text.skipToContent text.skipToNavigation
Клапаны для атомно-слоевого осаждения (ALD)

Клапаны Swagelok® для атомно-слоевого осаждения (ALD)

Клапаны Swagelok сверхвысокой чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают сверхвысокий циклический срок службы, высокую скорость срабатывания, уровни расхода, термопогружение и исключительную чистоту, необходимые для прецизионного дозирования и максимального увеличения выхода годных кристаллов в современном полупроводниковом производстве.

Запросить информацию о клапанах ALD

Seit Einführung der ALD-Ventiltechnologie arbeitet Swagelok zusammen mit Kunden aus der Halbleiterfertigung an neuen Lösungen, die mit den sich rasch ändernden Prozessanforderungen auf dem Markt Schritt halten können. Die fortschrittlichen ALD-Ventile überzeugen durch ein äußerst hohes Maß an Präzision, Konsistenz und Sauberkeit sowie eine lange Lebensdauer. ALD-Ventile von Swagelok® unterstützen effiziente Prozesse bei der Chipherstellung und helfen Ihnen, die mit der Atomlagenabscheidung verbundenen Herausforderungen zu meistern.

Vorteile unserer ultrahochreinen ALD-Ventile:

  • Äußerst lange Lebensdauer mit hohen Stellgeschwindigkeiten
  • Cv-Bereich von 0,27 bis 1,7
  • Temperaturbeständig bis 200 °C (392 °F) bei bestimmten Modellen
  • Elektronische oder optische Stellungssensoren für Stellantriebe optional verfügbar
  • Für ultrahochreine Anwendungen geeignet
  • Modulare Flächenmontage, Stumpfschweißfitting und VCR®-Verbindungen

Erfahren Sie mehr darüber, wie Sie Herausforderungen bei der Halbleiterherstellung mit ALD-Ventilen meistern

Atomic Layer Deposition (ALD) Valves Categories

Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD3 and ALD6 Series

Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD3 and ALD6 Series

ALD3 and ALD6 diaphragm valves offer ultrahigh cycle life, high-speed actuation, and strong performance in atomic layer deposition applications.
Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD7 Series

Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD7 Series

The Swagelok® ALD7 ultrahigh-purity diaphragm valve offers the precision and consistency needed to maximize chip yields in semiconductor manufacturing applications.

Ultrahigh-Purity Valves for High-Flow Applications, ALD20 Series

Ultrahigh-Purity Valves for High-Flow Applications, ALD20 Series

Advance atomic layer deposition technology with flow rates 2–3x higher than other ALD valves with the ALD20 ultrahigh-purity valve.

ALD-Ventile—Kataloge

Hier finden Sie ausführliche Produktinformationen zu Werkstoffen, Druckstufen, Auslegungstemperaturen, Optionen und Zubehör.

Montage eines ALD20-UHP-Ventils von Swagelok für den Reinraumeinsatz in der Halbleiterindustrie

Kleines Ventil mit großer Wirkung: Warum ein neues Ventil die Halbleiterproduktion verändern könnte

Erfahren Sie mehr darüber, wie die neueste Innovation in der ALD-Ventiltechnologie neue Möglichkeiten für Hersteller modernster Halbleiter schafft.

Neue Elemente aus dem Periodensystem in der Halbleiterfertigung nutzen

Ресурсы Swagelok специально для вас

Компоненты жидкостных и газовых систем Swagelok изготавливаются из материалов, предназначенных для длительной эффективной работы в условиях производства полупроводников.
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов

Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.

Карл Уайт (Carl White), обладающий почти 40-летним опытом работы на различных предприятиях, относящихся к цепи поставок в сфере производства полупроводников, рассказывает о прошлом, настоящем и будущем этой отрасли.
Вопросы и ответы. Полупроводниковое производство — вчера, сегодня, завтра

Узнайте, как сотрудничество между OEM-производителями оборудования, производителями микросхем и поставщиками решений для жидкостных и газовых систем позволило полупроводниковой отрасли десятилетиями придерживаться закона Мура, а также о том, куда двигаться дальше.

Сотрудничество компаний Rosendahl Nextrom и Swagelok для повышения эффективности работы
Производитель оптоволоконного оборудования повышает эффективность с помощью индивидуальных решений

С 1980-х годов Rosendahl Nextrom полагается на компанию Swagelok в развитии своего бизнеса. Узнайте больше о решениях, которые позволили компании опередить конкурентов и остаться в числе отраслевых лидеров.

Компания–производитель криогенных рефрижераторов Bluefors доверяет компонентам и решениям Swagelok для жидкостных и газовых систем.
Надежные решения в жидкостных и газовых системах для новых научно-исследовательских возможностей

Узнайте, почему финская компания-производитель криогенных рефрижераторов Bluefors доверяет компонентам и решениям Swagelok для жидкостных и газовых систем, которые способствуют развитию сферы квантовых вычислений, экспериментальной физики и других направлений.

This process may take several minutes. Please be patient and remain on the page.