Swagelok ® Ultrahochreine Fluorpolymer-Membranventile (Serie DRP)
Die ultrahochreinen Fluorpolymer-Membranventile der Serie DRP von Swagelok sind eine robuste Lösung für Systeme zur Verteilung von ultrahochreinen Chemikalien, deionisiertem Wasser (VE-Wasser) und großen Chemikalienmengen.
Weitere Informationen anfordernDie Ventile der Serie DRP von Swagelok® sind mit einem modifiziertem PTFE-Köper für hervorragende Chemikalienbeständigkeit gefertigt. Der patentierte, vollkommen frei gehaltene Fließweg reduziert Einschlussbereiche, ermöglicht zügiges Freispülen von Prozessmedien und minimiert das Kontaminationsrisiko. Darüber hinaus reduziert er die Fluidscherung zur Vorbeugung gegen Schlammanhäufungen und verbessert die Prozesseffizienz.
Die patentierte Membranform aus modifiziertem PTFE wurde optimiert, um die Belastung während der Betätigungszyklen zu minimieren. Ein verstärkter Membranrand dichtet die Ventilkammer ab, verhindert Verunreinigungen im Prozessmedium und reduziert die Ventilsitzbelastung.
Die Membranventile der Serie DRP sind mit pneumatischer oder manueller Betätigung und einstellbaren Durchfluss- und Bypass-Optionen für eine präzise Regelung erhältlich. Sie erfüllen die SEMI-Norm F57-0301 und eignen sich daher hervorragend für ultrahochreine Anwendungen wie chemisch-mechanische Planarisierungssysteme (CMP), VE-Wassersysteme und Systeme zur Bereitstellung großer Chemikalienmengen.
Spezifikationen
| Druckstufe | Bis 6,8 bar (100 psig) |
| Medientemperatur | 23 ° bis 100 °C (73 ° bis 212 °F) |
| Durchflusskoeffizient | Bis 10,2 |
| Körper-, Membranwerkstoff: | Modifiziertes PTFE |
| Endanschlüsse | Typ: Fine-Flare- und Nippon Pillar® Super 300® Standard Größe: 6 bis 25 mm und 1/4 bis 1 1/4 Zoll Konfiguration: manuelle und pneumatische 2- und 3-Wege-Absperrung; einstellbare Durchfluss- und Bypass-Modelle |
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Ultrahochreine Fluorpolymer-Membranventile—Kataloge
Hier finden Sie ausführliche Produktinformationen zu Werkstoffen, Druckstufen, Auslegungstemperaturen, Optionen und Zubehör.
DRP 시리즈 공기작동식 및 1/4 회전 수동식 2-방향 및 3-방향 모델; 공기 작동식 및 유량 조절과 바이패스가 가능한 수동식 모델 유체가 접촉되는 부위는 DuPont® Teflon® 개선된 PTFE 및 폴리프로필렌 개폐기 초고순도 시스템 부품에 적용되는 SEMI 표준 F57-0301 준수 확관형 및 Nippon Pillar® Super 300 연결구가 기본형; Flowell, space saver 및 기타 연결구 제공 가능 주문자 요청에 의한 매니폴드 및 부분 조립품 제공 가능
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