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Swagelokサーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ DHシリーズ

Swagelok®サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ(DHシリーズ)

Swagelokサーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブは高速での開閉が可能で、高温プロセスで最適なパフォーマンスを発揮します。

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サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ DHシリーズは、原子層蒸着(ALD)/プリカーサー供給用途など、高温/高純度環境でバルブを完全に組み込む必要のあるアプリケーションに適しています。完全に組み込まれた高純度PFA製シートは幅広い耐薬品性を持ち、膨潤とコンタミネーションに対する耐性に優れています。ボディの流路から障害物を一掃しているため、たまり部を最小限に抑え、大流量を実現しています。

最大流量係数(Cv値)は0.60、エンド・コネクション(サイズ:1/4 インチ、3/8 インチ)が豊富で、アクチュエーターは空気作動式と手動式があるなど、幅広いシステムのニーズに対応可能です。ノーマル・クローズ型のアクチュエーターは5 ms未満でバルブを開閉することができます。バルブは、220°Cで最適なパフォーマンスを発揮します。

仕様

使用圧力範囲 真空~0.48 MPa
破裂時 > 22.0 MPa
操作時 0.41~0.62 MPa
使用温度範囲 20°~220°C
流量係数
HタイプVCR®コネクション 0.60(20°Cにて)
0.40(220°Cにて)
VCR/その他すべてのエンド・コネクション 0.30(20°Cにて)
0.21(220°Cにて)
集積バルブ ・ボディ 0.25(20°Cにて)
0.21(220°Cにて)
ボディ材質 316L VIM-VARステンレス鋼
ダイヤフラム材質 コバルト基超合金
エンド・コネクション
タイプ VCR /HタイプVCRメタル・ガスケット式面シール継手、チューブ突き合わせ溶接、集積バルブ(MSM)
サイズ 1/4 インチ、3/8 インチ
1.125 インチ、1.5 インチ(MSM)

DHシリーズ・サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブのカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報を確認することができます。

バルブの流量係数(C<sub>v</sub>値)計算ツール

適切なバルブの選定がすべてを左右する

流量係数(Cv値)計算ツールを使用することで、ニーズに適したサイズのバルブを選定することができます。

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