スウェージロックのサーマル・ループ 管理プログラム（半導体ファブ向け）

半導体ウェハ製造用のサーマル・ループ・システムにおいて結露を防止し、コストを削減する

半導体ウェハ製造において最適な歩留まりを達成するには、チラーや熱交換器の効率的なオペレーションが求められます。それには信頼性の高いチラー・ホースをはじめとする漏れの無い部品が欠かせません。このような部品を適切に取り付け、レイアウトし、断熱することで、プロセスの一貫性、再現性、クレンリネス（清浄度）を維持しつつ、結露などの問題が生じないオペレーション環境を実現することができます。

スウェージロックは、上記のニーズに対応するべく、サーマル・ループ管理プログラムを開発しました。本プログラムでは、半導体ウェハ製造アプリケーションの要件に関して数十年にわたり培ってきた経験や深い技術的理解を活かし、半導体プロセスの生産性を最大限に高めるためのリソースを包括的に提供しています。

半導体ファブで使用されるチラー・ホースの効率を包括的なプログラムでサポート

サーマル・ループ管理プログラムのメリット

スウェージロックのサーマル・ループ管理プログラムを活用すると、以下のメリットを得ることができます：

• プロセス中断の原因となる結露を防止することで、ダウンタイム（停止時間）を短縮
• プロセス・ループ全体で効率的に流体を移送し、温度の変動を最小限に抑えることで、半導体デバイスの歩留まり向上を実現
• チラーのパフォーマンス向上により、効率アップおよびエネルギー・コスト削減を実現
• ベンダーを統一してプロセスの合理化を図ることで、設備投資およびオペレーション・コストを削減

世界各地のスウェージロック指定販売会社には、数百名ものフィールド・エンジニアが在籍しています。半導体ウェハ製造におけるサーマル・ループのパフォーマンスの最適化に必要なサポートをご希望なら、お気軽にお問い合わせください。スウェージロックのフィールド・エンジニアは、専門的なガイダンス、現地サポート、プレハブ式のシステム・アセンブリー（Swagelokリミティッド・ライフタイム保証付き）など、半導体製造のニーズに対応する包括的なソリューションを提供します。

スウェージロックのサーマル・ループ管理プログラムの詳細や、プログラムを活用するメリットにつきましては、最寄りのスウェージロック指定販売会社までお問い合わせください。

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