Swagelok^® ultrahochreine Membranventile für die präzise Dosierung in erweiterten ALD- und ALE-Prozessen (Serie ALD7C)

Das ALD7C ultrahochreine Membranventil von Swagelok^® ist die neueste Ergänzung des branchenführenden Produktangebots von Swagelok im Bereich ultrahochreiner Ventile für die Atomlagenabscheidung. Das ALD7C-Ventil ist ein vollständig wartungsfähiges Kartuschenventil und aus Legierung 22 gefertigt – für hohe Korrosions- und Temperaturbeständigkeit sowie hohe Wartungsfreundlichkeit, wie sie in anspruchsvollen Halbleiteranwendungen erforderlich sind.

Als Ergänzung der ALD7A-Plattform eignet sich das ALD7C-Ventil für alle Anwendungen, in denen Temperaturbedingungen, Prozesschemikalien oder Wartungsfähigkeit eine besondere Herausforderung darstellen. Dank der vollständig wartungsfähigen Kartuschenausführung ist das Ventil aus Legierung 22 für eine gleichmäßige Dosierung, thermische Stabilität und Korrosionsbeständigkeit ausgelegt und eignet sich somit ideal für komplexe ALD- und ALE-Prozesse. Über Millionen von Zyklen hinweg sind ALD-Prozesse häufig anfälliger, was die langfristige Gleichmäßigkeit des Durchflusses angeht. Bei ALE-Prozessen spielen weitere Faktoren wie Ansprechzeit und Wiederholgenauigkeit insbesondere bei kurzen Pulsbreiten eine wichtige Rolle. Das ALD7C-Ventil wurde entwickelt, um diesen Anforderungen gerecht zu werden.

Als vollständige Ventillösung ist das ALD7C-Ventil als Einzelventil erhältlich oder kann direkt in additiv gefertigte Verteilerbaugruppen integriert werden. Auf Integratorebene ist kein Untersystem erforderlich. Die Lösung wurde entwickelt, um C-Dichtungen und mehrere Leckagestellen in modularen oberflächenmontierten Baugruppen zu vermeiden.

Das ALD7C-Ventil zeichnet sich durch folgende Merkmale aus:

• Legierung 22 für eine hohe Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit für anspruchsvolle Prozessumgebungen
• Durchflusskoeffizient von 0,7 C_v auch bei erhöhten Temperaturen und unter extremen Vakuumbedingungen; kundenspezifische Durchflusskoeffizienten möglich
• Ventilkörper und Stellantrieb sind für einen kontinuierlichen Betrieb bei Temperaturen bis zu 250 °C (482 °F) ausgelegt – die höchste Temperaturklasse im ALD-Ventilangebot von Swagelok
• Betätigungszeit des Stellantriebs von weniger als 2 ms und Ansprechzeit von unter 5 ms
• Extrem hohe Lebensdauer und gleichmäßige Dosierung – für ALD- und ALE-Anwendungen mit kurzen Pulsbreiten in der Entwicklung fortgeschrittener Technologieknoten
• Konsistente Durchflusskalibrierung auf ±1 %; Durchflussschwankungen über den gesamten Lebenszyklus werden auf 2 % gehalten – für eine gleichmäßige, wiederholbare Dosierung in hochproduktiven Halbleiterprozessen
• Durch die Einstellung des Durchflusses direkt am Gerät lässt sich der C_v-Wert gegenüber den Werkseinstellungen um 35 % reduzieren – für eine feinabgestimmte Dosierung, ohne die Ventile an den Hersteller zurückschicken zu müssen
• Austauschbare Kartusche (Membran + Sitz) für eine direkte Wartung mit bis zu 5 Wiedermontagen pro Ventilkörper – für deutlich reduzierte Ausfallzeiten und geringere Gesamtbetriebskosten über die gesamte Lebensdauer des Ventils
• PFA-Sitz für hochreine Anwendungen, kompatibel mit einer Vielzahl von Chemikalien und mit hervorragender Beständigkeit gegen Aufquellen und Verunreinigungen; hohe Dichtleistung am Ventilsitz über Millionen von Zyklen hinweg
• Stellantriebssätze separat erhältlich, um geplante und ungeplante Wartungseinsätze zu minimeren
• Erhältlich als Einzelventilkörper oder als additiv gefertigte Verteilerbaugruppe mit mehreren ALD7C-Kartuschenventilen in einem kompakten, einteiligen, gedruckten Verteilerkörper aus Legierung 22 – für eine geringere Komplexität der Schnittstelle zwischen Ventil und Verteiler und weniger Leckagestellen

ALD7C-Ventile – Spezifikationen

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