text.skipToContent text.skipToNavigation
Мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты, серия ALD7

Мембранные клапаны Swagelok® сверхвысокой степени чистоты для атомно-слоевого осаждения (серия ALD7)

Клапаны Swagelok серии ALD7 сверхвысокой степени чистоты обеспечивают стабильный расход и пропускную способность, быструю отработку, температурные параметры и уровень чистоты, помогающие увеличить выпуск чипов при использовании новых или имеющихся инструментов для производства полупроводников.

Запросить информацию о клапанах ALD7

Мембранный клапан Swagelok® серии ALD7 для атомно-слоевого осаждения (ALD) дает возможность производителям полупроводников и изготовителям микросхем увеличить выход годной продукции, повысить рентабельность, обеспечить постоянство рабочего процесса при высоких температурах, что необходимо для преодоления ряда технических ограничений. Клапаны обеспечивают стабильность характеристик всех клапанов, во всех камерах и в дозировании в течение сверхвысокого циклического срока службы.

Клапан ALD7 от Swagelok:

  • Обеспечивает быстрое и точное дозирование в течение миллионов циклов для самых строгих требований, и отличается усовершенствованной технологией со временем отклика всего 5 мс
  • Устойчив к воздействию агрессивных газов благодаря корпусу из запатентованной сверхчистой нержавеющей стали Swagelok 316L VIM-VAR
  • Возможность нагрева до 200°C при сохранении максимальной рабочей температуры пневматического привода ниже 150°C
  • Обеспечивает коэффициент расхода (Cv) до 0,7 (доступны версии с индивидуальной заводской настройкой, обеспечивающие коэффициент расхода 0,5–0,7 Cv)
  • Размеры аналогичны стандартным ALD-клапанам Swagelok, при этом оснащен встроенным термоизолятором для максимального использования ограниченного пространства возле реакционной камеры

Клапаны ALD7, увеличенное изображение

Технические характеристики клапана ALD7

Рабочее давлениеОт вакуума до 145 psig (10,0 бар ман)
Давление разрыва> 3200 psig (220 бар ман)
Давление срабатыванияОт 60 до 120 psig (от 4,1 до 8,27 бар ман)
Номинальная температураСтандартный корпус клапана: от 32°F (0°C) до 392°F (200°C)
Коэффициент расходаСтандартный коэффициент расхода 0,7 Cv (устанавливается в заводских условиях)
Материалы корпусаНерж. сталь 316L VIM-VAR
Материал мембраныСпециальный сплав на основе кобальта
Торцевые соединенияТип: Фитинги VCR®, соединение под приварку встык, C-образное модульное уплотнение размером 1,5 дюйма с высоким расходом для монтажа на поверхность

Есть вопросы о клапанах ALD?

Свяжитесь с нашими специалистами

Ventile der Serie ALD7—Kataloge

Hier finden Sie ausführliche Produktinformationen zu Werkstoffen, Druckstufen, Auslegungstemperaturen, Optionen und Zubehör.

ALD-Ventile und Ventilblöcke

Wie Sie Herausforderungen bei der Halbleiterherstellung mittels ALD und ALE meistern

Die Fertigungsprozesse von Halbleitern mittels ALD und ALE sind mit inhärenten Herausforderungen und Komplexitäten verbunden. Erfahren Sie, wie Sie diese durch Auswahl der geeigneten Prozessventile erfolgreich meistern können.

Wählen Sie die richtigen Ventile für ALD-Herausforderungen

Swagelok-Ressourcen für Sie zusammengestellt

Die Fluidsystemkomponenten von Swagelok werden aus Werkstoffen gefertigt, die auch den schwierigsten Produktionsumgebungen in der Halbleiterindustrie standhalten.
Verbessern Sie Ihre Halbleiterproduktion durch den Einsatz optimierter Legierungen

Erfahren Sie, wie Halbleiterhersteller ihre Produktionsausbeute und Profitabilität durch Auswahl der passenden Werkstoffe für wichtige Fluidsystemkomponenten langfristig optimieren.

Mit fast 40 Jahren Erfahrung in der Halbleiterindustrie verfügt Carl White über eine einzigartige Perspektive auf die Entwicklungen und Fortschritte in der Branche.
Q&A: Entwicklungen und Trends in der Halbleiterherstellung

In diesem Artikel beschäftigen wir uns damit, wie die Zusammenarbeit zwischen Herstellern von Halbleiter-Fertigungsanlagen, Chipproduzenten und Fluidsystemanbietern in der Halbleiterindustrie über Jahrzehnte hinweg dazu beigetragen hat, dass das Mooresche Gesetz eingehalten werden konnte. Zudem werfen wir einen Blick in die Zukunft dieser schnelllebigen Branche.

Rosendahl Nextrom und Swagelok setzen auf Zusammenarbeit, um die betriebliche Effizienz zu maximieren
Hersteller für Glasfaserproduktionssysteme erhöht seine Effizienz durch maßgeschneiderte Lösungen für seine Kunden

Bereits seit den 1980er-Jahren setzt Rosendahl Nextrom auf die Zusammenarbeit mit Swagelok, um sich geschäftlich weiterzuentwickeln. Erfahren Sie mehr über die Lösungen, mit denen es der Firma gelungen ist, der Konkurrenz stets einen Schritt voraus zu sein und sich als Marktführer zu behaupten.

Als Hersteller von Mischungskryostaten setzt Bluefors auf Fluidsystemkomponenten und -lösungen von Swagelok.
Zuverlässige Fluidsystemlösungen für die Wissenschaft

Erfahren Sie mehr darüber, warum sich das finnische Unternehmen Bluefors bei der Herstellung seiner Mischungskryostate für Anwendungen in den Bereichen Quantum-Computing und Experimentalphysik auf die Fluidsystemkomponenten und -lösungen von Swagelok verlässt.

Этот процесс может занять несколько минут. Дождитесь его завершения и не покидайте страницу.