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高流量应用型超高纯度阀,ALD20 系列

Vannes ultra-haute pureté pour applications haut débit (série ALD20) Swagelok®

Les vannes ultra-haute pureté Swagelok ALD20 offrent une capacité de débit plus élevée que les autres vannes pour dépôt par couche atomique (ALD), permettant aux utilisateurs d’expérimenter des gaz précurseurs à faible pression de vapeur difficiles dans leurs process ALD.

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De nouvelles perspectives offertes

La vanne ALD20 offre non seulement la fiabilité et l’efficacité que nos clients sont en droit d’attendre d’une vanne ALD ultra-haute pureté Swagelok, mais aussi la possibilité d’atteindre une stabilité de la température et des capacités de débit jusque-là inaccessibles. Elle permet aux fabricants d'expérimenter différents procédés et l’utilisation de précurseurs à faible pression de vapeur saturante pour parvenir aux dépôts uniformes de gaz nécessaires pour développer aujourd'hui les technologies de pointe de demain.

Un débit amélioré. Un encombrement réduit.

La nouvelle vanne ultra-haute pureté ALD20 a été conçue spécialement pour dépasser les limites de la technologie actuelle de dépôt par couche atomique, avec des débits deux à trois fois supérieurs à ceux des vannes ALD utilisées aujourd’hui. Non seulement elle offre aux fabricants de puces semi-conductrices la possibilité d’augmenter leur production et de gagner en efficience, mais elle leur permet de le faire sans devoir apporter des modifications majeures à leurs procédés de fabrication.

  • Avec un coefficient de débit de 1,2 Cv pour un encombrement identique (1,5 po) à celui des vannes ALD actuelles, la vanne ALD20 offre des performances accrues sans que le matériel en place ne nécessite d’être réorganisé
  • Une deuxième vanne ALD20 standard, légèrement plus large (1,75 po), avec un coefficient de débit encore plus élevé de 1,7, soit le plus élevé actuellement disponible pour une vanne ultra-haute pureté à nombre de cycles ultra-élevé.
  • Des coefficients de débit fixés par le client sont également possibles

Des performances d’une régularité irréprochable

Certaines caractéristiques essentielles de la vanne ALD20 favorisent un fonctionnement optimal pendant toute la durée de vie de la vanne :

  • °Il est possible d’immerger complètement la vanne et l’actionneur dans une unité d’alimentation en gaz à des températures comprises entre 10 °C (50 °F) et 200 °C (392 °F), ce qui élimine la nécessité d'isoler l'actionneur pendant le chauffage. L’uniformité des dépôts s’en trouve améliorée, car les gaz à faible pression de vapeur saturante sont maintenus à des températures favorisant un écoulement optimal
  • Le corps fabriqué en acier inoxydable 316L VIM-VAR ou en alliage 22 offre une résistance accrue à la corrosion face à des fluides de plus en plus agressifs
  • Un soufflet hautement poli à 5 μpo de Ra favorise une exploitation propre sur un nombre de cycles ultra-élevé, contribuant ainsi à l’intégrité des procédés
  • Un actionneur pneumatique aux déplacements reproductibles et ultrarapides (<10 ms) garantit un débit régulier et précis répondant aux impératifs de dosage

Caractéristiques techniques

Pression de serviceVide jusqu’à 1,4 bar (20 psig)
Pression d'éclatement> 220 bar (3200 psig)
Pression d'actionnement4,8 à 6,2 bar (70 à 90 psig)
Température10 °C à 200 °C (50 °F à 392 °F)
Coefficient de débit (Cv)1,2 (montage modulaire en surface) ou 1,7 (config. droite)
Matériaux du corpsAcier inoxydable 316L VIM-VAR ou alliage 22
Matériau du souffletAlliage 22 (finition de surface de 5 μpo de Ra)
Raccordements d'extrémité
Type (taille)Raccord VCR® femelle (1/2 po)
Raccord VCR mâle tournant (1/2 po)
Tube à souder bout à bout, 0,50 po de long (1/2 po x 0,049 po)
Joint en C haut débit à montage modulaire de surface (1,5 po)

Catalogues des vannes de la série ALD20

Trouver des informations détaillées sur nos produits – matériaux de fabrication, pressions et températures nominales, options, accessoires, etc.

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