Мембранные клапаны Swagelok® сверхвысокой степени чистоты для атомно-слоевого осаждения (серии ALD3 и ALD6)
Мембранные клапаны Swagelok серий ALD3 и ALD6 используются в производстве полупроводников для контролируемого дозирования в методе атомно-слоевого осаждения (ALD). Устройства отличаются чрезвычайно долгим сроком службы, скоростью срабатывания и коэффициентом расхода вплоть до 0,62.
Запросить информацию о клапанах ALDКонструкция мембранных клапанов Swagelok® серий ALD3 и Swagelok® серий ALD6 сверхвысокой степени чистоты дает возможность производителям полупроводников выполнять стабильное, высокоскоростное дозирование газовых прекурсоров, необходимое для послойного наращивания микросхем в камерах осаждения. Такие клапаны отличаются сверхвысоким ресурсом цикла, работой с полным погружением на повышенных температурах, и пригодностью к использованию в сверхчистых системах.
Мембраны в сериях ALD3 и ALD6 изготовлены из специального сплава на основе кобальта, обеспечивающего прочность и коррозионную стойкость. Корпуса клапанов выполнены из нержавеющей стали 316L VIM-VAR, что позволяет использовать их в системах сверхвысокой степени чистоты. Седла изготовлены из фторированного высокочистого PFA для обеспечения широкого диапазона химической совместимости и устойчивости к вздутию и загрязнению. Клапаны можно настроены в нормально закрытый или нормально открытый пневматический режим. Для удовлетворения требований к установке доступны различные конфигурации.
Каким образом клапаны ALD улучшают производство полупроводников
Технические характеристики клапанов ALD3 и ALD6
| Рабочее давление | От вакуума до 145 psig (10,0 бар ман) |
| Давление разрыва | > 3200 psig (220 бар ман) |
| Давление срабатывания | 50–90 psig (3,5–6,2 бар ман) |
| Температура | 32–392°F (0–200°C) |
| Коэффициент расхода (Cv) | 0,27 или 0,62 |
| Материалы корпуса | Нерж. сталь 316L VIM-VAR |
| Материал мембраны | Специальный сплав на основе кобальта |
| Торцевые соединения | Тип (размер): Фитинг с торцевым уплотнением VCR® с внутренней резьбой (от 1/4 до 1/2 дюйма), фитинг с торцевым уплотнением VCR с наружной резьбой (от 1/4 до 1/2 дюйма), Модульное соединение для монтажа на поверхность, высокий расход, C-образное уплотнение (от 1,125 до 1,5 дюйма) |
Есть вопросы о клапанах ALD?
Каталоги клапанов серий ALD3 и ALD6
Получите подробные сведения о продукции, в том числе о материалах изготовления, номинальных параметрах давления и температуры, вариантах исполнения и вспомогательных принадлежностях.
■ サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能／■ 流量係数（Cv 値）：0.27 から1.7 まで／■ 最高使用温度：200°C（ALD20 の場合）／■ オプション：電気式インジケーター、光学式ポジション・センサーなど／■ 超高純度用途に適した316L VIM-VAR ステンレス鋼製ボディ／■ エンド・コネクション・タイプ：集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、VCR ® メタル・ガスケット式面シール継手
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов
Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.
Узнайте о подборе материаловРесурсы Swagelok специально для вас
Один новый клапан и три причины, которые позволят ему изменить производство полупроводников
Узнайте, как новейшие достижения в технологии ALD (атомно-слоевое осаждение) меняют ситуацию на рынке высокотехнологичного производства полупроводников.
Q&A: 반도체 제조의 과거와 현재, 그리고 미래
반도체 장비 OEM, 마이크로칩 제조업체, 유체 시스템 솔루션 제공업체가 어떻게 지난 몇십 년 동안 협력을 통해 반도체 시장이 무어의 법칙에 따른 수요를 충족하도록 해왔으며, 이제부터는 어떻게 해야 할 것인지 알아보십시오.
광섬유 장비 제조업체가 맞춤형 솔루션으로 효율을 높인 사례
로젠달 넥스트롬(Rosendahl Nextrom)은 1980년대부터 Swagelok에 의존하여 사업을 확장해왔습니다. 이 회사가 경쟁업체보다 앞서며 업계 리더 지위를 유지하도록 해준 솔루션에 대해 자세히 알아보십시오.
첨단 과학 분야에 필요한 신뢰성 높은 유체 시스템 솔루션
핀란드의 희석 냉동기 제조업체인 블루포스(Bluefors)가 양자 컴퓨팅과 실험물리학 등을 구현하는 데 Swagelok의 유체 시스템 부품과 솔루션을 신뢰하는 이유를 소개합니다.