text.skipToContent text.skipToNavigation
Клапаны сверхвысокой степени чистоты для систем с высоким расходом, серия ALD20

Клапаны Swagelok® сверхвысокой степени чистоты для систем с высоким расходом (серия ALD20)

Клапаны Swagelok серии ALD20 сверхвысокой степени чистоты обеспечивают более высокую пропускную способность, чем другие клапаны для атомно-слоевого осаждения (ALD), позволяя пользователям экспериментировать с газовыми прекурсорами с низким давлением парообразования в техпроцессах ALD.

Запросить дополнительную информацию

Создание условий для технологий будущего

Клапан ALD20 обеспечивает надежность и производительность, которые клиенты ожидают от клапанов Swagelok сверхвысокой чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD), а также недоступные ранее температурную стабильность и значения расхода. Это позволяет производителям экспериментировать с различными процессами и химическими составами с низким давлением пара для достижения однородного осаждения газа, необходимого для разработки современных технологий сегодня и в будущем.

Улучшенный расход. Минимальная занимаемая площадь.

Клапан ALD20 сверхвысокой степени чистоты разработан специально для расширения границ применения клапанной технологии атомно-слоевого осаждения (ALD) и обеспечивает уровень расхода в два–три раза выше по сравнению с возможностями старых клапанов ALD. Это дает производителям полупроводниковых микросхем потенциал не только улучшить выходные характеристики и повысить эффективность, но и сделать это без существенного изменения технологических процессов.

  • Клапан ALD20 способен обеспечить расход Cv 1,2 при той же занимаемой площади (1,5 дюйма), что и существующие клапаны ALD, предоставляя улучшенные рабочие характеристики без необходимости переоснащения существующего оборудования
  • Второй стандартный вариант исполнения клапана ALD20, занимающий немного больше места по ширине (1,75 дюйма), может обеспечить еще более высокий коэффициент расхода 1,7 — самый высокий показатель, достижимый в настоящее время для клапанов сверхвысокой степени частоты и сверхвысокого циклического срока службы
  • Также предлагается возможность настройки коэффициентов расхода по усмотрению клиента

Бескомпромиссное постоянство качества

Конструкция клапана ALD20 способствует стабильной работе в течение сверхвысокого циклического срока службы благодаря нескольким ключевым особенностям.

  • Весь клапан и привод полностью погружены в газовую камеру при температуре от 50 °F (10 °C) до 392 °F (200 °C), что исключает необходимость изолировать привод во время нагрева. В результате улучшается единообразие осаждения, поскольку газы с низким давлением пара находятся при температурах, способствующих оптимальному расходу
  • Варианты исполнения корпуса из нержавеющей стали 316L VIM-VAR или сплава 22 обеспечивают повышенную стойкость к коррозии в средах с повышенной агрессивностью
  • Сильфон с зеркальной полировкой со средней шероховатостью Ra 5 микродюймов обеспечивает чистую работу в течение сверхвысокого циклического срока службы для обеспечения целостности технологического процесса
  • Пневматический привод может обеспечить высокую скорость (< 10 мс) повторяемых переключений для обеспечения прецизионного единообразного расхода в целях удовлетворения требований дозировки

Технические характеристики

Рабочее давление От вакуума до 20 фунтов на кв. дюйм, ман. (1,4 бара)
Давление разрыва > 3200 фунтов на кв. дюйм, ман. (220 бар)
Давление срабатывания От 70 до 90 фунтов на кв. дюйм, ман. (от 4,9 до 6,2 бара)
Температура От 50 до 392 °F (от 10 до 200 °C)
Коэффициент расхода (Cv) 1,2 (модульный монтаж на поверхность) или 1,7 (прямая конфигурация)
Материалы корпуса 316L VIM-VAR или сплав 22
Материал сильфона Сплав 22 (средняя шероховатость Ra 5 микродюймов)
Торцевые соединения
Тип (размер) Фитинг с торцевым уплотнением VCR® с внутренней резьбой (1/2 дюйма)
Фитинг с торцевым уплотнением VCR с наружной резьбой с накидной гайкой (1/2 дюйма)
Соединение под приварку встык, длина 0,50 дюйма (1/2 x 0,049 дюйма)
Модульное соединение для монтажа на поверхность, высокий расход, C-образное уплотнение (1,5 дюйма)

Каталоги клапанов серии ALD20

Получите подробную информацию о продукции, в том числе о материалах изготовления, номинальных параметрах давления и температуры, вариантах исполнения и вспомогательных принадлежностях.

Сборка клапана Swagelok ALD20 сверхвысокой степени чистоты в чистом помещении для применения в полупроводниковой отрасли

Один новый клапан — и три причины, которые позволят ему изменить производство полупроводников

Узнайте, как новейшие достижения в технологии производства клапанов для атомно-слоевого осаждения (ALD) меняют условия игры в сфере высокотехнологичного производства полупроводников.

Узнайте больше о периодической таблице

Ресурсы Swagelok специально для вас

Компоненты жидкостных и газовых систем Swagelok изготавливаются из материалов, предназначенных для длительной эффективной работы в условиях производства полупроводников.
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов

Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.

Карл Уайт, обладающий почти 40-летним опытом работы на различных предприятиях, относящихся к цепи поставок в сфере производства полупроводников, рассказывает о прошлом, настоящем и будущем этой отрасли.
Вопросы и ответы. Полупроводниковое производство — вчера, сегодня, завтра

Узнайте, как сотрудничество между OEM-производителями оборудования, производителями микросхем и поставщиками решений для жидкостных и газовых систем позволило полупроводниковой отрасли десятилетиями придерживаться закона Мура, а также о том, куда двигаться дальше.

Сотрудничество компаний Rosendahl Nextrom и Swagelok для повышения эффективности работы
Производитель оптоволоконного оборудования повышает эффективность с помощью специализированных решений

С 1980-х годов Rosendahl Nextrom полагается на компанию Swagelok в развитии своего бизнеса. Узнайте больше о решениях, которые позволили компании обойти конкурентов и остаться в числе отраслевых лидеров.

Компания-производитель криогенных рефрижераторов Bluefors доверяет компонентам и решениям Swagelok для жидкостных и газовых систем.
Надежные решения в жидкостных и газовых системах для новых научно-исследовательских возможностей

Узнайте, почему финская компания-производитель криогенных рефрижераторов Bluefors доверяет компонентам и решениям Swagelok для жидкостных и газовых систем, которые способствуют развитию сферы квантовых вычислений, экспериментальной физики и других направлений.