Válvulas de Diafragma Swagelok® de Ultra Alta Pureza para Proceso de Capas Atómicas (Serie ALD7A)
Las válvulas Swagelok ALD7A de ultra alta pureza ofrecen la consistencia y capacidad de caudal, la velocidad del actuador, la temperatura y la limpieza necesaria para maximizar la producción de chips en las herramientas de fabricación de semiconductores nuevas o existentes.
Solicite Información sobre la Válvula ALD7ABasándose en las válvulas ALD7, de probada eficacia, la válvula de diafragma de ultra alta pureza Swagelok® ALD7A se ha mejorado con la posibilidad de ajustar el caudal en campo, lo que permite una regulación precisa del rendimiento del caudal directamente en el entorno de la herramienta. Las válvulas ALD7A están diseñadas específicamente para ofrecer un rendimiento preciso y repetitivo en cuanto a caudal y actuación en condiciones de ciclo exigentes, y ahora ofrecen la capacidad adicional de ajustar con precisión el caudal para adaptarlo a condiciones de proceso específicas, reducir la variabilidad entre cámaras y herramientas, y optimizar el control de la dosificación sin necesidad de rediseñar el sistema.
Diseñada para ofrecer una precisión excepcional, la válvula ALD7A tiene las siguientes características:
- Tecnología de actuadores mejorada para una actuación de alta velocidad y repetitiva —puede alcanzar una velocidad de actuación inferior a 3 ms y un tiempo de respuesta de aproximadamente 5 ms
- Coeficiente de caudal Cvde hasta 0,7 con coeficientes de caudal personalizados opcionales disponibles
- La posibilidad de ajustar el caudal en campo puede permitir una reducción de hasta un 25 % del valor Cv con respecto al caudal ajustado en fábrica
- Cuerpo de válvula resistente a la corrosión, fabricado en acero inoxidable 316L VIM-VAR, para aplicaciones de ultra alta pureza
- Cuerpo de válvula estándar sumergible desde -0 °C (32 °F) hasta 200 °C (392 °F); cuerpo opcional para altas temperaturas y actuador sumergible desde -0 °C (32 °F) hasta 150°C (302 °F)
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Especificaciones de la Válvula ALD7A
| Presión de Servicio | Vacío hasta 10,0 bar (145 psig) |
| Presión de Rotura | 220 bar (3200 psig) |
| Presión de Actuación | 4,2 a 8,2 bar (60 a 120 psig) |
| Temperatura de Servicio | 0 °C (32 °F) a 200 °C (392 °F) |
| Coeficiente de Caudal | Cv estándar 0,7 (ajustado en fábrica) |
| Materiales del Cuerpo | Acero inoxidable 316L VIM-VAR |
| Material del Diafragma | Superaleación con base de cobalto |
| Conexiones Finales | Tip: Accesorios VCR® soldadura de tubo a tope, montaje modular superficial de alto caudal con cierre en C de 1,5 pulg. |
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Catálogos de Válvulas Series ALD7A
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