Мембранные клапаны Swagelok® сверхвысокой степени чистоты для атомно-слоевого осаждения (серии ALD3 и ALD6)
Мембранные клапаны Swagelok серий ALD3 и ALD6 используются в производстве полупроводников для контролируемого дозирования в методе атомно-слоевого осаждения (ALD). Устройства отличаются чрезвычайно долгим сроком службы, скоростью срабатывания и коэффициентом расхода вплоть до 0,62.
Запросить информацию о клапанах ALDКонструкция мембранных клапанов Swagelok® серий ALD3 и Swagelok® серий ALD6 сверхвысокой степени чистоты дает возможность производителям полупроводников выполнять стабильное, высокоскоростное дозирование газовых прекурсоров, необходимое для послойного наращивания микросхем в камерах осаждения. Такие клапаны отличаются сверхвысоким ресурсом цикла, работой с полным погружением на повышенных температурах, и пригодностью к использованию в сверхчистых системах.
Мембраны в сериях ALD3 и ALD6 изготовлены из специального сплава на основе кобальта, обеспечивающего прочность и коррозионную стойкость. Корпуса клапанов выполнены из нержавеющей стали 316L VIM-VAR, что позволяет использовать их в системах сверхвысокой степени чистоты. Седла изготовлены из фторированного высокочистого PFA для обеспечения широкого диапазона химической совместимости и устойчивости к вздутию и загрязнению. Клапаны можно настроены в нормально закрытый или нормально открытый пневматический режим. Для удовлетворения требований к установке доступны различные конфигурации.
Каким образом клапаны ALD улучшают производство полупроводников
Технические характеристики клапанов ALD3 и ALD6
| Рабочее давление | От вакуума до 145 psig (10,0 бар ман) |
| Давление разрыва | > 3200 psig (220 бар ман) |
| Давление срабатывания | 50–90 psig (3,5–6,2 бар ман) |
| Температура | 32–392°F (0–200°C) |
| Коэффициент расхода (Cv) | 0,27 или 0,62 |
| Материалы корпуса | Нерж. сталь 316L VIM-VAR |
| Материал мембраны | Специальный сплав на основе кобальта |
| Торцевые соединения | Тип (размер): Фитинг с торцевым уплотнением VCR® с внутренней резьбой (от 1/4 до 1/2 дюйма), фитинг с торцевым уплотнением VCR с наружной резьбой (от 1/4 до 1/2 дюйма), Модульное соединение для монтажа на поверхность, высокий расход, C-образное уплотнение (от 1,125 до 1,5 дюйма) |
Есть вопросы о клапанах ALD?
Каталоги клапанов серий ALD3 и ALD6
Получите подробные сведения о продукции, в том числе о материалах изготовления, номинальных параметрах давления и температуры, вариантах исполнения и вспомогательных принадлежностях.
ALD 3, 6, and 7 Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 392°F (200°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов
Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.
Узнайте о подборе материаловLes ressources de Swagelok sélectionnées pour vous
Une nouvelle vanne et trois raisons pour lesquelles elle pourrait révolutionner le secteur des semi-conducteurs.
Découvrez comment la dernière innovation dans le domaine des vannes pour dépôt par couche atomique (ALD) est en train de changer la donne pour les fabricants de semi-conducteurs haute technologie.
Q&R : le passé, le présent et l’avenir de la fabrication des semi-conducteurs
Découvrez comment la collaboration entre des équipementiers du secteur des semi-conducteurs, des fabricants de puces et des fournisseurs de solutions pour systèmes fluides a permis au marché de tenir le rythme imposé par la loi de Moore pendant des décennies, et ce que nous réserve l’avenir.
Un fabricant d’équipements pour le secteur des fibres optiques gagne en efficience grâce à des solutions sur mesure
Depuis les années 1980, Rosendahl Nextrom s’appuie sur Swagelok pour développer ses activités. Découvrez les solutions qui ont permis à l’entreprise de devancer ses concurrents et de rester leader dans son secteur.
Des systèmes fluides pour des applications aux confins de la science
Découvrez pourquoi Bluefors, fabricant finlandais de réfrigérateurs à dilution, fait confiance aux composants et solutions Swagelok pour les systèmes fluides de réfrigérateurs nécessaires à l’informatique quantique, à la physique expérimentale et à bien d’autres applications.