Swagelok® 원자층 증착(ALD) 밸브
Swagelok 초고순도 원자층 증착(ALD) 밸브는 첨단 반도체 제조 애플리케이션에서 정밀한 투입량을 보장하고 칩 수율을 극대화하는 데 필요한 극도로 높은 사이클 수명, 고속 작동, 유량, 고온 봉입성(thermal immersibility), 극한의 청정도를 제공합니다.
ALD 밸브 정보 요청Swagelok은 세계에 ALD 밸브를 선보인 이래로, 반도체 도구 장비사 및 제조업체와 면밀한 협력을 통해 시장의 빠른 혁신 속도에 대응하는 데 필요한 극한 수준의 정밀도, 일관성, 청정도, 높은 사이클 수명을 제공하는 첨단 ALD 밸브 기술을 공급하고 있습니다. Swagelok® ALD 밸브는 높은 칩 생산 효율을 지원하며, 일반적으로 ALD 공정과 관련된 문제를 극복할 수 있습니다.
Swagelok ALD 초고순도 밸브의 특징:
- 고속 작동과 극도로 높은 사이클 수명
- 0.27~1.7의 Cv 범위
- 특정 모델의 경우 최고 200°C(392°F)의 온도 지원
- 전자식 또는 광학식 액추에이터 위치 감지 옵션
- 초고순도 애플리케이션에 적합한 청정도
- 모듈 조립형, 튜브 맞대기 용접, VCR® 연결구
Категории клапанов для атомно-слоевого осаждения (ALD)
Клапаны сверхвысокой степени чистоты для систем с высоким расходом, серия ALD20
Технология атомно-слоевого осаждения с величиной расхода в 2-3 раза выше, чем у других клапанов ALD благодаря клапану сверхвысокой степени чистоты ALD20.
Мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты, серии ALD3 и ALD6
Мембранные клапаны ALD3 и ALD6 обеспечивают сверхвысокий циклический срок службы, высокую скорость срабатывания и эффективную работу в системах атомно-слоевого осаждения.
Мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты, серия ALD7
Мембранные клапаны Swagelok® ALD7 сверхвысокой степени чистоты обеспечивают точность и единообразие, необходимые для максимального увеличения выхода годных кристаллов в полупроводниковой промышленности.
원자층 증착(ALD) 밸브 카탈로그
구성 재질, 압력 및 온도 등급, 옵션, 액세서리를 포함한 자세한 제품 정보를 찾을 수 있습니다.
Характеристики: Сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания; Cv в диапазоне от 0,27 до 0,62; возможность работы при температуре до 392 °F (200 °C) с термостойкими приводами; вариант исполнения с электронным датчиком положения привода; подходят для применения в сверхчистых системах с корпусом из нержавеющей стали 316L VIM-VAR; торцевые соединения VCR®, под приварку встык и модульные торцевые соединения для монтажа на поверхность.
하나의 신제품 밸브: 반도체 제조 기술을 바꿀 수 있는 세 가지 이유
혁신적인 최신 원자층 증착(ALD, Atomic Layer Deposition) 밸브 기술이 어떻게 첨단 기술 반도체 제조 시장을 변화시킬 수 있는지 소개합니다.
주기율표의 더 폭넓은 활용고객별 맞춤 선별 Swagelok 리소스
Mejorar el Rendimiento de los Semiconductores con Aleaciones Optimizadas
Vea cómo los fabricantes de semiconductores pueden mejorar el rendimiento de la producción de extremo a extremo, y mejorar la rentabilidad a largo plazo mediante la selección de los metales adecuados para los componentes críticos de los sistemas de fluidos.
P&R: Pasado, Presente y Futuro de la Fabricación de Semiconductores
Vea cómo la colaboración entre los fabricantes de herramientas, los fabricantes de microchips y los proveedores de soluciones para sistemas de fluidos ha permitido que el mercado del semiconductor se mantenga a la altura de las exigencias de la Ley de Moore durante décadas, y hacia dónde nos dirigimos a partir de aquí.
Un Fabricante de Equipos de Fibra Óptica Aumenta la Eficiencia con Soluciones Personalizadas
Desde la década de los 80, Rosendahl Nextrom ha confiado en Swagelok para impulsar su negocio. Más información sobre las soluciones que permitieron a la empresa superar a sus competidores y seguir siendo un líder de la industria.
Soluciones Fiables de Sistemas de Fluidos para la Frontera Científica
Vea por qué el fabricante finlandés de refrigeradores de dilución Bluefors, confía en Swagelok para los componentes y soluciones de sistemas de fluidos que ayudan a hacer posible, entre otras, la informática cuántica o la física experimental.