクトリック継手を天然ガス・パイプラインのモニタリング・ステーションより前方の導圧管に取り付けると、 流...
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電動式チューブ・ベンダー
Swagelok電動式チューブ・ベンダーを使用すると、大口径チューブを正確かつ効率的に曲げることができます。このチューブ・ベンダーは取り扱いが容易で、作業時間を短縮し、労力も軽減できます。また、曲げ加工の際にチューブが波状になったり、損傷したりしません。 Swagelok電動式チューブ・ベンダーを使用すると、 Swagelokチューブ継手 に使用可能な各種材質のチューブ(インチ・サイズまたはミリ・サイズ)を正確に曲げることができます。電子制御による直感的な操作で、チューブの取り付けを効率良く一貫して行うことが可能です。2つのベンド・シューでさまざまなサイズのチューブに対応するため、手持ちのツー...
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ファスト・ループ・モジュール
Swagelokファスト・ループ・モジュールを、サンプル取出し口から分析器までの距離が長いサンプル移送ラインで使用すると、圧力損失を最小限に抑制してレスポンス・タイム(応答時間)を最短化することができます。ファスト・ループ・サンプリング・システム・ソリューションのインターロック・ハンドルで、操作手順ミスや想定外の作動を防止します。 Swagelokファスト・ループ・モジュール(FLM)を、サンプル取出し口から分析器までの大流量かつ距離が長いサンプル移送ラインで使用すると、オンライン分析器システムの時間遅れを最短化することができます。Swagelok FLMを分析施設に取り付けてバイパスを形成す...
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フィールド・ステーション・モジュール
Swagelokフィールド・ステーション・モジュールは、抽出ポイントでガス・サンプルの前調整を実施し、減圧してから分析器に中継するため、分析器へのレスポンス・タイム(応答時間)の短縮、凝縮の低減、環境の安全性向上を実現します。 The Swagelok ® フィールド・ステーション・モジュール(FSM)は、プロセス・ガスの前調整と減圧を行ってから分析器に移送します。抽出ポイントでガス・サンプルの前調整を実施し、低圧でサンプルを移送するため、分析器へのレスポンス・タイム(応答時間)の短縮、凝縮の低減、環境の安全性向上を実現します。FSMは、プロセス・ノズルに直接取り付けることができ、プロ...
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フィルター
Swagelokフィルターを使用して一般産業用流体システムから液体やパーティクルなどのコンタミネーションを除去すると、信頼性の高いシステム機能および一貫して仕様に即した流体製品を実現することができます。 Swagelok ® フィルターは、液体やガスを移送する産業用流体システムの重要なポイントで、パーティクルを捕捉して封止するという重要な役割を担います。フィルターを使用すると、流体処理施設における重要な部品の損傷、サンプリング精度や分析の支障、不良品の発生といった下流工程の問題を防止することができます。 スウェージロックは、液体用途およびガス用途向けの高品質な液体除去用/パーティクル除...
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継手
スウェージロックの継手は、高い信頼性、取り付けの容易性、漏れの無いパフォーマンスを特徴としており、産業用流体システムにおいて、プロセスや装置の安全かつ効率的なオペレーションを実現します。 Swagelok ® チューブ継手は、1947年に誕生して以来、分析計装システムや小口径のプロセス流体システムにおいて漏れの無い接続を実現し、産業界の信頼を獲得してきました。腐食性環境、極端な温度または高圧下でも使用可能な継手をお探しですか?スウェージロックは、信頼性の高い接続を可能にするための各種オプションを取り揃えています。また、豊富な継手製品ラインアップから、特殊な要件を伴う幅広い産業アプリケー...
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フランジ・アダプター
Swagelok ® フランジ・アダプターを使用すると、ねじや溶接作業無しでパイプ・フランジ配管からチューブ配管へ移行させることが可能なため、計装ラインなどのアプリケーションにおける潜在的なリーク・ポイント数を削減することができます。 Swagelokフランジ・アダプターを使用すると、ねじや溶接作業無しでパイプ配管からチューブ配管へ容易に移行させることができます。一体型に機械加工された鍛造製ボディにより、継手移行部の材料強度を高めると共に、漏れが生じる可能性を最小限に抑えます。 Swagelokフランジ・アダプターは、さまざまな合金および設計で提供されており、幅広いアプリケーションの要...
