Swagelok®超高純度用ダイヤフラム・バルブ、原子層プロセス用（ALD3／ALD6シリーズ）
Swagelokダイヤフラム・バルブ ALD3／ALD6シリーズは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、最高0.62の流量係数を備えており、ALD（原子層蒸着）半導体製造に必要なプリカーサーの供給制御を行います。
ALDバルブについて問い合わせるSwagelok®超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD3／ALD6シリーズを使用すると、半導体製造 時に蒸着チャンバー内でマイクロデバイスに1層ずつ堆積する際に使用するプリカーサー・ガスの信頼性を保ちつつ、高速供給を行うことができます。高パフォーマンスを誇るALD3／ALD6シリーズ・バルブは、非常に優れたサイクル・ライフ、アクチュエーター部分を含めた高温対応を特徴としており、超高純度アプリケーションに適しています。
ALD3／ALD6シリーズ・バルブのダイヤフラムはコバルト基超合金製で、強度および耐食性に優れています。バルブ・ボディは316L VIM-VARステンレス鋼製で、超高純度アプリケーションに適しています。バルブ・シートは完全フッ素結合させた高純度PFA製で、幅広い耐薬品性を備えており、膨潤およびコンタミネーションに対する耐性に優れています。ALD3／ALD6シリーズ・バルブには、ノーマル・クローズ型およびノーマル・オープン型のエアー・アクチュエーターを取り付けることができ、さまざまな取り付け要件に合わせて多種多様な形状を選ぶことができます。
仕様
| 使用圧力範囲 | 真空～1.00 MPa |
| 破裂時 | >22.0 MPa |
| 作動圧力範囲 | 0.35～0.62 MPa |
| 使用温度範囲 | 0°～200°C |
| 流量係数（Cv値） | 0.27または0.62 |
| ボディ材質 | 316L VIM-VARステンレス鋼 |
| ダイヤフラム材質 | コバルト基超合金 |
| エンド・コネクション・タイプ（サイズ） | めすVCR®面シール継手（1/4～1/2 インチ）、おすVCR面シール継手（1/4～1/2 インチ）、集積モデル大流量用Cシール（1.125～1.5 インチ） |
ALDバルブに関して質問がありますか？
ALD3／ALD6シリーズ・バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。
ALD 3, 6, and 7 Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 392°F (200°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
最適な合金で半導体製造の歩留まりを高める
重要な流体システム部品に適した金属材料を選定することで、エンドからエンドまでの製造の歩留まりを高め、長期的な収益性の向上を図る方法を紹介します。
材料選定に関するコラム記事を読む関連資料／コラム記事
1つの新しいバルブが半導体製造を変える3つの理由
今回は、原子層蒸着（ALD）バルブの最新テクノロジーが、ハイテク半導体メーカーにもたらす影響について紹介します。
Q&R : le passé, le présent et l’avenir de la fabrication des semi-conducteurs
Découvrez comment la collaboration entre des équipementiers du secteur des semi-conducteurs, des fabricants de puces et des fournisseurs de solutions pour systèmes fluides a permis au marché de tenir le rythme imposé par la loi de Moore pendant des décennies, et ce que nous réserve l’avenir.
Un fabricant d’équipements pour le secteur des fibres optiques gagne en efficience grâce à des solutions sur mesure
Depuis les années 1980, Rosendahl Nextrom s’appuie sur Swagelok pour développer ses activités. Découvrez les solutions qui ont permis à l’entreprise de devancer ses concurrents et de rester leader dans son secteur.
Des systèmes fluides pour des applications aux confins de la science
Découvrez pourquoi Bluefors, fabricant finlandais de réfrigérateurs à dilution, fait confiance aux composants et solutions Swagelok pour les systèmes fluides de réfrigérateurs nécessaires à l’informatique quantique, à la physique expérimentale et à bien d’autres applications.