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Ventile für die Atomlagenabscheidung (ALD)

Swagelok® Ventile für die Atomlagenabscheidung (ALD)

Dank ihrer äußerst langen Lebensdauer, der sehr schnellen Auslösung, hohen Durchflussraten, der Fähigkeit zur Wärmeimmersion sowie ihrer herausragenden Sauberkeit sorgen die ultrahochreinen Ventile für die Atomlagenabscheidung (ALD) von Swagelok für eine präzise Dosierung und eine maximale Chipausbeute in der modernen Halbleiterfertigung.

Informationen zu ALD-Ventilen anfordern

Seit Einführung der ALD-Ventiltechnologie arbeitet Swagelok zusammen mit Kunden aus der Halbleiterfertigung an neuen Lösungen, die mit den sich rasch ändernden Prozessanforderungen auf dem Markt Schritt halten können. Die fortschrittlichen ALD-Ventile überzeugen durch ein äußerst hohes Maß an Präzision, Konsistenz und Sauberkeit sowie eine lange Lebensdauer. ALD-Ventile von Swagelok® unterstützen effiziente Prozesse bei der Chipherstellung und helfen Ihnen, die mit der Atomlagenabscheidung verbundenen Herausforderungen zu meistern.

Vorteile unserer ultrahochreinen ALD-Ventile:

  • Äußerst lange Lebensdauer mit hohen Stellgeschwindigkeiten
  • Cv-Bereich von 0,27 bis 1,7
  • Temperaturbeständig bis 200 °C (392 °F) bei bestimmten Modellen
  • Elektronische oder optische Stellungssensoren für Stellantriebe optional verfügbar
  • Für ultrahochreine Anwendungen geeignet
  • Modulare Flächenmontage, Stumpfschweißfitting und VCR®-Verbindungen

Erfahren Sie mehr darüber, wie Sie Herausforderungen bei der Halbleiterherstellung mit ALD-Ventilen meistern

ALD(原子層蒸着)用バルブのカテゴリー

大流量用超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD20シリーズ

大流量用超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD20シリーズ

原子層蒸着技術の進歩を支えるべく、超高純度用ALD20バルブは、他のALDバルブの2~3倍もの大流量に対応します。

超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD3 / ALD6シリーズ

超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD3 / ALD6シリーズ

ALD3/ALD6ダイヤフラム・バルブは、非常に優れたサイクル・ライフおよび高速作動という特徴を備えており、原子層蒸着アプリケーションにおいて高いパフォーマンスを発揮します。

超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD7シリーズ

超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD7シリーズ

Swagelok® ALD7超高純度用ダイヤフラム・バルブは、半導体製造アプリケーションにおいてデバイスの歩留まりを最大化するのに必要な精度および一貫性を備えています。

ALD-Ventile—Kataloge

Hier finden Sie ausführliche Produktinformationen zu Werkstoffen, Druckstufen, Auslegungstemperaturen, Optionen und Zubehör.

Montage eines ALD20-UHP-Ventils von Swagelok für den Reinraumeinsatz in der Halbleiterindustrie

Kleines Ventil mit großer Wirkung: Warum ein neues Ventil die Halbleiterproduktion verändern könnte

Erfahren Sie mehr darüber, wie die neueste Innovation in der ALD-Ventiltechnologie neue Möglichkeiten für Hersteller modernster Halbleiter schafft.

Neue Elemente aus dem Periodensystem in der Halbleiterfertigung nutzen

Swagelok-Ressourcen für Sie zusammengestellt

Die Fluidsystemkomponenten von Swagelok werden aus Werkstoffen gefertigt, die auch den schwierigsten Produktionsumgebungen in der Halbleiterindustrie standhalten.
Verbessern Sie Ihre Halbleiterproduktion durch den Einsatz optimierter Legierungen

Erfahren Sie, wie Halbleiterhersteller ihre Produktionsausbeute und Profitabilität durch Auswahl der passenden Werkstoffe für wichtige Fluidsystemkomponenten langfristig optimieren.

Carl White는 반도체 산업 공급망 내 다양한 분야에서 40년 가까이 종사했으며, 반도체 산업 발전의 과거와 현재, 미래에 대해 자신의 경험을 바탕으로 한 전망을 제시합니다.
Q&A: 반도체 제조의 과거와 현재, 그리고 미래

반도체 장비 OEM, 마이크로칩 제조업체, 유체 시스템 솔루션 제공업체가 어떻게 지난 몇십 년 동안 협력을 통해 반도체 시장이 무어의 법칙에 따른 수요를 충족하도록 해왔으며, 이제부터는 어떻게 해야 할 것인지 알아보십시오.

ローゼンダール・ネクストロム社とスウェージロックが業務効率化に向けて協業
光ファイバー装置メーカー、カスタマイズされたソリューションで効率アップを実現

ローゼンダール・ネクストロム社は、1980年代からスウェージロックのサポートを受けて、ビジネスを推進してきました。競合他社とは一線を画し、業界のトップを走り続けるローゼンダール・ネクストロム社のソリューション事例を紹介します。

希釈冷凍機メーカーのブルーフォース社は、スウェージロックの流体システム部品およびソリューションに信頼を寄せています。
Reliable Fluid System Solutions for the Scientific Frontier

Learn why Finnish dilution refrigerator manufacturer Bluefors trusts Swagelok for fluid system components and solutions that help enable quantum computing, experimental physics, and more.

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