Válvulas de Diafragma de Ultra Alta Pureza (Series ALD3 y ALD6) Swagelok®
Las válvulas de diafragma Swagelok series ALD3 y ALD6 tienen ciclos de vida ultra-largos, alta velocidad de actuación y coeficientes de caudal de hasta 0,62, lo que permite a los fabricantes de semiconductores conseguir la dosificación controlada necesaria para la fabricación de semiconductores por deposición de capas atómicas (ALD).
Solicite más informaciónLas válvulas ALD3 y ALD6 de ultra alta pureza están diseñadas para ofrecer a los fabricantes de semiconductores una dosificación fiable y de alta velocidad de los gases precursores utilizados para construir microchips capa a capa en las cámaras de deposición. Estas válvulas de ultra alta pureza de alto rendimiento se caracterizan por:
- Ciclo de vida ultra-alto con actuación de alta velocidad
- Coeficientes de caudal de 0,27 a 0,62, con posibilidad de caudal personalizado
- Inmersión total hasta 200°C (392°F) con actuadores térmicos opcionales
- Idoneidad para aplicaciones de ultra alta pureza con cuerpos de válvulas estándar de acero inoxidable VIM-VAR 316L
- Conexiones finales para sistemas de montaje modular superficial, soldadura de tubo a tope y Swagelok VCR®
- Opción de detección de posición del actuador electrónica u óptica
Los diafragmas ALD3 y ALD6 se componen de un material de superaleación con base de cobalto que ofrece solidez y resistencia a la corrosión; los cuerpos de las válvulas son de acero inoxidable 316L VIM-VAR, lo que los hace adecuados para aplicaciones de ultra alta pureza; y los asientos de las válvulas son de PFA de alta pureza totalmente fluorado para permitir una amplia gama de compatibilidad química y una excelente resistencia a la deformación y la contaminación.
Las válvulas ALD3 y ALD6 de ultra alta pureza pueden configurarse para actuación neumática normalmente cerrada y normalmente abierta, y están disponibles en una variedad de configuraciones, incluyendo diseños de dos puertos rectos y en codo; válvulas multipuerto de dos, tres y cuatro puertos y manifolds multiválvulas; y válvulas de montaje en superficie de dos y tres puertos en plataformas de 1,125 pulg. (sólo serie ALD3) y 1,5 pulgadas. Los actuadores térmicos disponibles, los sensores de posición, los solenoides y los orificios opcionales del cuerpo para alojar los calefactores pueden ofrecer un valor adicional al usuario en función de sus procesos específicos.
Especificaciones
| Presión de servicio | Vacío hasta 10,0 bar (145 psig) |
| Presión de rotura | > 220 bar (3200 psig) |
| Presión de actuación | 3,5 a 6,2 bar (50 a 90 psig) |
| Temperatura | 0° a 200°C (32° a 392°F) |
| Coeficiente de caudal (Cv) | 0,27 o 0,62 |
| Materiales de Cuerpo | Acero inoxidable 316L VIM-VAR |
| Material del diafragma | Superaleación con base de cobalto |
| Conexiones finales | |
| Tipo (Tamaño) | Accesorio hembra de cierre frontal VCR® (1/4 pulg. a 1/2 pulg.) Accesorio de cierre frontal VCR macho (1/4 pulg. a 1/2 pulg.) Junta C de alto caudal de montaje modular (1,125 pulg. a 1,5 pulg.) |
Catálogos de Válvulas Series ALD3 y ALD6
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ALD 3, 6, and 7 Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 392°F (200°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
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