Swagelok^®圧力計、超高純度用／クリーン・ドライ・エアー用（PGU／PGCシリーズ）

Swagelok^®超高純度用／クリーン・ドライ・エラー用圧力計は、ブルドン管を使用してシステムの正圧および真空のモニタリングを行います。

Swagelok^®超高純度用圧力計PGUシリーズおよびクリーン・ドライ・エアー用圧力計PGCシリーズは、バルク・ガス供給からプロセス・ツール・アプリケーションに至るまで、幅広いアプリケーションに使用することができます。精度はASME B40.1、EN837-1、JIS B7505に準拠しています。

PGUシリーズ圧力計は半導体ガス・アプリケーション向けの超高純度「クリーン」で、SEMI/SEMATECHに準拠しています。クラス100/10のクリーンルームでクリーニングおよびパッケージングを行っており、エンド・コネクションは316L VARステンレス鋼製です。PGCシリーズ圧力計は、クラス100のクリーンルームで組み立て、クリーニング、パッケージングを行っています。エンド・コネクションは、1/4 インチ・サイズNPTねじです。両シリーズの圧力計とも窒素でパージを行い、ねじ接続部分に保護キャップを取り付けています。工場にて校正およびヘリウム・リーク・テスト（最大許容リーク・レート：1× 10-9 std cm³/s）を全品に行っています。

仕様

目盛範囲	PGUシリーズ：真空～21 MPa PGCシリーズ：真空～40 MPa
目盛板の外径サイズ	28mm、40 mm、50 mm
精度	50 mm目盛板の場合：フル・スケールの± 2%、1%、2%（JIS B7505の2.5級、ASME B40.100グレードA、EN 837-1 クラス2.5） 40 mm目盛板の場合：フル・スケールの± 3%、2%、3%（JIS B7505の4.0 級、ASME B40.100 グレードB、EN 837-1 クラス4.0） 28 mm目盛板の場合：フル・スケールの± 3%
使用温度範囲	周囲温度：–40～60°C 測定流体温度：–40～100°C
エンド・コネクション	PGUシリーズ：1/4 インチ・サイズめすVCR^®継手、1/4 インチ・サイズ回転可能型おすVCR継手、1/4 インチ・サイズ一体型おすVCR継手、 1.5インチ・フロー・スルー型、サーフェス・マウント型 PGCシリーズ：1/4 インチ・サイズNPTおねじ