
Swagelok® Diaphragm-Sealed Valves
Swagelok diaphragm-sealed valves improve system efficiency while providing effective flow shutoff by minimizing entrapment areas and facilitating purging with a fully swept flow path. They have long cycle lives and are available in a variety of sizes, materials, and configurations to meet the system requirements of high-purity and ultrahigh-purity (UHP) applications.
View Diaphragm ValvesSwagelok diaphragm-sealed valves come in various sizes, materials, and configurations to meet the needs of high-purity and UHP applications. They feature flow coefficients ranging from 0.20 to 13. Their fully swept flow paths and corrosion-resistant construction make them ideal for applications where cleanliness is crucial. Users can choose from manual, pneumatic, and locking actuator options.
Swagelok diaphragm-sealed valves can be used in atomic layer deposition (ALD), high-flow, modular gas system, thermal-immersion, and ultrahigh-purity applications requiring fluoropolymer component construction.
- Swagelok springless diaphragm valves for modular gas systems are easy to install, provide a visual indication of flow direction, and have a seat design that improves thermal stability
- Swagelok bulk gas diaphragm valves offer a combination of strength, flexibility, and cycle life to support a wide range of ultrahigh-purity shutoff, bulk-gas distribution, and isolation applications
- Swagelok thermal-immersion diaphragm valves can be entirely contained within a high-temperature, high-purity environment, making them strong options for ALD and precursor delivery applications
- Swagelok ultrahigh-purity fluoropolymer diaphragm valves offer a strong solution for UHP chemical distribution, DI water, and bulk chemical delivery systems
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Kategorien

Ersatzteile und Zubehör
Hochwertige Wartungskomponenten sowie Ersatz- und Zubehörteile für Membranventile, darunter, Membran- und Dichtungssätze, Spindelsätze und Antriebssätze.

Federlose Membranventile für modulare Gassysteme, 1,125 Zoll, Serie DE
Zuverlässige und optimierte Regelventile in federloser Ausführung eignen sich ideal für den effizienten Betrieb modularer Gassysteme.

Hochreine Hochdruck-Membranventile, Serien DL und DS
Hochreine Hochdruck-Membranventile mit wiederholter Absperrung & vollständig geschlossener, weich dichtender Spindelspitze, Standardboden & Schalttafelmontage.

Membranventile für Gasverteilung (Serie LD)
Hochdurchfluss-Membranventile für die sichere Absperrung, Gasverteilung und Isolierung in ultrahochreinen Anwendungen.

Membranventile zur Wärmeimmersion, Serie DH
Membranventile zur Wärmeimmersion kommen bei hohen Temperaturen zum Einsatz, z. B. bei der Atomlagenabscheidung (ALD) und vorgelagerten Prozessen.

Ultrahochrein, Hochdruck-Membranventil, Serie DPH
Ultrahochreine Hochdruck-Membranventile sind für unterschiedliche Anwendungen und in einer Vielzahl von Größen, Werkstoffen und Konfigurationen erhältlich.

Ultrahochreine Fluorpolymer, Membranventile, Serie DRP
Optimale Leistung und Beständigkeit in ultrahochreinen chemischen Systemen mit völlig freiem Durchflussweg – für minimale Belastungen und Fluidkontamination.

Ultrahochreine Membran-Absperrventile, Serie DP
Ultrahochreine Absperrmembranventile in gerader und Mehrwege-Ausführung, mit manueller Betätigung, modularer Flächenbefestigung und integrierten Steuerköpfen.

Ultrahochreine Membranventile für hohen Durchfluss, Serie DF
Die langlebigen Membranventile mit hohem Durchfluss sind ohne Federn & Gewinde ausgelegt, um die Sauberkeit zu erhöhen und eine optimale Spülung zu ermöglichen.

