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Manomètres très haute pureté et à air propre et sec

Manomètres très haute pureté et à air propre et sec Swagelok® (séries PGU et PGC)

Équipés d’un tube de Bourdon, les manomètres très haute pureté et à air propre et sec Swagelok® permettent de contrôler avec une grande fiabilité le vide et les pressions positives dans un système.

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Les manomètres très haute pureté série PGU Swagelok® et les manomètres à air propre et sec série PGC Swagelok® sont conçus pour être utilisés dans diverses applications allant de la distribution de gaz en réseau aux outils de process. Leur précision est conforme aux normes ASME B40.1, EN837-1 et JIS B7505.

Les manomètres série PGU sont d’une “propreté” (très haute pureté) conforme aux normes SEMI/SEMATECH pour une utilisation dans des applications qui mettent en œuvre les gaz nécessaires à la fabrication des semi-conducteurs. Ils sont nettoyés et emballés dans une salle blanche de classe 100/10 et leurs raccordements sont en acier inoxydable 316L VAR. Les manomètres série PGC sont assemblés, nettoyés et emballés dans une salle blanche de classe 100. Leurs raccordements sont des raccordements filetés NPT de diamètre 1/4 po. Les manomètres des deux séries sont purgés à l’azote et protégés par un capuchon placé sur le raccordement fileté. Chaque manomètre très haute pureté ou à air propre et sec est complètement étalonné à l’usine et testé à l’hélium avec comme critère un taux de fuite maximal de 1 × 10-9 cm3 std/s.

Caractéristiques techniques

Plages de mesures Série PGU : du vide à 3000 psi, 200 bar, 21 MPa
Série PGC : du vide à 6000 psi, 400 bar, 40 MPa
Tailles des cadrans 28, 40 et 50 mm (1, 1 1/2 et 2 po)
Précision
  • 50 mm (2 po), ± 2 % / 1 % / 2 % de l’intervalle de mesure (ASME B40.1 Classe 1A, EN 837-1 Classe 2,5, JIS B7505 Classe 2,5)
  • 40 mm (1 1/2 po), ± 3 % / 2 % / 3 % de l’intervalle de mesure (ASME B40.1 Classe B, EN 837-1 Classe 4, JIS B7505 Classe 4)
  • 28 mm (1 po), ± 3 % de l’intervalle de mesure
Plage de température Ambiante : –40 à 60°C (–40 à 140°F)
Fluide : –40 à 100°C (–40 à 212°F)
Raccordements d’extrémité Série PGU : raccord VCR® femelle 1/4 po, raccord VCR mâle tournant 1/4 po, raccord VCR mâle intégré 1/4 po, montage en surface 1 1/2 po
Série PGC : Raccord fileté NPT mâle 1/4 po

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