Мембранные клапаны Swagelok® сверхвысокой степени чистоты для атомно-слоевого осаждения (серия ALD7)
Клапаны Swagelok серии ALD7 сверхвысокой степени чистоты обеспечивают стабильный расход и пропускную способность, быструю отработку, температурные параметры и уровень чистоты, помогающие увеличить выпуск чипов при использовании новых или имеющихся инструментов для производства полупроводников.
Запросить информацию о клапанах ALD7Swagelok® ALD7 원자층 증착용(ALD) 초고순도 다이어프램 밸브는 반도체 장비 생산업체 및 칩 제조업체가 생산 공정의 한계를 극복하는 데 필요한 유량 일관성 및 용량, 액추에이터 속도, 고온 성능을 지원함으로써 실현 가능한 칩 수율을 올리고 수익성을 높일 수 있도록 합니다. 이 제품은 극도로 높은 사이클 수명 동안 밸브 간, 투입량 간, 챔버 간에 일관적인 성능을 제공합니다.
Swagelok ALD7 밸브의 특징:
- 가장 까다로운 애플리케이션에서도 수백만 회의 사이클 동안 신속하고 정밀한 투입량을 제공하며, 응답 시간이 최단 5 ms인 강화 액추에이터 기술이 적용되었습니다
- 밸브 몸체가 독점 기술인 Swagelok 316L VIM-VAR 스테인리스강으로 구성되어 부식성 가스에 대한 내성이 뛰어납니다
- 최대 200°C까지 가열해도 공압 액추에이터를 최대 사용 온도인 150°C 미만으로 유지할 수 있습니다
- 최고 0.7의 유량 계수(Cv)를 제공합니다(0.5~0.7 Cv의 유량 계수를 제공하는 옵션 맞춤형(출고 시 설정) 버전 공급 가능)
- Swagelok 산업 표준 ALD 밸브와 같은 점유 공간을 유지하며 반응 챔버 근처의 제한적인 공간을 최대한 활용하는 일체형 단열재가 적용되어 있습니다
ALD7 밸브 사양
| 사용 압력 | 진공~145 psig(10.0 bar) |
| 파열 압력 | >3200 psig(220 bar) |
| 작동 압력 | 60~120 psig(4.1~8.27 bar) |
| 온도 등급 | 표준 밸브 몸체: 0°C(32°F)~200°C(392°F) |
| 유량 계수 | 표준 0.7 Cv(출고 시 설정) |
| 몸체 재질 | 316L VIM-VAR 스테인리스강 |
| 다이어프램 재질 | 코발트 초합금 |
| 연결구 | 종류: VCR® 피팅, 튜브 맞대기 용접, 1.5인치 모듈 조립형 대유량 C-씰 |
ALD 밸브에 대해 궁금한 점이 있으십니까?
ALD7 시리즈 밸브 카탈로그
구성 재질, 압력 및 온도 등급, 옵션, 액세서리를 포함한 자세한 제품 정보를 찾을 수 있습니다.
■ サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能／■ 流量係数（Cv 値）：0.27 から1.7 まで／■ 最高使用温度：200°C（ALD20 の場合）／■ オプション：電気式インジケーター、光学式ポジション・センサーなど／■ 超高純度用途に適した316L VIM-VAR ステンレス鋼製ボディ／■ エンド・コネクション・タイプ：集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、VCR ® メタル・ガスケット式面シール継手
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