Ventilblöcke mit mehreren Ventilen
Entdecken Sie unsere Mehrfachventilblöcke mit Membranventilen – für eine zuverlässige Leistung, hohe Reinheit und präzise Fluidkontrolle.
Diaphragm-Sealed Valves Catalogs
Locate detailed product information, including materials of construction, pressure and temperature ratings, options, and accessories.
Features: 1.125 in. C-seal and W-seal designs; Available in two- and three-port configurations; Compact pneumatic and manual actuators; Pneumatic actuator indicator ball: red for normally closed, green for normally open; Fixed orientation of actuator to body for consistency of installation; Corner chamfers on outlet side of body for visual indication of flow direction
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
Features: Pneumatic and quarter-turn manual 2-way and 3-way models; pneumatic and manual models with adjustable flow and bypass features; DuPont® Teflon® modified PTFE wetted parts and polypropylene actuator; Meet SEMI Standard F57-0301 for ultrahigh-purity system components; Fine thread flare and Nippon Pillar® Super 300 end connections standard; space saver and other end connections available; Custom manifolds and subassemblies available
Features: Packless, all-metal containment; Working pressures from vacuum to 3500 psig (241 bar); Temperatures from –100 to 250°F (–73 to 121°C)
Features: Suitable for ultrahigh-purity applications; 316L VIM-VAR stainless steel body; Low-pressure and high-pressure models; VCR®, tube butt weld, and modular surface-mount end connections; Manual or pneumatic actuation
Features: Working pressures up to 300 psig (20.6 bar); Shutoff, bulk-gas distribution, and isolation service; Cast, forged, and bar stock stainless steel body material; 1/4 to 1 in. and 12 to 25 mm end connections
Features: 316L VAR stainless steel body; Working pressures up to 300 psig (20.6 bar); 1/4, 3/8, and 1/2 in.; 10 and 12 mm end connections

Calculate Flow Rate for the Right Valve Selection
Use our valve flow coefficient (Cv) calculator to chose a valve sized correctly for your needs.
Use the ToolSwagelok Resources Curated for You

How to Select the Right Valves for Your Industrial Fluid System
Learn how to apply the practical STAMPED method to select the valves most suited to your industrial fluid or sampling system design applications.

Minimize the Costs of Fugitive Emissions with Low-E Valves
Fugitive emissions are a growing concern in the chemical and petroleum refining industry. Certified low-emissions (Low-E) valves can protect your facility and bottom line. Learn what they are, how they are tested, and how they can help you in this post.

Comment isoler les lignes d’un système fluide industriel avec des vannes d’arrêt
Savoir isoler des lignes avant de procéder à la maintenance d’un système fluide industriel est essentiel pour la sécurité des installations. Un des moyens les plus sûrs pour isoler une ligne dans un système fluide consiste à installer deux vannes d’arrêt. Découvrez comment concevoir des configurations adaptées à votre système.

Une nouvelle vanne. Trois raisons pour lesquelles elle pourrait révolutionner le secteur des semi-conducteurs.
Découvrez comment la dernière innovation dans le domaine des vannes pour dépôt par couche atomique (ALD) est en train de changer la donne pour les fabricants de semi-conducteurs haute technologie.

Vannes à membrane
La diversité des dimensions, des matériaux et des configurations de nos vannes à membrane permet de répondre aux besoins des applications haute et ultra-haute pureté, avec des coefficients de débit allant de 0,20 à 13 et des pressions de service pouvant atteindre 241 bar (3500 psig).
Les vannes à membrane obtureront efficacement l’écoulement dans votre système et peuvent supporter un grand nombre de cycles. La gamme des vannes à membrane Swagelok se compose des produits suivants : vannes pour dépôt par couche atomique (ALD), vannes sans ressort pour les systèmes à gaz modulaires, haute performance et à débit élevé, vannes pour immersion à haute température et vannes en fluoropolymère ultra-haute pureté. Des actionneurs manuels, pneumatiques et de verrouillage sont disponibles.