Swagelok® 대유량 원자층 가공 애플리케이션용 초고순도 밸브(ALD20 시리즈)
Swagelok ALD20 초고순도 밸브는 낮은 증기 압력 프리커서 가스가 필요한 원자층 증착(ALD) 공정에 이상적인 대유량 성능을 제공합니다.
ALD20 밸브 정보 요청La válvula de alto caudal Swagelok® ALD20 de ultra alta pureza ofrece la fiabilidad y el rendimiento esperados de las válvulas ALD Swagelok®, a la vez que permite una estabilidad de temperatura y unas posibilidades de caudal antes inalcanzables. Permite a los fabricantes experimentar con diferentes procesos y productos químicos de baja presión de vapor, a fin de conseguir la deposición uniforme de gas necesaria para desarrollar la tecnología avanzada sin cambiar significativamente el proceso.
La válvula Swagelok ALD20, puede:
- Suministrar un caudal de 1,2 Cv con el mismo tamaño (1,5 pulg.) que las válvulas ALD existentes, ofreciendo un rendimiento mejorado sin necesidad de modificar la instalación.
- Suministrar un caudal aún mayor de 1,7 Cv con una variante estándar ligeramente más grande (1,75 pulg.)—el caudal más alto disponible actualmente para una válvula de ultra alta pureza y ciclo de vida útil ultra alto
- Estar sumergida en una caja de gas desde 10°C (50°F) hasta 200°C (392°F), eliminando la necesidad de aislar el actuador durante el caldeado y mejorando la consistencia de la deposición.
- Trabajar con una mayor resistencia a la corrosión con las opciones de cuerpo de acero inoxidable 316L VIM-VAR o aleación 22
- Apoyar la operación limpia a lo largo de un ciclo de vida útil ultra-alto para mayor integridad del proceso gracias a un fuelle altamente pulido con un acabado de 5 μpulg. Ra.
- Actuar repetidamente a alta velocidad (<10 ms) para obtener un caudal preciso y constante que cumpla los requisitos de dosificación.
También hay disponibles coeficientes de caudal personalizados
Vea Cómo la Válvula ALD20 Ayuda a Superar los Obstáculos del Procesado de Semiconductores
Especificaciones de la Válvula ALD20
| Presión de Servicio | Vacío hasta 1,4 bar (20 psig) |
| Presión de Rotura | > 220 bar (3200 psig) |
| Presión de Actuación | 4,9 a 6,2 bar (70 a 90 psig) |
| Temperatura | 10 a 200°C (50 a 392°F) |
| Coeficiente de Caudal (Cv) | 1,2 (MSM) o 1,7 (modelo recto) |
| Materiales del Cuerpo | 316L VIM-VAR o Aleación 22 |
| Material del Fuelle | Aleación 22 (Acabado a 5 μpulg. Ra de rugosidad media) |
| Conexiones Finales | Tipo (Tamaño): Accesorio Swagelok VCR hembra® (1/2 pulg), accesorio VCR macho giratorio (1/2 pulg), soldadura de tubo a tope de longitud de 0,50 pulg (1/2 pulg × 0,049 pulg), montaje modular superficial de alto caudal (1,5 pulg) con junta en C. |
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Catálogos de Válvulas Series ALD20
Encuentre información detallada de producto, incluidos materiales de construcción, valores nominales de presión y temperatura, las opciones y los accesorios.
Характеристики: Сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания; Cv в диапазоне от 0,27 до 0,62; возможность работы при температуре до 392 °F (200 °C) с термостойкими приводами; вариант исполнения с электронным датчиком положения привода; подходят для применения в сверхчистых системах с корпусом из нержавеющей стали 316L VIM-VAR; торцевые соединения VCR®, под приварку встык и модульные торцевые соединения для монтажа на поверхность.
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