Swagelok® Atomic Layer Deposition (ALD) Valves
Swagelok ultrahigh-purity atomic layer deposition (ALD) valves offer the ultrahigh cycle life, high-speed actuation, flow rates, thermal immersibility, and extreme cleanliness needed to enable precise dosing and maximize chip yield in advanced semiconductor manufacturing applications.
Request ALD Valve InformationSince introducing the world to ALD valves, we have worked closely with semiconductor tool OEMs and fabs to deliver advanced ALD valve technology that provides the extreme levels of precision, consistency, cleanliness, and high cycle life necessary to keep up with the quick pace of innovation in the marketplace. Swagelok® ALD valves can support increased chip production efficiency and overcome the challenges that are often associated with ALD processes.
Our ALD ultrahigh-purity valves feature:
- Ultrahigh cycle life with high-speed actuation
- Cv ranging from 0.27 to 1.7
- Temperature capability up to 392°F (200°C) for specified models
- Electronic or optical actuator position-sensing option
- Cleanliness suitability for ultrahigh-purity applications
- Modular surface mount, tube butt weld, and VCR® end connections
Atomic Layer Deposition (ALD) Valves Categories
Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD3 and ALD6 Series
ALD3 and ALD6 diaphragm valves offer ultrahigh cycle life, high-speed actuation, and strong performance in atomic layer deposition applications.
Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD7 Series
The Swagelok® ALD7 ultrahigh-purity diaphragm valve offers the precision and consistency needed to maximize chip yields in semiconductor manufacturing applications.
Ultrahigh-Purity Valves for High-Flow Applications, ALD20 Series
Advance atomic layer deposition technology with flow rates 2–3x higher than other ALD valves with the ALD20 ultrahigh-purity valve.
Каталоги клапанов для атомно-слоевого осаждения (ALD)
Получите подробные сведения о продукции, в том числе о материалах изготовления, номинальных параметрах давления и температуры, вариантах исполнения и вспомогательных принадлежностях.
ALD 3, 6, and 7 Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 392°F (200°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
Один новый клапан и три причины, которые позволят ему изменить производство полупроводников
Узнайте, как новейшие достижения в технологии ALD (атомно-слоевое осаждение) меняют ситуацию на рынке высокотехнологичного производства полупроводников.
Узнайте больше о периодической таблицеРесурсы Swagelok специально для вас
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов
Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.
Вопросы и ответы. Полупроводниковое производство—вчера, сегодня, завтра
Узнайте, как сотрудничество между OEM-производителями оборудования, производителями микросхем и поставщиками решений для жидкостных и газовых систем позволило полупроводниковой отрасли десятилетиями придерживаться закона Мура, а также о том, куда двигаться дальше.
Производитель оптоволоконного оборудования повышает эффективность с помощью индивидуальных решений
С 1980-х годов Rosendahl Nextrom полагается на компанию Swagelok в развитии своего бизнеса. Узнайте больше о решениях, которые позволили компании опередить конкурентов и остаться в числе отраслевых лидеров.
Надежные решения в жидкостных и газовых системах для новых научно-исследовательских возможностей
Узнайте, почему финская компания-производитель криогенных рефрижераторов Bluefors доверяет компонентам и решениям Swagelok для жидкостных и газовых систем, которые способствуют развитию сферы квантовых вычислений, экспериментальной физики и других направлений.