Válvulas de Deposición de Capas Atómicas (ALD) Swagelok®
Las válvulas Swagelok de ultra alta pureza para deposición de capas atómicas (ALD) ofrecen vida útil ultra alta, alta velocidad de actuación, los caudales, la inmersión térmica y la extrema limpieza necesarias para permitir una dosificación precisa y maximizar la producción de chips en aplicaciones avanzadas de fabricación de semiconductores.
Más Información sobre Válvulas ALDDesde que introdujimos en el mercado mundial las válvulas ALD, hemos trabajado conjuntamente con los fabricantes de herramientas para semiconductores y las plantas para ofrecer una tecnología avanzada de válvulas ALD que ofrezca los niveles extremos de precisión, consistencia, limpieza y larga vida útil necesarios para seguir el rápido ritmo de innovación del mercado. Las válvulas ALD Swagelok®pueden apoyar el incremento de la eficiencia en la producción de los chips y superar los retos que suelen ir asociados a los procesos ALD.
Nuestras válvulas de ultra alta pureza ALD se caracterizan por:
- Ciclo de vida ultra-alto con actuación de alta velocidad
- Cv desde 0,27 hasta 1,7
- Capacidad de temperatura hasta 200°C (392°F) para modelos específicos.
- Opción de detección de posición del actuador electrónica u óptica
- Idoneidad de limpieza para las aplicaciones de ultra alta pureza
- Conexiones finales para sistemas de montaje modular superficial, soldadura de tubo a tope y VCR®
Categorías de Válvulas de Deposición de Capas Atómicas (ALD)
Válvulas de Diafragma de Ultra Alta Pureza, Serie ALD7
La válvula de diafragma Swagelok® ALD7 de ultra alta pureza ofrece la precisión y consistencia necesarias para maximizar la producción de chips en las aplicaciones de fabricación de semiconductores.
Válvulas de Diafragma de Ultra Alta Pureza, Series ALD3 y ALD6
Las válvulas de diafragma ALD3 y ALD6 ofrecen una larga vida útil, una actuación de alta velocidad y un gran rendimiento en aplicaciones de deposición de capas atómicas.
Válvulas de Ultra Alta Pureza para Aplicaciones de Alto Caudal, Serie ALD20
Tecnología avanzada de deposición de capas atómicas con caudales 2-3 veces superiores a los de otras válvulas ALD gracias a la válvula ALD20 de ultra alta pureza.
Catálogos de Válvulas de Deposición de Capas Atómicas (ALD)
Encuentre información detallada de producto, incluidos materiales de construcción, valores nominales de presión y temperatura, las opciones y los accesorios.
ALD 3, 6, and 7 Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 392°F (200°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
Una Nueva Válvula: Tres Razones por las que Podría Cambiar la Fabricación del Semiconductor
Descubra cómo la última innovación en la tecnología de válvulas de deposición de capas atómicas (ALD), está cambiando las cosas para los fabricantes de semiconductores de alta tecnología.
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