Swagelok® Ultrahochreine Membranventile für Anwendungen mit hohem Durchfluss, Serie ALD20)
Swageloks ultrahochreines ALD20 Ventil bietet eine höhere Durchflusskapazität als andere Atomschichtsedimentierungsventile (ALD), was Benutzern ermöglicht, mit anspruchsvollen Vorläufergasen mit geringem Dampfdruck in ihren ALD-Prozessen zu experimentieren.
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Das ALD20 liefert die Zuverlässigkeit und Leistung, die Kunden von Swageloks ALD-Ventilen erwarten und eröffnet Temperatur-Stabilitäts- und Durchfluss-Möglichkeiten, die zuvor unerreichbar waren. Damit können Hersteller mit unterschiedlichen Prozessen und Stoffen experimentieren, die einen geringen Dampfdruck aufweisen, um die gleichmäßige Gassedimentierung zu erhalten, die notwendig ist, um heute und auch in der Zukunft fortschrittliche Technologien zu entwickeln.
Verbesserter Durchfluss. Minimierter Fußabdruck.
Das ALD20-Ventil wurde insbesondere dazu entwickelt, die Grenzen der ALD-Ventiltechnologie zu erweitern und Durchflussmengen zu erreichen, die zwei- oder dreimal höher sind als die Mengen, die mit den heutigen Standard-ALD-Ventilen erreicht werden können. Damit haben Halbleiter-Chip-Hersteller das Potenzial, nicht nur die Produktion zu erhöhen, sondern auch die Effizienz zu verbessern ohne dafür ihre Prozesse wesentlich ändern zu müssen.
- Das ALD20 kann Durchflussraten von 1,2 Cv mit dem selben Fußabdruck (1,5 Zoll) wie existierende ALD-Ventile liefern und die Leistung verbessern, ohne existierende Maschinen verändern zu müssen.
- Eine zweite ALD20-Ventilvariante mit einem leicht größeren Fußabdruck (1,75 Zoll) erreicht eine sogar noch höhere Durchflussrate, 1,7— die derzeit höchste verfügbare Durchflussrate von einem ultrahochreinen Ventil mit sehr langer Zyklusdauer.
- Es sind auch individuell bestimmbare Durchflusskoeffizienten möglich
Kompromisslose Konsistenz
Das Design des ALD20-Ventils fördert konsistenten Betrieb über einen ultrahohen Lebenszyklus dank einiger wichtiger Eigenschaften:
- Das gesamte Ventil und der Steuerkopf können vollkommen in eine Gasbox bei Temperaturen zwischen 10°°C (50°F) und 200°C (392°F) eingetaucht werden, wodurch der Steuerkopf beim Erhitzen nicht isoliert werden muss. Dadurch verbessert sich die Sedimentierungskonsistenz und Niedrigdampfdruck-Gase werden bei Temperaturen gehalten, die einen optimalen Durchfluss begünstigen.
- Edelstahl 316L VIM-VAR oder Alloy 22 Körperwerkstoffe liefern verbesserten Korrosionswiderstand gegen aggressive Fluide
- Ein hoch poliertes Faltenbalgventil mit einer Oberflächenbearbeitung von 5 μinch Ra unterstützt den sauberen Betrieb für die Lebensdauer eines ultrahohen Lebenszyklus für Prozessintegrität.
- Ein pneumatischer Steuerkopf kann hohe Geschwindigkeiten (<10 ms), wiederholbare Betätigung und konsistenten Durchfluss liefern, um die Dosierungsanforderungen zu erfüllen
Technische Daten
| Arbeitsdruck | Vakuum bis 1,4 bar (20 psig) |
| Berstdruck | >220 bar (3200 psig) |
| Steuerdruck | 4,9 bis 6,2 bar (70 bis 90 psig) |
| Temperatur | 10° bis 200°C (50° bis 392°F) |
| Durchflusskoeffizient(Cv) | 1,2 (MSM) oder 1,7 (gerade Ausführung) |
| Körperwerkstoffe | 316L VIM-VAR oder Alloy 22 |
| Faltenbalg-Werkstoff | Alloy 22 (5 μinch Ra Oberflächenbearbeitung) |
| Endanschlüsse | |
| Typ (Größe) | VCR® Innengewinde (1/2 zoll) Drehbares VCR-Außengewinde (1/2 Zoll) Rohrstumpfschweißenden (1/2 Zoll x 0,049 Zoll), 0,50 Zoll lang Modulare Flächenmontage mit C-Dichtung (1,5 Zoll) mit hohem Durchfluss |
Ventil der Serie ALD20—Kataloge
Finden Sie detaillierte Produktinformationen, einschließlich Werkstoffe, Druck- und Temperaturbereiche, Optionen und Zubehör.
Besonders hohe Zykluslebensdauer bei hoher Betätigungsgeschwindigkeit; Cv-Bereich von 0,27 bis 0,62; Mit Hochtemperatursteuerköpfen einsetzbar bis 200°C (392°F); Optionaler elektronischer Steuerkopf-Stellungsmelder; Geeignet für ultrahochreine Anwendungen mit Körper aus Edelstahl 316L VIM-VAR; VCR®, Stumpfschweißenden und modulare Bauteile für Flächenbefestigung
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