Válvulas de Diafragma Swagelok®
Las válvulas de diafragma Swagelok mejoran la eficiencia del sistema a la vez que ofrecen un cierre efectivo del caudal, minimizando las áreas de atrapamiento y facilitando la purga con un paso de caudal totalmente dinámico. Sus ciclos de vida son largos y están disponibles en diversos tamaños, materiales y configuraciones para satisfacer los requisitos de los sistemas de aplicaciones de alta pureza y ultra alta pureza (UHP).
Ver Válvulas de DiafragmaLas válvulas de diafragma Swagelok están disponibles en varios tamaños, materiales y configuraciones para satisfacer las necesidades de las aplicaciones de alta pureza y UHP. Tienen coeficientes de caudal que van de 0,20 a 13. Sus pasos de caudal dinámicos y su construcción resistente a la corrosión las hacen ideales para las aplicaciones en las que la limpieza es crítica. Los usuarios pueden elegir entre las opciones de actuador manual, neumático y con bloqueo.
Las válvulas de diafragma Swagelok se pueden utilizar en aplicaciones de deposición de capas atómicas (ALD), alto caudal, sistemas modulares de gas, inmersión térmica y aplicaciones de ultra alta pureza que requieran la construcción con componentes de fluoropolímero.
- Las válvulas de diafragma Swagelok sin muelles serie DE para sistemas modulares de gas son fáciles de instalar, ofrecen una indicación visual del sentido del caudal y tienen un diseño de asiento que mejora la estabilidad térmica.
- Las válvulas de diafragma para distribución de gas Swagelok ofrecen una combinación de resistencia, flexibilidad y vida útil para apoyar una amplia gama de aplicaciones de cierre de ultra alta pureza, distribución de gas y aislamiento.
- Las válvulas de diafragma de inmersión térmica Swagelok pueden estar totalmente contenidas dentro de un entorno de alta temperatura y alta pureza, lo que las hace opciones idóneas para aplicaciones de ALD y de suministro de precursores.
- Las válvulas de diafragma Swagelok de fluoropolímero de ultra alta pureza son una sólida solución para la distribución de productos químicos UHP, agua desionizada y sistemas de distribución de productos químicos a granel.
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다이어프램 밸브 카테고리
UHP 개폐용 다이어프램 밸브, DP 시리즈
직선형 패턴 및 수동 작동, 통합형 액추에이터가 있는 멀티포트 및 모듈 조립형(MSM)의 초고순도 차단 다이어프램 밸브를 알아보십시오.
UHP 대유량 다이어프램 밸브, DF 시리즈
스프링 없는 대유량 다이어프램 밸브로 사이클 수명을 늘려보십시오. 스프링이나 나사가 없으므로 청정도가 개선되며, 유체가 잔류하지 않는 매끄러운 유로로 퍼지 성능이 강화됩니다.
UHP 플루오르수지 다이어프램 밸브, DRP 시리즈
유체가 잔류하지 않는 매끄러운 유로로 응력과 유체 오염을 최소화하여 UHP 케미컬 시스템에서 최적의 성능과 긴 수명을 보장할 수 있습니다.
고순도 고압 다이어프램 밸브, DL 및 DS 시리즈
완전 밀폐 소프트시트 스템 팁, 표준 하단, 판넬 마운팅으로 반복적 차단이 가능한 고순도, 고압 다이어프램 밸브를 알아보십시오.
고온(Thermal-Immersion) 다이어프램 밸브, DH 시리즈
고온 봉입(Thermal-immersion) 다이어프램 밸브는 원자층 증착(ALD) 및 프리커서 공급 애플리케이션과 같은 고온 프로세스에 사용됩니다.
모듈형 가스 시스템용 스프링 없는 다이어프램 밸브, 1.125인치, DE 시리즈
스프링 없는 구조의 신뢰성 높고 강화된 제어 밸브는 모듈형 가스 시스템에서 효율적으로 작동하는 데 적합합니다.
벌크 가스 다이어프램 밸브, LD 시리즈
대유량 애플리케이션 벌크 가스 분배 다이어프램은 초고순도 차단, 벌크 가스 분배, 차단 애플리케이션 요구 조건을 충족하도록 설계되었습니다.
ダイヤフラム・バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。
Features: 1.125 in. C-seal and W-seal designs; Available in two- and three-port configurations; Compact pneumatic and manual actuators; Pneumatic actuator indicator ball: red for normally closed, green for normally open; Fixed orientation of actuator to body for consistency of installation; Corner chamfers on outlet side of body for visual indication of flow direction
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
DRP 시리즈 공기작동식 및 1/4 회전 수동식 2-방향 및 3-방향 모델; 공기 작동식 및 유량 조절과 바이패스가 가능한 수동식 모델 유체가 접촉되는 부위는 DuPont® Teflon® 개선된 PTFE 및 폴리프로필렌 개폐기 초고순도 시스템 부품에 적용되는 SEMI 표준 F57-0301 준수 확관형 및 Nippon Pillar® Super 300 연결구가 기본형; Flowell, space saver 및 기타 연결구 제공 가능 주문자 요청에 의한 매니폴드 및 부분 조립품 제공 가능
DL 및 DS 시리즈 패킹이 없는 금속 밀폐구조 용 압력 범위: 진공 ~ 3500 psig (241 bar) 온도 범위: –73 ~ 121°C (–100 ~ 250°F)
DP 시리즈 초고순도 사양에 적합 316L VIM-VAR 스텐레스강 몸체 저압용 및 고압용 모델 VCR®, 튜브 맞대기 용점 및 블럭 조립식 연결구 수동식 또는 공기작동식 개폐기
LD 시리즈 최대 사용 압력 300 psig (20.6 bar) 일반 차단 기능, 벌크 가스 분배 및 차단 서비스 주조, 단조 및 바 스톡 스텐레스강 몸체 재질 1/4 ~ 1 in. 및 12 ~ 25 mm 연결구
DF 시리즈 316L VAR 스텐레스강 몸체; 최대 사용 압력: 300 psig (20.6 bar); 1/4, 3/8 및 1/2 in. 그리고 10 및 12 mm 연결구
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혁신적인 최신 원자층 증착(ALD, Atomic Layer Deposition) 밸브 기술이 어떻게 첨단 기술 반도체 제조 시장을 변화시킬 수 있는지 소개합니다.