text.skipToContent text.skipToNavigation
Мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты, серия ALD7

Мембранные клапаны Swagelok® сверхвысокой степени чистоты (серия ALD7)

Клапаны Swagelok серии ALD7 сверхвысокой степени чистоты обеспечивают стабильный расход и пропускную способность, скорость приведения в действие, температурные параметры и уровень чистоты, помогающие увеличить выпуск чипов при использовании новых или имеющихся инструментов для производства полупроводников.

Запросить дополнительную информацию

Революционное решение для стабильной эффективной работы

Мембранный клапан Swagelok серии ALD7 сверхвысокой степени чистоты — новейшее достижение в технологии атомно-слоевого осаждения (ALD), разработанной по результатам более чем 50-летнего сотрудничества компании Swagelok с производителями полупроводников и инструментов. Данный высокоэффективный полупроводниковый клапан позволяет производителям инструментов и чипов увеличить объемы их производства и повысить прибыльность, обеспечивая стабильный расход и пропускную способность, скорость приведения в действие и работу при высоких температурах, необходимые для преодоления ограничений в рамках имеющихся производственных процессов.

Точность без компромиссов

Предлагая более высокую скорость срабатывания, термостабильность при высоких температурах и повышенную коррозионную стойкость, клапаны серии ALD7 обеспечивают стабильно эффективную работу всех клапанов и камер, а также единообразное дозирование в течение сверхдлительного срока службы.

  • Клапаны серии ALD7 обеспечивают точное дозирование на протяжении нескольких миллионов циклов даже в самых тяжелых условиях в процессе атомно-слоевого осаждения
  • Использование усовершенствованной технологии привода позволяет этим полупроводниковым клапанам работать быстрее, чем при использовании стандартных промышленных технологий — скорость срабатывания составляет всего лишь 5 мс
  • Привод выдерживает погружение при температуре до 150 °C, а сам клапан рассчитан на работу при температуре до 200 °C, обеспечивая стабильный расход при высоких температурах и в условиях вакуума
  • Корпус клапана изготовлен из нержавеющей стали 316L VIM-VAR сверхвысокой степени чистоты собственной разработки компании Swagelok, что обеспечивает стойкость клапана серии ALD7 к коррозионным газам

Высокая эффективность. Минимальная потребность в доработке.

Клапаны серии ALD7 обеспечивают пропускную способность, сравнимую с существующими полупроводниковыми клапанами, при тех же размерах. Их компактная конструкция помогает производителям полупроводников повышать производительность устаревшего оборудования без значительных изменений технологического процесса.

  • Клапаны серии ALD7 могут обеспечить коэффициент расхода (Cv) до 0,7, а также точное, повторяемое дозирование в каждой камере
  • Размеры клапана серии ALD7 такие же, как и у полуторадюймовых стандартных промышленных клапанов Swagelok для атомно-слоевого осаждения
  • Клапан имеет встроенный термоизолятор, который уменьшает сечение клапана, позволяя проектировщикам системы максимально эффективно использовать ограниченное пространство возле реакционной камеры

Технические характеристики

Рабочее давлениеОт вакуума до 145 фунтов на кв. дюйм, ман. (10,0 бара)
Давление разрыва> 3200 фунтов на кв. дюйм, ман. (220 бар)
Давление срабатыванияОт 60 до 120 фунтов на кв. дюйм, ман. (от 4,1 до 8,27 бара)
Номинальная температураКорпус клапана: от 32 °F (0 °C) до 392 °F (200 °C)
Привод: от 32 °F (0 °C) до 302 °F (150 °C)
Коэффициент расхода Cv 0,7
Материалы корпусаНерж. сталь 316L VIM-VAR
Материал мембраныСпециальный сплав на основе кобальта
Торцевые соединения
ТипФитинги VCR®
Соединение под приварку встык
C-образное модульное уплотнение размером 1,5 дюйма с высоким расходом для монтажа на поверхность

Каталоги клапанов серии ALD7

Получите подробную информацию о продукции, в том числе о материалах изготовления, номинальных параметрах давления и температуры, вариантах исполнения и вспомогательных принадлежностях.

Клапаны и коллекторы ALD

Способы решения основных проблем, связанных с обработкой полупроводников методом атомно-слоевого осаждения (ALD) и атомно-слоевого травления (ALE)

Для процесса обработки полупроводников методами атомно-слоевого осаждения (ALD) и атомно-слоевого травления (ALE) характерны определенные проблемы и сложности. Узнайте, как правильный выбор технологических клапанов поможет вам справиться с ними.

Выберите подходящие клапаны для задач ALD

Ресурсы Swagelok специально для вас

Компоненты жидкостных и газовых систем Swagelok изготавливаются из материалов, предназначенных для длительной эффективной работы в условиях производства полупроводников.
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов

Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.

Карл Уайт (Carl White), обладающий почти 40-летним опытом работы на различных предприятиях, относящихся к цепи поставок в сфере производства полупроводников, рассказывает о прошлом, настоящем и будущем этой отрасли.
Вопросы и ответы. Полупроводниковое производство — вчера, сегодня, завтра

Узнайте, как сотрудничество между OEM-производителями оборудования, производителями микросхем и поставщиками решений для жидкостных и газовых систем позволило полупроводниковой отрасли десятилетиями придерживаться закона Мура, а также о том, куда двигаться дальше.

Сотрудничество компаний Rosendahl Nextrom и Swagelok для повышения эффективности работы
Производитель оптоволоконного оборудования повышает эффективность с помощью индивидуальных решений

С 1980-х годов Rosendahl Nextrom полагается на компанию Swagelok в развитии своего бизнеса. Узнайте больше о решениях, которые позволили компании опередить конкурентов и остаться в числе отраслевых лидеров.

Компания-производитель криогенных рефрижераторов Bluefors доверяет компонентам и решениям Swagelok для жидкостных и газовых систем.
Надежные решения в жидкостных и газовых системах для новых научно-исследовательских возможностей

Узнайте, почему финская компания-производитель криогенных рефрижераторов Bluefors доверяет компонентам и решениям Swagelok для жидкостных и газовых систем, которые способствуют развитию сферы квантовых вычислений, экспериментальной физики и других направлений.

Этот процесс может занять несколько минут. Дождитесь его завершения и не покидайте страницу.