Swagelok® Ultrahochreine Membranventile für die Atomlagenabscheidung (Serien ALD3 und ALD6)
Die Membranventile der Serien ALD3 und ALD6 von Swagelok werden in Werkzeugen zur Halbleiterfertigung für eine präzise Dosierung bei der Atomlagenabscheidung eingesetzt. Sie zeichnen sich durch äußerst lange Lebensdauer, hohe Stellgeschwindigkeiten und Durchflusskoeffizienten von bis zu 0,62 aus.
Informationen zu ALD-Ventilen anfordernLes vannes à membrane très haute pureté ALD3 Swagelok® et ALD6 Swagelok® sont conçues pour fournir aux fabricants de semi-conducteurs un dosage fiable et ultrarapide des gaz précurseurs utilisés pour fabriquer des puces électroniques couche par couche dans les chambres de dépôt. Ces vannes ultraperformantes ont une durée de vie très longue, peuvent être immergées complètement à des températures élevées et sont adaptées aux applications très haute pureté.
Les membranes utilisées dans les vannes ALD3 et ALD6 sont fabriquées dans un superalliage à base de cobalt à la fois robuste et résistant à la corrosion. Avec leur corps en acier inoxydable 316L VIM-VAR, ces vannes sont adaptées aux applications très haute pureté. Fabriqué en PFA haute pureté, le siège des vannes est compatible avec de nombreux produits chimiques, résiste au gonflement et empêche les contaminations. Ces vannes à actionnement pneumatique normalement fermées ou normalement ouvertes sont proposées dans des configurations diverses adaptées à différentes contraintes d’installation.
Découvrir en quoi les vannes ALD améliorent les procédés de fabrication des semi-conducteurs
Caractéristiques techniques des vannes ALD3 et ALD6
| Pression de service | Du vide à 10,0 bar (145 psig) |
| Pression d’éclatement | > 220 bar (3200 psig) |
| Pression d’actionnement | 3,5 à 6,2 bar (50 à 90 psig) |
| Température | 0° à 200°C (32° à 392°F) |
| Coefficient de débit (Cv) | 0,27 ou 0,62 |
| Matériaux du corps | Acier inoxydable 316L VIM-VAR |
| Matériau de la membrane | Superalliage à base de cobalt |
| Raccordements d’extrémité | Type (taille) : Raccord VCR® femelle (1/4 po à 1/2 po), raccord VCR mâle (1/4 po à 1/2 po), joint en C haut débit pour montage modulaire en surface (1,125 po à 1,5 po) |
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Catalogues des vannes séries ALD3 et ALD6
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ALD 3, 6, and 7 Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 392°F (200°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
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