Swagelok^®原子層蒸着（ALD）用バルブ

Swagelok超高純度用ALD（原子層蒸着）用バルブは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、流量、高温対応性、極めて高い清浄度を備えており、最先端の半導体製造アプリケーションにおいて正確なプリカーサーの供給を実現し、デバイスの歩留まりを最大化します。

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ALD用バルブを世界に送り出してからも、スウェージロックは半導体製造装置メーカーやファブと緊密に連携し、ALDの供給制御の向上に取り組んできました。これにより急速な技術革新に対応し、開発期間を短縮し、ますます複雑化するプロセスにおいてデバイスの歩留まりを向上できるよう支援しています。Swagelok^®ALD用バルブは、製品ラインアップ全体を通じて、過酷なアプリケーションにおいても安定したパフォーマンスを維持するのに欠かせない精度、一貫性、クレンリネス（清浄度）、優れたサイクル・ライフを備えています。

厳密な流量制御、高速作動、高温安定性を実現するSwagelok ALD用バルブは、供給のばらつきを低減し、ウェハ歩留まりの向上および開発サイクルの短縮を支援することで、次世代技術をより迅速に市場に投入できるようサポートします。

超高純度用ALD用バルブの特徴：

サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能
流量係数（C_v値）：0.27～1.7
最高250°Cまでの高温環境に対応（高温モデルのアクチュエーターの場合）
現場での流量調節が可能なバルブもございます
オプション：電気式インジケーター、光学式ポジション・センサーなど
超高純度用途に適した316L VIM-VARステンレス鋼製および合金22製ボディ
エンド・コネクション・タイプ：集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、VCR^®メタル・ガスケット式面シール継手
シングル・ボディに加え、積層造形（AM）マニホールドもございます

適切なALD用バルブを使用してプロセス制御を改善する

原子層蒸着（ALD）用バルブのカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。

Ultrahigh-Purity Valves for Atomic Layer Processing, ALD, Diaphragm and Bellows Valves

ALD3, ALD6, ALD7A, and ALD7C Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 482°F (250°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available

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Сборка клапана Swagelok ALD20 UHP в чистом помещении для применения в полупроводниковой отрасли

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Полупроводниковые прекурсоры нового поколения создают дополнительные требования к производственным процессам. Оптимизированный дизайн систем и технологии ALD помогают сохранять конкурентное преимущество.

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