Swagelok®ダイヤフラム・バルブ
Swagelokダイヤフラム・バルブを使用すると、効率的に流れを締め切りながら、システム効率を向上させることができます。流路から障害物を一掃したデザインを採用しているため、たまり部分を最小限に抑えると同時にパージを促進することができます。長いサイクル・ライフを実現すると共に、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができるため、高純度および超高純度（UHP）アプリケーションのシステム要件に適合します。
ダイヤフラム・バルブを見るSwagelokダイヤフラム・バルブは、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができるため、高純度および超高純度（UHP）アプリケーションのニーズに適合します。流量係数（Cv値）は0.20～13です。流路から障害物を一掃したデザインおよび耐食性に優れた構造を採用しているため、清浄度が重要なアプリケーションに適しています。アクチュエーターは手動式、空気式、ロッキング・ハンドルから選ぶことができます。
ダイヤフラム・バルブは、原子層蒸着（ALD）用、大流量用、集積化ガス・システム用、サーマル・イマージョン用やフルオロポリマー製があり、超高純度のさまざまなアプリケーションに適しています。
- Swagelokスプリングレス・ダイヤフラム・バルブ（ 集積化ガス・システム 用）は取り付けが容易で、流れの方向を一目で確認することができます。熱安定性を向上させるシート設計を採用しています。
- Swagelokダイヤフラム・バルブ（バルク・ガス供給用）は、優れた強度および柔軟性、長いサイクル・ライフを兼ね備えており、超高純度締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用など、さまざまなアプリケーションに対応することができます。
- Swagelokサーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブは、高温／高純度環境において完全に封止することができるため、原子層蒸着（ALD） やプリカーサー供給アプリケーションに適しています。
- Swagelok超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブは、超高純度の薬液供給システム、超純水システム、薬液のバルク供給システムに対して強力なソリューションを提供します。
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ダイヤフラム・バルブのカテゴリー
Bulk-Gas Diaphragm Valves, LD Series
High-flow application bulk-gas distribution diaphragm, designed to meet ultrahigh-purity shutoff, bulk-gas distribution, and isolation application needs.
Springless Diaphragm Valves for Modular Gas Systems, 1.125 in, DE Series
Reliable and enhanced control valves with a springless design are ideal for efficient operation in modular gas systems.
Thermal-Immersion Diaphragm Valves, DH Series
Thermal-immersion diaphragm valves are used in high-temperature processes such as atomic-layer deposition (ALD) and precursor delivery applications.
Ultrahigh-Purity Fluoropolymer Diaphragm Valves, DRP Series
Ensure optimal performance and longevity in UHP chemical systems with a fully swept flow path to minimize stress and fluid contamination.
Ultrahigh-Purity High-Flow Diaphragm Valves, DF Series
Increase cycle life with high-flow, springless diaphragm valves. No springs or threads improve cleanliness and fully swept flow path enhances purging.
Ultrahigh-Purity High-Pressure Diaphragm Valves, DPH Series
Ultrahigh-purity, high-pressure diaphragm valves are available in a variety of sizes, materials, and configurations for various applications.
スペアー・パーツ／アクセサリー
ダイヤフラム・バルブのメンテナンスを行う際の交換用部品／アクセサリー（ダイヤフラム・キット、シール・キット、ステム・キット、アクチュエーター交換キットなど）を幅広く取り揃えています。
超高純度用締め切り型ダイヤフラム・バルブ、DPシリーズ
View ultrahigh-purity shutoff diaphragm valves with straight pattern and manual actuation, multiport and modular surface mount (MSM) with integrated actuators.
高純度／高圧用ダイヤフラム･バルブ、DL／DSシリーズ
高純度／高圧用ダイヤフラム・バルブは、ステムの先端がソフト・シート（プラスチック製）の変形を最小限に抑えるよう設計されており、繰り返し締め切ることが可能です。底部取り付けまたはパネル取り付けを選ぶことができます。
ダイヤフラム・バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。
Features: 1.125 in. C-seal and W-seal designs; Available in two- and three-port configurations; Compact pneumatic and manual actuators; Pneumatic actuator indicator ball: red for normally closed, green for normally open; Fixed orientation of actuator to body for consistency of installation; Corner chamfers on outlet side of body for visual indication of flow direction
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
Features: Pneumatic and quarter-turn manual 2-way and 3-way models; pneumatic and manual models with adjustable flow and bypass features; DuPont® Teflon® modified PTFE wetted parts and polypropylene actuator; Meet SEMI Standard F57-0301 for ultrahigh-purity system components; Fine thread flare and Nippon Pillar® Super 300 end connections standard; space saver and other end connections available; Custom manifolds and subassemblies available
Features: Packless, all-metal containment; Working pressures from vacuum to 3500 psig (241 bar); Temperatures from –100 to 250°F (–73 to 121°C)
Features: Suitable for ultrahigh-purity applications; 316L VIM-VAR stainless steel body; Low-pressure and high-pressure models; VCR®, tube butt weld, and modular surface-mount end connections; Manual or pneumatic actuation
Features: Working pressures up to 300 psig (20.6 bar); Shutoff, bulk-gas distribution, and isolation service; Cast, forged, and bar stock stainless steel body material; 1/4 to 1 in. and 12 to 25 mm end connections
Features: 316L VAR stainless steel body; Working pressures up to 300 psig (20.6 bar); 1/4, 3/8, and 1/2 in.; 10 and 12 mm end connections
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