Swagelok^® 대유량 원자층 가공 애플리케이션용 초고순도 밸브(ALD20 시리즈)

Swagelok ALD20 초고순도 밸브는 낮은 증기 압력 프리커서 가스가 필요한 원자층 증착(ALD) 공정에 이상적인 대유량 성능을 제공합니다.

대유량 Swagelok^® ALD20 초고순도 밸브는 Swagelok^® ALD 밸브에서 기대할 수 있는 신뢰성과 성능을 제공하는 동시에, 이전에 달성할 수 없었던 온도 안정성과 유량 가능성을 지원합니다. 따라서, 제조업체는 다양한 공정과 저증기압 화학 기술을 실험하면서 공정을 크게 변경하지 않고도 첨단 기술을 개발하는 데 필요한 균일한 가스 증착을 달성할 수 있습니다.

Swagelok ALD20 밸브의 특징:

기존 ALD 밸브와 동일한 점유 공간(1.5인치)에서 1.2 C_v의 유량을 제공하며, 장비 교체 없이 개선된 성능을 제공합니다
약간 큰(1.75인치) 표준 유형으로 더 뛰어난 1.7 C_v를 제공하며, 이는 현재 시판 중인 극도로 높은 사이클 수명의 초고순도 밸브에서 가장 높은 유량입니다—
10°C(50°F)에서 최대 200°C(392°F)까지 가스 박스에 봉입 가능하므로, 가열 도중 액추에이터를 차단할 필요가 없으며 증착 일관성이 개선됩니다
316L VIM-VAR 스테인리스강 또는 22 합금 몸체 재질 옵션은 더 강력한 내식성을 제공합니다
5μ인치 R_a 표면처리의 고정밀 연마 벨로우즈 덕분에 극도로 높은 사이클 수명 동안 공정 무결성을 유지하면서 세정 작업이 가능합니다
투입량 조건을 충족하는 정밀하고 일관적인 유량에 필요한 반복 가능한 고속(<10ms) 작동을 제공합니다

맞춤 설정 유량 계수도 사용 가능합니다.

ALD20 밸브 사양

사용 압력	진공~20 psig(1.4 bar)
파열 압력	>3200 psig(220 bar)
작동 압력	70~90 psig(4.9~6.2 bar)
온도	10°~200°C(50°~392°F)
유량 계수(C_v)	1.2(MSM) 혹은 1.7(직선형)
몸체 재질	316L VIM-VAR 혹은 22 합금
벨로우즈 재질	22 합금(5μ인치 R_a 표면처리)
연결구	종류(크기): 암나사 VCR^® 피팅(1/2인치), 회전형 수나사 VCR 피팅(1/2인치), 튜브 맞대기 용접, 0.50인치 길이(1/2인치 × 0.049인치), 모듈 조립형 대유량 C-씰(1.5인치)

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ALD20 시리즈 밸브 카탈로그

구성 재질, 압력 및 온도 등급, 옵션, 액세서리를 포함한 자세한 제품 정보를 찾을 수 있습니다.

다이어프램 밸브원자층 증착 ALD 용

원자층 증착 (ALD) 용 다이어프램 밸브 고속 개폐 시에도 매우 긴 수명 유지 ; Cv 범위 0.27 ~ 0.62; 고온용 개폐기로 200°C (392°F)까지 사용가능; 전자 개폐기 위치 감지 옵션; 초고순도 사양에 적합한 316L VIM-VAR 스텐레스강 몸체; VCR®, 튜브 맞대기 용접 및 블럭 조립식 연결구

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