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So können Sie Ihren Halbleiter-ALD-Prozess optimieren
Genauere und konsistentere ALD-Prozesse mithilfe des richtigen Ventils Die Maximierung des Durchsatzes zusammen mit immer komplexeren und präziseren Prozessen, die für die Herstellung der neuesten Mikrochips erforderlich sind, führt bei Halbleiter -Herstellern zu immer strengeren Prozesskontrollen....
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Ultrahochreine Membranventile, Serie ALD7
Das ultrahochreine ALD7-Ventil von Swagelok sorgt dafür, dass das Durchflussverhalten, die Durchflusskapazität, die Betätigungsgeschwindigkeit, die Temperaturwerte sowie die Reinheit sichergestellt sind, die zur Maximierung des Chip-Durchsatzes in neuen oder existierenden Halbleiterproduktionsanlage...
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