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Мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты, серии ALD3 и ALD6

Swagelok®超高純度用ダイヤフラム・バルブ(ALD3/ALD6シリーズ)

Swagelokダイヤフラム・バルブ ALD3/ALD6シリーズは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、最高0.62の流量係数を備えており、ALD(原子層蒸着)半導体製造に必要なプリカーサーの投与制御を行います。

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超高純度用バルブ ALD3/ALD6シリーズは、プロセス・チャンバー内での成膜プロセスのため、信頼性の高い高速でプリカーサー・ガスの投与をを高い信頼性で行うことが出来ます。ALD3/ALD6シリーズ・バルブの特徴:

  • サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能
  • 流量係数(Cv値):0.27~0.62、その他の流量係数(Cv値)設定も可能
  • 最高200°Cまでの高温環境に対応(高温モデルのアクチュエーターの場合)
  • 超高純度アプリケーションに適した316L VIM-VARステンレス鋼を標準としたバルブ・ボディ
  • 集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、Swagelok VCR®継手エンド・コネクション
  • 電気式インジケーター、光学式ポジション・センサー

ALD3/ALD6シリーズ・バルブのダイヤフラムは、強度と耐食性に優れたコバルト基超合金製です。バルブ・ボディは316L VIM-VARステンレス鋼製で、超高純度アプリケーションに適しています。バルブ・シートは高純度PFA 製で、幅広い耐薬品性を持ち、膨潤とコンタミネーションに対する耐性に優れています。

超高純度用バルブ ALD3/ALD6シリーズの作動型式は、ノーマル・クローズ型とノーマル・オープン型です。2ポート・バルブ(ストレート型、エルボー型)、マルチポート・バルブおよびマルチバルブ・マニホールド(2ポート、3ポート、4ポート)、1.125 インチ(ALD3シリーズのみ)および1.5 インチ・サイズのプラットフォームの集積バルブ(2ポート、3ポート)など、多様な形状があります。個々のプロセスに合わせて、高温モデルのアクチュエーター、電気式インジケーター、ソレノイド・パイロット・バルブ、ヒーター・カートリッジ挿入穴付きといったオプションを選ぶことができます。

仕様

使用圧力範囲真空~1.0 MPa
破裂時> 22.0 MPa
作動圧力範囲0.41 ~ 0.83 MPa
使用温度範囲0°~200°C
流量係数(Cv値)0.27または0.62
ボディ材質316L VIM-VARステンレス鋼
ダイヤフラム材質コバルト基超合金
エンド・コネクション
タイプ(サイズ)めすVCR®面シール継手(1/4~1/2 インチ)
おすVCR面シール継手(1/4~1/2 インチ)
集積モデル大流量用Cシール(1.125~1.5 インチ)

ALD3/ALD6シリーズ・バルブのカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報を確認することができます。

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