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Manometer für ultrahochreine Anwendungen sowie Umgebungen mit sauberer Trockenluft

Swagelok® Manometer der Serien PGU und PGC für ultrahochreine Anwendungen sowie Umgebungen mit sauberer Trockenluft

Mit den Manometern von Swagelok® für ultrahochreine Anwendungen und Umgebungen mit sauberer Trockenluft lassen sich Systemdruck und Vakuum dank der integrierten Rohrfeder zuverlässig überwachen.

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Die Manometer für ultrahochreine Anwendungen der Serie PGU von Swagelok® und die Manometer für Umgebungen mit sauberer Trockenluft der Serie PGC von Swagelok® sind für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen ausgelegt—von Bulkgassystemen bis hin zu Anwendungen für Prozesswerkzeuge. Diese bieten Messgenauigkeiten gemäß ASME B40.1, EN837-1 und JIS B7505.

Die Manometer der Serie PGU sind ultrahochrein (UHP) “clean” für Gasanwendungen in der Halbleiterindustrie gemäß SEMI/SEMATECH sind diese mit 316L VAR-Endanschlüssen ausgestattet und die Reinigung und Verpackung erfolgt in einem Reinraum der Klasse 100/10. Die Manometer der Serie PGC werden in einem Reinraum der Klasse 100 zusammengebaut, gereinigt und verpackt und haben 1/4 Zoll NPT-Endanschlüsse. Beide Serien sind mit Stickstoff gespült und enthalten eine Schutzkappe über dem Gewindeanschluss. Jedes Manometer für ultrahochreine Anwendungen und Umgebungen mit sauberer Trockenluft ist zu 100 % werkseitig kalibriert und auf Helium-Leckagen bis zu einer maximalen Rate von 1× 10-9 std cm3/s getestet.

Spezifikationen

Anzeigebereiche Serie PGU: Vakuum bis 3000 psi, 200 bar, 21 MPa
Serie PGC: Vakuum bis 6.000 psi, 400 bar, 40 MPa
Zifferblattgrößen 28, 40 und 50 mm (1, 1 1/2 und 2 Zoll)
Genauigkeit
  • 50 mm (2 Zoll), ± 2 % / 1 % / 2 % des Messbereichs (ASME B40.1, Güte A, EN 837-1 Klasse 2.5, JIS B7505 Klasse 2.5)
  • 40 mm (1 1/2 Zoll), ± 3 % / 2 % / 3 % des Messbereichs (ASME B40.1, Güte B, EN 837-1 Klasse 4, JIS B7505 Klasse 4)
  • 28 mm (1 Zoll), ± 3 % des Messbereichs
Temperaturbereich Umgebungstemperatur: –40 bis 60 °C (–40 bis 140 °F)
Medium: –40 bis 100 °C (–40 bis 212 °F)
Endanschlüsse Serie PGU: 1/4 Zoll VCR®-Innengewinde, 1/4 Zoll drehbares VCR-Außengewinde, integriertes VCR-Außengewinde, 1 1/2 Zoll Durchflussregler zur Flächenbefestigung
Serie PGC: 1/4 Zoll NPT-Außengewinde

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