text.skipToContent text.skipToNavigation
Atomic Layer Deposition (ALD) Valves

Клапаны Swagelok® для атомно-слоевого осаждения (ALD)

Клапаны Swagelok сверхвысокой чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают сверхвысокий циклический срок службы, высокую скорость срабатывания, уровни расхода, термопогружение и исключительную чистоту, необходимые для прецизионного дозирования в современном полупроводниковом производстве.

Запросить дополнительную информацию

Наши высокоэффективные клапаны для атомно-слоевого осаждения — яркий пример того, как компания Swagelok в течение длительного времени обеспечивала ответственное техническое руководство в отрасли производства полупроводников. Познакомив мир с клапанной технологией ALD, компания Swagelok тесно сотрудничала с заказчиками из полупроводниковой отрасли, чтобы понять их потребности, а затем создать клапаны ALD, обеспечивающие высочайшие уровни точности, единообразия, чистоты и длительный срок службы, необходимые для соответствия стремительным темпам внедрения инноваций в отрасли. Наши клапаны сверхвысокой степени чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают:

  • сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания;
  • коэффициенты расхода от 0,27 до 1,7;
  • работу с полным погружением при температуре до 392 °F (200 °C) с термостойкими приводами;
  • пригодность для применения в сверхчистых системах со стандартными корпусами клапанов из нержавеющей стали 316L VIM-VAR;
  • модульные соединения для монтажа на поверхность, соединения под приварку встык и торцевые соединения Swagelok VCR®;
  • вариант исполнения с электронным или оптическим датчиком положения привода.

Каталоги клапанов для атомно-слоевого осаждения (ALD)

Получите подробную информацию о продукции, в том числе о материалах изготовления, номинальных параметрах давления и температуры, вариантах исполнения и вспомогательных принадлежностях.

Cleanroom assembly of a Swagelok ALD20 UHP valve for semiconductor industry use

Один новый клапан — и три причины, которые позволят ему изменить производство полупроводников

Узнайте, как новейшие достижения в технологии производства клапанов для атомно-слоевого осаждения (ALD) меняют условия игры в сфере высокотехнологичного производства полупроводников.

Узнайте больше о периодической таблице

Ресурсы Swagelok специально для вас

Swagelok fluid system components are available in materials designed to last in semiconductor manufacturing environments.
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов

Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.

Carl White, who has spent nearly 40 years working at various points in the semiconductor industry supply chain, offers a firsthand perspective on the past, present, and future of semiconductor industry advancement.
Вопросы и ответы. Полупроводниковое производство — вчера, сегодня, завтра

Узнайте, как сотрудничество между OEM-производителями оборудования, производителями микросхем и поставщиками решений для жидкостных и газовых систем позволило полупроводниковой отрасли десятилетиями придерживаться закона Мура, а также о том, куда двигаться дальше.

Rosendahl Nextrom and Swagelok collaborating to maximize operational efficiency
Производитель оптоволоконного оборудования повышает эффективность с помощью специализированных решений

С 1980-х годов Rosendahl Nextrom полагается на компанию Swagelok в развитии своего бизнеса. Узнайте больше о решениях, которые позволили компании обойти конкурентов и остаться в числе отраслевых лидеров.

Dilution refrigerator manufacturer Bluefors trusts Swagelok for fluid system components and solutions.
Надежные решения в жидкостных и газовых системах для новых научно-исследовательских возможностей

Узнайте, почему финская компания-производитель криогенных рефрижераторов Bluefors доверяет компонентам и решениям Swagelok для жидкостных и газовых систем, которые способствуют развитию сферы квантовых вычислений, экспериментальной физики и других направлений.