Swagelok® Atomic Layer Deposition (ALD) Valves
Swagelok ultrahigh-purity atomic layer deposition (ALD) valves offer the ultrahigh cycle life, high-speed actuation, flow rates, thermal immersibility, and extreme cleanliness needed to enable precise dosing and maximize chip yield in advanced semiconductor manufacturing applications.
Request ALD Valve InformationSince introducing the world to ALD valves, we have worked closely with semiconductor tool OEMs and fabs to deliver advanced ALD valve technology that provides the extreme levels of precision, consistency, cleanliness, and high cycle life necessary to keep up with the quick pace of innovation in the marketplace. Swagelok® ALD valves can support increased chip production efficiency and overcome the challenges that are often associated with ALD processes.
Our ALD ultrahigh-purity valves feature:
- Ultrahigh cycle life with high-speed actuation
- Cv ranging from 0.27 to 1.7
- Temperature capability up to 392°F (200°C) for specified models
- Electronic or optical actuator position-sensing option
- Cleanliness suitability for ultrahigh-purity applications
- Modular surface mount, tube butt weld, and VCR® end connections
Категории клапанов для атомно-слоевого осаждения (ALD)
Клапаны сверхвысокой степени чистоты для систем с высоким расходом, серия ALD20
Технология атомно-слоевого осаждения с величиной расхода в 2-3 раза выше, чем у других клапанов ALD благодаря клапану сверхвысокой степени чистоты ALD20.
Мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты, серии ALD3 и ALD6
Мембранные клапаны ALD3 и ALD6 обеспечивают сверхвысокий циклический срок службы, высокую скорость срабатывания и эффективную работу в системах атомно-слоевого осаждения.
Мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты, серия ALD7
Мембранные клапаны Swagelok® ALD7 сверхвысокой степени чистоты обеспечивают точность и единообразие, необходимые для максимального увеличения выхода годных кристаллов в полупроводниковой промышленности.
Atomic Layer Deposition (ALD) Valve Catalogs
Locate detailed product information, including materials of construction, pressure and temperature ratings, options, and accessories.
Характеристики: Сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания; Cv в диапазоне от 0,27 до 0,62; возможность работы при температуре до 392 °F (200 °C) с термостойкими приводами; вариант исполнения с электронным датчиком положения привода; подходят для применения в сверхчистых системах с корпусом из нержавеющей стали 316L VIM-VAR; торцевые соединения VCR®, под приварку встык и модульные торцевые соединения для монтажа на поверхность.
One New Valve: Three Reasons It Could Change Semiconductor Manufacturing
Find out how the latest innovation in atomic layer deposition (ALD) valve technology is changing the game for high-tech semiconductor manufacturers.
Unlock More of the Periodic TableLes ressources de Swagelok sélectionnées pour vous
Améliorer les rendements de fabrication des semi-conducteurs avec des alliages optimisés
Découvrez comment les fabricants de semi-conducteurs peuvent améliorer leurs rendements de fabrication d’un bout à l’autre de la chaîne et accroître leur rentabilité à long terme en choisissant les bons métaux pour les composants de leurs systèmes fluides critiques.
Q&R : le passé, le présent et l’avenir de la fabrication des semi-conducteurs
Découvrez comment la collaboration entre des équipementiers du secteur des semi-conducteurs, des fabricants de puces et des fournisseurs de solutions pour systèmes fluides a permis au marché de tenir le rythme imposé par la loi de Moore pendant des décennies, et ce que nous réserve l’avenir.
Un fabricant d’équipements pour le secteur des fibres optiques gagne en efficience grâce à des solutions sur mesure
Depuis les années 1980, Rosendahl Nextrom s’appuie sur Swagelok pour développer ses activités. Découvrez les solutions qui ont permis à l’entreprise de devancer ses concurrents et de rester leader dans son secteur.
Des systèmes fluides pour des applications aux confins de la science
Découvrez pourquoi Bluefors, fabricant finlandais de réfrigérateurs à dilution, fait confiance aux composants et solutions Swagelok pour les systèmes fluides de réfrigérateurs nécessaires à l’informatique quantique, à la physique expérimentale et à bien d’autres applications.