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ALD(原子層蒸着)用バルブ

Swagelok®ALD(原子層蒸着)用バルブ

Swagelok超高純度用ALD(原子層蒸着)用バルブは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、流量、高温対応性、極めて高い清浄度を備えており、最先端の半導体製造アプリケーションにおいて正確なプリカーサーの供給を実現し、デバイスの歩留まりを最大化します。

ALD用バルブについて問い合わせる

ALD用バルブ を世界に送り出してからも、スウェージロックは半導体製造装置メーカーやファブと密接に協力して高度なALD用バルブ・テクノロジーを提供し、市場において急速に進む技術革新に対応する上で欠かせない非常に高いレベルの精度、一貫性、クレンリネス(清浄度)、優れたサイクル・ライフの実現に努めてきました。Swagelok ALD用バルブは、デバイスの生産効率の向上をサポートし、ALDプロセスにおける課題を克服します。

超高純度用ALD用バルブの特徴:

  • サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能
  • 流量係数(Cv値):0.27~1.7
  • 最高200°Cまでの高温環境に対応(高温モデルのアクチュエーターの場合)
  • 電気式インジケーターまたは光学式ポジション・センサー・オプション
  • 超高純度アプリケーションに適したクレンリネス(清浄度)
  • 集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、VCR®面シール継手エンド・コネクション

ALD用バルブで課題を解決する

ALD(原子層蒸着)用バルブのカテゴリー

大流量用超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD20シリーズ

大流量用超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD20シリーズ

原子層蒸着技術の進歩を支えるべく、超高純度用ALD20バルブは、他のALDバルブの2~3倍もの大流量に対応します。

超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD3 / ALD6シリーズ

超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD3 / ALD6シリーズ

ALD3/ALD6ダイヤフラム・バルブは、非常に優れたサイクル・ライフおよび高速作動という特徴を備えており、原子層蒸着アプリケーションにおいて高いパフォーマンスを発揮します。

超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD7シリーズ

超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD7シリーズ

Swagelok® ALD7超高純度用ダイヤフラム・バルブは、半導体製造アプリケーションにおいてデバイスの歩留まりを最大化するのに必要な精度および一貫性を備えています。

ALD(原子層蒸着)用バルブのカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。

半導体産業向けのSwagelok超高純度用ALD20シリーズ・バルブのクリーンルームでの組み立て

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今回は、原子層蒸着(ALD)バルブの最新テクノロジーが、ハイテク半導体メーカーにもたらす影響について紹介します。

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