Swagelok ® Membranventile zur Wärmeimmersion (Serie DH)
Die Membranventile der Serie DH von Swagelok zur Wärmeimmersion zeichnen sich durch eine besonders schnelle Betätigung aus und sind auf eine optimale Leistung in Hochtemperaturprozessen ausgelegt.
Weitere Informationen anfordernВысокотемпературные погружные мембранные клапаны Swagelok® серии DH предназначены для применения в системах, в которых клапан должен находиться полностью в высокотемпературной среде высокой степени чистоты, например в системах с атомно-слоевым осаждением и системах доставки прекурсоров. Клапаны оснащены полностью закрытым седлом из высокочистого перфторалкокси (PFA), которое обеспечивает широкий диапазон химической совместимости, а также превосходную сопротивляемость вздутию и загрязнению. Беспрепятственный путь прохождения потока в корпусе сокращает до минимума зоны скопления среды и максимально повышает пропускную способность.
Коэффициенты расхода до 0,60, различные торцевые соединения на 1/4 и 3/8 дюйма, а также модели с пневматическим и ручным приводом позволяют удовлетворить широкий спектр текущих потребностей. «Нормально закрытый» привод способен открыть или закрыть клапан менее чем за 5 мс, при этом сам клапан рассчитан на оптимальную работу при температуре 220°C (428°F).
Хотите узнать больше о высокотемпературных погружных клапанах серии DH?
고온(Thermal-Immersion) 다이어프램 밸브 카탈로그
구성 재질, 압력 및 온도 등급, 옵션, 액세서리를 포함한 자세한 제품 정보를 찾을 수 있습니다.
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
関連資料／コラム記事
産業用流体システムに適したバルブを選定する方法
産業用流体システムやサンプリング・システムの設計アプリケーションに適したバルブを選定するためのSTAMPEDメソッドの適用方法を紹介します。
Q&A：半導体製造の過去・現在・将来
半導体装置メーカー、マイクロデバイス・メーカー、流体システム・ソリューションのプロバイダーが連携することで、数十年間にわたっていかにして半導体市場はムーアの法則の要求に追いつくことができたのでしょうか。これからの展望と併せて紹介します。
最適な合金で半導体製造の歩留まりを高める
重要な流体システム部品に適した金属材料を選定することで、エンドからエンドまでの製造の歩留まりを高め、長期的な収益性の向上を図る方法を紹介します。
1つの新しいバルブが半導体製造を変える3つの理由
今回は、原子層蒸着（ALD）バルブの最新テクノロジーが、ハイテク半導体メーカーにもたらす影響について紹介します。