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ダイヤフラム・バルブ

Swagelok®ダイヤフラム・バルブ

Swagelokダイヤフラム・バルブを使用すると、効率的に流れを締め切りながら、システム効率を向上させることができます。流路から障害物を一掃したデザインを採用しているため、たまり部分を最小限に抑えると同時にパージを促進することができます。長いサイクル・ライフを実現すると共に、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができるため、高純度および超高純度(UHP)アプリケーションのシステム要件に適合します。

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Swagelokダイヤフラム・バルブは、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができるため、高純度および超高純度(UHP)アプリケーションのニーズに適合します。流量係数(Cv値)は0.20~13です。流路から障害物を一掃したデザインおよび耐食性に優れた構造を採用しているため、清浄度が重要なアプリケーションに適しています。アクチュエーターは手動式、空気式、ロッキング・ハンドルから選ぶことができます。

ダイヤフラム・バルブは、原子層蒸着(ALD)用、大流量用、集積化ガス・システム用、サーマル・イマージョン用やフルオロポリマー製があり、超高純度のさまざまなアプリケーションに適しています。

  • Swagelokスプリングレス・ダイヤフラム・バルブ( 集積化ガス・システム 用)は取り付けが容易で、流れの方向を一目で確認することができます。熱安定性を向上させるシート設計を採用しています。
  • Swagelokダイヤフラム・バルブ(バルク・ガス供給用)は、優れた強度および柔軟性、長いサイクル・ライフを兼ね備えており、超高純度締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用など、さまざまなアプリケーションに対応することができます。
  • Swagelokサーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブは、高温/高純度環境において完全に封止することができるため、原子層蒸着(ALD) やプリカーサー供給アプリケーションに適しています。
  • Swagelok超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブは、超高純度の薬液供給システム、超純水システム、薬液のバルク供給システムに対して強力なソリューションを提供します。

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ダイヤフラム・バルブのカテゴリー

UHP 고압 다이어프램 밸브, DPH 시리즈

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초고순도 고압 다이어프램 밸브는 다양한 애플리케이션에 적합한 폭넓은 크기, 재질, 구성으로 공급 가능합니다.

UHP 플루오르수지 다이어프램 밸브, DRP 시리즈

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유체가 잔류하지 않는 매끄러운 유로로 응력과 유체 오염을 최소화하여 UHP 케미컬 시스템에서 최적의 성능과 긴 수명을 보장할 수 있습니다.

スペアー・パーツ/アクセサリー

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ダイヤフラム・バルブのメンテナンスを行う際の交換用部品/アクセサリー(ダイヤフラム・キット、シール・キット、ステム・キット、アクチュエーター交換キットなど)を幅広く取り揃えています。

マルチ・バルブ・マニホールド

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ダイヤフラム・バルブを使用したマルチバルブ・マニホールドは、信頼性の高いパフォーマンスを発揮し、高純度かつ精密な流体制御を実現します。

超高純度用大流量ダイヤフラム・バルブ、DFシリーズ

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스프링 없는 대유량 다이어프램 밸브로 사이클 수명을 늘려보십시오. 스프링이나 나사가 없으므로 청정도가 개선되며, 유체가 잔류하지 않는 매끄러운 유로로 퍼지 성능이 강화됩니다.

超高純度用締め切り型ダイヤフラム・バルブ、DPシリーズ

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超高純度用締め切り型ダイヤフラム・バルブには、ストレート型(手動式アクチュエーター付き)、マルチポート、集積型(MSM)(一体型アクチュエーター付き)があります。

高純度/高圧用ダイヤフラム・バルブ、DL/DSシリーズ

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高純度/高圧用ダイヤフラム・バルブは、ステムの先端がソフト・シート(プラスチック製)の変形を最小限に抑えるよう設計されており、繰り返し締め切ることが可能です。底部取り付けまたはパネル取り付けを選ぶことができます。

고온(Thermal-Immersion) 다이어프램 밸브, DH 시리즈

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고온 봉입(Thermal-immersion) 다이어프램 밸브는 원자층 증착(ALD) 및 프리커서 공급 애플리케이션과 같은 고온 프로세스에 사용됩니다.

모듈형 가스 시스템용 스프링 없는 다이어프램 밸브, 1.125인치, DE 시리즈

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스프링 없는 구조의 신뢰성 높고 강화된 제어 밸브는 모듈형 가스 시스템에서 효율적으로 작동하는 데 적합합니다.

벌크 가스 다이어프램 밸브, LD 시리즈

벌크 가스 다이어프램 밸브, LD 시리즈

대유량 애플리케이션 벌크 가스 분배 다이어프램은 초고순도 차단, 벌크 가스 분배, 차단 애플리케이션 요구 조건을 충족하도록 설계되었습니다.

ダイヤフラム・バルブのカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。

流量係数(C<sub>v</sub>値)計算ツール

流量を計算して適切なバルブを選定する

流量係数(Cv値)計算ツールを使用することで、ニーズに適したサイズのバルブを選定することができます。

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