Мембранные клапаны Swagelok® сверхвысокой степени чистоты для атомно-слоевого осаждения (серии ALD3 и ALD6)
Мембранные клапаны Swagelok серий ALD3 и ALD6 используются в производстве полупроводников для контролируемого дозирования в методе атомно-слоевого осаждения (ALD). Устройства отличаются чрезвычайно долгим сроком службы, скоростью срабатывания и коэффициентом расхода вплоть до 0,62.
Запросить информацию о клапанах ALDSwagelok®超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD3／ALD6シリーズを使用すると、半導体製造 時に蒸着チャンバー内でマイクロデバイスに1層ずつ堆積する際に使用するプリカーサー・ガスの信頼性を保ちつつ、高速供給を行うことができます。高パフォーマンスを誇るALD3／ALD6シリーズ・バルブは、非常に優れたサイクル・ライフ、アクチュエーター部分を含めた高温対応を特徴としており、超高純度アプリケーションに適しています。
ALD3／ALD6シリーズ・バルブのダイヤフラムはコバルト基超合金製で、強度および耐食性に優れています。バルブ・ボディは316L VIM-VARステンレス鋼製で、超高純度アプリケーションに適しています。バルブ・シートは完全フッ素結合させた高純度PFA製で、幅広い耐薬品性を備えており、膨潤およびコンタミネーションに対する耐性に優れています。ALD3／ALD6シリーズ・バルブには、ノーマル・クローズ型およびノーマル・オープン型のエアー・アクチュエーターを取り付けることができ、さまざまな取り付け要件に合わせて多種多様な形状を選ぶことができます。
仕様
| 使用圧力範囲 | 真空～1.00 MPa |
| 破裂時 | >22.0 MPa |
| 作動圧力範囲 | 0.35～0.62 MPa |
| 使用温度範囲 | 0°～200°C |
| 流量係数（Cv値） | 0.27または0.62 |
| ボディ材質 | 316L VIM-VARステンレス鋼 |
| ダイヤフラム材質 | コバルト基超合金 |
| エンド・コネクション・タイプ（サイズ） | めすVCR®面シール継手（1/4～1/2 インチ）、おすVCR面シール継手（1/4～1/2 インチ）、集積モデル大流量用Cシール（1.125～1.5 インチ） |
ALDバルブに関して質問がありますか？
ALD3／ALD6シリーズ・バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。
원자층 증착 (ALD) 용 다이어프램 밸브 고속 개폐 시에도 매우 긴 수명 유지 ; Cv 범위 0.27 ~ 0.62; 고온용 개폐기로 200°C (392°F)까지 사용가능; 전자 개폐기 위치 감지 옵션; 초고순도 사양에 적합한 316L VIM-VAR 스텐레스강 몸체; VCR®, 튜브 맞대기 용접 및 블럭 조립식 연결구
最適な合金で半導体製造の歩留まりを高める
重要な流体システム部品に適した金属材料を選定することで、エンドからエンドまでの製造の歩留まりを高め、長期的な収益性の向上を図る方法を紹介します。
材料選定に関するコラム記事を読む関連資料／コラム記事
Один новый клапан и три причины, которые позволят ему изменить производство полупроводников
Узнайте, как новейшие достижения в технологии ALD (атомно-слоевое осаждение) меняют ситуацию на рынке высокотехнологичного производства полупроводников.
Вопросы и ответы. Полупроводниковое производство—вчера, сегодня, завтра
Узнайте, как сотрудничество между OEM-производителями оборудования, производителями микросхем и поставщиками решений для жидкостных и газовых систем позволило полупроводниковой отрасли десятилетиями придерживаться закона Мура, а также о том, куда двигаться дальше.
Производитель оптоволоконного оборудования повышает эффективность с помощью индивидуальных решений
С 1980-х годов Rosendahl Nextrom полагается на компанию Swagelok в развитии своего бизнеса. Узнайте больше о решениях, которые позволили компании опередить конкурентов и остаться в числе отраслевых лидеров.
Надежные решения в жидкостных и газовых системах для новых научно-исследовательских возможностей
Узнайте, почему финская компания-производитель криогенных рефрижераторов Bluefors доверяет компонентам и решениям Swagelok для жидкостных и газовых систем, которые способствуют развитию сферы квантовых вычислений, экспериментальной физики и других направлений.