Swagelok ® Membranventile zur Wärmeimmersion (Serie DH)
Die Membranventile der Serie DH von Swagelok zur Wärmeimmersion zeichnen sich durch eine besonders schnelle Betätigung aus und sind auf eine optimale Leistung in Hochtemperaturprozessen ausgelegt.
Weitere Informationen anfordernSwagelok® Membranventile der Serie DH zur Wärmeimmersion sind für Anwendungen konzipiert, in denen das Ventil vollständig in einer hochreinen Umgebung bei hohen Temperaturen arbeiten muss, wie z. B. bei der Atomlagenabscheidung (ALD) und entsprechend vorgelagerten Prozessen. Diese Ventile sind mit einem vollständig geschlossenen PFA-Sitz für den Einsatz unter hochreinen Bedingungen versehen, der mit einer Vielzahl von Chemikalien kompatibel ist und eine hervorragende Beständigkeit gegen Aufquellung und Verunreinigung bietet. Der Fließweg ohne Totzonen und Einschlussbereiche im Ventilkörper sorgt für maximale Durchflusskapazität.
Mit Durchflusskoeffizienten von bis zu 0,6, einer großen Auswahl an 1/4"- und 3/8"-Endanschlüssen sowie pneumatischer und manueller Betätigung werden unsere Ventile den unterschiedlichsten Systemanforderungen gerecht. Der in Ruhestellung geschlossene Stellantrieb ermöglicht Öffnungs- und Schließzeiten von weniger als 5 ms, und das Ventil ist auf eine optimale Leistung bei 220 °C (428 °F) ausgelegt.
Sie möchten mehr über die Ventile der Serie DH zur Wärmeimmersion wissen?
サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
関連資料／コラム記事
産業用流体システムに適したバルブを選定する方法
産業用流体システムやサンプリング・システムの設計アプリケーションに適したバルブを選定するためのSTAMPEDメソッドの適用方法を紹介します。
Q&A：半導体製造の過去・現在・将来
半導体装置メーカー、マイクロデバイス・メーカー、流体システム・ソリューションのプロバイダーが連携することで、数十年間にわたっていかにして半導体市場はムーアの法則の要求に追いつくことができたのでしょうか。これからの展望と併せて紹介します。
最適な合金で半導体製造の歩留まりを高める
重要な流体システム部品に適した金属材料を選定することで、エンドからエンドまでの製造の歩留まりを高め、長期的な収益性の向上を図る方法を紹介します。
1つの新しいバルブが半導体製造を変える3つの理由
今回は、原子層蒸着（ALD）バルブの最新テクノロジーが、ハイテク半導体メーカーにもたらす影響について紹介します。