Swagelok®-Ventile für die Atomlagenabscheidung (ALD)
Dank ihrer maximalen Lebensdauer, ihrer sehr schnellen Betätigung, ihrer hohen Durchflussraten, ihrer Fähigkeit zur Wärmeimmersion sowie ihrer herausragenden Sauberkeit sorgen die ultrahochreinen Ventile für die Atomlagenabscheidung (ALD) von Swagelok für eine präzise Dosierung in der modernen Halbleiterfertigung.
Weitere Informationen anfordernUnsere leistungsfähigen ALD-Ventile sind ein herausragendes Beispiel für die langjährige Vorreiterrolle von Swagelok, wenn es um die schnelle Entwicklung technischer Innovationen für die Halbleiterfertigung geht. Seit Einführung der ALD-Ventiltechnologie arbeitet Swagelok eng mit Kunden aus der Halbleiterfertigung zusammen, um deren Anforderungen zu verstehen. Um mit dem hohen Innovationstempo auf dem Markt Schritt zu halten, entwickelt das Unternehmen auf dieser Grundlage ALD-Ventile, die sich durch ein sehr hohes Maß an Präzision, Konsistenz und Sauberkeit sowie eine lange Lebensdauer auszeichnen. Vorteile unserer ultrahochreinen ALD-Ventile:
- Maximale Lebensdauer mit sehr schneller Betätigung
- Cv-Bereich von 0,27 bis 1,7
- Temperaturbeständig bis 200 °C (392 °F) bei bestimmten Modellen
- Elektronische oder optische Stellungssensoren für Stellantriebe optional verfügbar
- Ventilkörper aus 316L VIM-VAR-Edelstahl, geeignet für ultrahochreine Anwendungen
- Modular für Flächenmontage, Stumpfschweißfitting und VCR®-Verschraubungen
Kategorien
Ultrahochreine Membranventile - Serien ALD3 und ALD6
Die ALD3- und ALD6-Membranventile bieten eine extrem hohe Lebensdauer, schnelle Betätigung und hohe Leistung bei der Atomlagenabscheidung.
Ultrahochreine Membranventile für Anwendungen mit hohem Durchfluss, Serie ALD20
Das fortschrittliche, ultrahochreine ALD20-Ventil bietet 2–3 mal höhere Durchflussraten als andere ALD-Ventile.
Ultrahochreine Membranventile, Serie ALD7
Das ALD7-Membranventil für ultrahochreine Anwendungen bietet präzise und konsistente Ergebnisse für eine maximale Chipausbeute in der Halbleiterfertigung.
Kataloge zu ALD-Ventilen
Hier finden Sie ausführliche Produktinformationen zu Werkstoffen, Drücken und Temperaturen, Optionen und Zubehör.
Besonders hohe Zykluslebensdauer bei hoher Betätigungsgeschwindigkeit; Cv-Bereich von 0,27 bis 0,62; Mit Hochtemperatursteuerköpfen einsetzbar bis 200°C (392°F); Optionaler elektronischer Steuerkopf-Stellungsmelder; Geeignet für ultrahochreine Anwendungen mit Körper aus Edelstahl 316L VIM-VAR; VCR®, Stumpfschweißenden und modulare Bauteile für Flächenbefestigung
Kleines Ventil mit großer Wirkung: Warum ein neues Ventil die Halbleiterproduktion verändern könnte
Erfahren Sie mehr darüber, wie die neueste Innovation in der ALD-Ventiltechnologie neue Möglichkeiten für Hersteller modernster Halbleiter schafft.
Neue Elemente aus dem Periodensystem in der Halbleiterfertigung nutzenSwagelok-Ressourcen für Sie zusammengestellt
Verbessern Sie Ihre Halbleiterproduktion durch den Einsatz optimierter Legierungen
Erfahren Sie, wie Halbleiterhersteller ihre Produktionsausbeute und Profitabilität durch Auswahl der passenden Werkstoffe für wichtige Fluidsystemkomponenten langfristig optimieren.
Q&A: Entwicklungen und Trends in der Halbleiterherstellung
In diesem Artikel beschäftigen wir uns damit, wie die Zusammenarbeit zwischen Werkzeugherstellern, Chipproduzenten und Fluidsystemanbietern in der Halbleiterindustrie über Jahrzehnte hinweg dazu beigetragen hat, dass das Mooresche Gesetz eingehalten werden konnte. Zudem werfen wir einen Blick in die Zukunft dieser schnelllebigen Branche.
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Zuverlässige Fluidsystemlösungen für die Wissenschaft
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