Swagelok®超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ（DRPシリーズ）
Swagelok 超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズは、超高純度の薬液供給システム、超純水システム、薬液のバルク供給システムに対して強力なソリューションを提供します。
詳細について問い合わせるSwagelok®ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズは、接液・接ガス部の材質に次世代PTFEを使用しているため、耐薬品性に優れています。特許を取得した流体流路で流体のたまりを低減すると共に、プロセス流体を素早くパージしてコンタミネーションのリスクを最小限に抑えます。また、流体のせん断を抑えてスラリーの凝集を防止し、プロセス効率の向上を実現します。
次世代PTFE 製ダイヤフラムは耐久性に優れ、長いサイクル・ライフを実現しているほか、オペレーション中の応力を軽減する形状（特許）を採用しています。ダイヤフラムの縁でバルブ内部を密封し、プロセス流体のコンタミネーションを防止すると同時にシートのひずみを抑えます。
DRPシリーズ・バルブは、空気作動式または手動式が選択できるほか、正確な制御が可能なバイパス流量調節機能付きのバルブもあります。SEMI F57-0301に適合しているため、CMPスラリー・システム、超純水システム、薬液のバルク供給システムなどの超高純度（UHP）アプリケーションに適しています。
仕様
| 最高使用圧力 | 0.68 MPa |
| 流体温度範囲 | 23°～100°C |
| 流量係数（Cv値） | 最大10.2 |
| ボディ／ダイヤフラム材質 | 次世代PTFE |
| エンド・コネクション | タイプ：フレアー継手、スーパー300タイプピラーフィッティング®（標準） サイズ：1/4～1 1/4 インチ、6～25 mm 種類：空気作動式バルブ（2方タイプ／3方タイプ）、1/4回転手動式バルブ（2方タイプ）、手動式流量調節バルブ、空気作動式流量調節バルブ（開度調節機能付き、ストローク・リミッター）、空気作動式流量調節バルブ（バイバス流量調節機能付き、トリックル・フロー） |
DRPシリーズ・バルブで超高純度流体システムを最適化しませんか？
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