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ALDプロセスにおける3つの課題とその解決方法
ALD/ALE半導体加工処理における課題を解決するには 高い精度が求められる 半導体ファブ の世界では、重要な流体システム部品の品質が鍵を握っていると言っても過言ではありません。例えば、原子層蒸着(ALD)や原子層エッチング(ALE)といったプロセスでは、使用するシステム部品に極めて高いクレンリネス(清浄度)が求められるものの、プロセス・ノードの微細化が進むにつれて、その維持が困難になりつつあります。また、製造プロセスの流体システムで用いられているガスの多くは危険有害性があるため、漏れのないシール性能も重要です。 このような状況から、半導体業界で使用されている流体システム部品(バルブ、...
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一般産業用流体システムの安全性チェックリスト
一般産業用流体システムの安全性チェックリスト Mike Frost、リージョナル・エリア・マネジャー、フィールド・エンジニアリング(アジア太平洋地域担当) 一般産業用流体システムは、さまざまな業界で、高圧・高温の液体とガスをプラント全体に移送しています。高品質な最終製品を提供するのはもちろん、プラント作業者の安全を守るという意味でも、流体システム性能の最適化は欠かせません。 例えば、オイル/ガス施設では、掘削装置を遠隔地や海洋に建設することが多いため、その安全性は流体システムを適切に稼働できるかにかかっています。このようなシステムは大型で複雑になることも珍しくなく、潜在的な危険エリアも多...
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流体システムの漏れを防止するには
チューブの前処理の質がシステムの性能を左右する どの精製所においても、非常に重要な接続部には、高品質なチューブと継手が採用されています。最適な接続部を実現するためには、材質、チューブ外径サイズ、肉厚、材料の特性、施設の仕様など、さまざまな要素を考慮することが求められます。 しかし、流体システムの正常なオペレーションにおいてこうした要素と同じくらい重要になるのは、接続作業において正確な手順を徹底することでしょう。不適切な取り付け作業は、チューブや継手に不具合が生じる最大要因のひとつです。また、安全で漏れがなく耐久性に優れた接続部を実現し、信頼性の高い流体システムを構築するには、継手を取り付...
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水素コンプレッサーのメーカーが高品質の継手を頼りにする理由とは
Q&A:PDCマシンズ社、極めて重要な水素の供給方法について語る 水素モビリティ 市場は、成長の一途をたどっています。これは、エスカレートする顧客の要求を満たすには、OEMは技術革新を続けなければならないことを意味します。この市場で優位性を獲得するには、流体システム・アプリケーションの優れた品質、信頼性、漏れのないパフォーマンスが極めて重要です。 PDCマシンズ社が製造している特殊ダイヤフラム・ガス・コンプレッサーは、代替エネルギーをはじめとするさまざまな産業で使用されています。PDCマシンズ社のソリューションは、車載用水素アプリケーションや水素ステーションなどに採用されています。こうし...
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海洋プラットフォームの流体システムを監査する3つの理由
海洋プラットフォームの流体システムを監査する3つの理由 Mark Garvey、フィールド・エンジニア、スウェージロック・スコットランド 「これがうちの掘削リグの現状だって? ありえない! 」 もしあなたが海洋石油/ガス ・プラットフォームの事業者だとしたら、こんな言葉を自分が発するなんて思いもよらないのではないでしょうか。 しかし私は、スウェージロック・スコットランドのフィールド・エンジニアとして働く中で、海洋石油/ガス事業の経営陣がこうした言葉を口にするのを何度も耳にしてきました。この言葉が発せられるのは決まって、海洋プラットフォームの小口径配管システムの監査結果を示した直後です。...
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圧力レギュレーターの基礎知識
圧力レギュレーターの基礎知識 圧力レギュレーター は、一般産業用流体システムや分析計装システムにおいて、重要な役割を担っています。圧力レギュレーターを使用することで、運用システムに変化が生じても、希望するシステム圧力や流量を維持することができます。流体システム技術者にとって、各種タイプのレギュレーターとそのしくみに関する実務的な知識が欠かせません。 レギュレーターに関する情報をお探しですか?アプリケーションに適したレギュレーターを選定する方法を知りたいですか?レギュレーターの流量曲線を平坦にする必要がありますか?あらゆる質問にスウェージロックがお答えします。今回は、圧力レギュレーターにつ...
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ガス供給システムの設計を改善し、コストを削減して安全性の向上を実現するには
Q&A:効率的にガスを供給し、コストの削減や安全性の向上を実現するには ガス供給システムは、精製所、研究施設、分析室といった産業施設における効率的なオペレーションに欠かせません。しかし、このような施設のオペレーション担当者は、ガスの供給をメイン業務としているわけではありません。その他の重要な業務に時間とリソースを割いているという方が大半ではないでしょうか。 しかし、自社で開発したシステムであれ、ガスのサプライヤーに依頼して組み立てたシステムであれ、ガス供給システムを最適化することで、現場の安全性を高め、オペレーション・コストを削減する機会が存在するはずです。実際、 スウェージロックのフィー...
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圧縮天然ガス(CNG)や液化天然ガス(LNG)用の継手を選定する
圧縮天然ガス(CNG)や液化天然ガス(LNG)用のチューブ継手を選定する際のポイント Chuck Hayes、新製品開発担当主任エンジニア 世界の自動車メーカーは、厳格化が進む排ガス規制への対応策として、圧縮天然ガス(CNG)や液化天然ガス(LNG)といったクリーンな燃料にシフトする傾向にあります。 CNGやLNGが持つ大きなビジネス・チャンスを活かすには、燃料源から車両に至るまでのあらゆるレベルにおいて、高品質な燃料供給システムのソリューションを開発する必要があります。あらかじめ曲げ加工を施した チューブ を用いた燃料ライン、 バルブ 、 フレキシブル・ホース 、 測定機器 ...
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水素用途に適した継手の構造
燃料電池テクノロジー用の継手に求められる4つの特性 Chuck Hayes、新製品開発主任エンジニア 安全で信頼性が高く、漏れのない燃料電池自動車やインフラを開発するにあたって、非常に手ごわい課題となるのは、水素そのものの性質であると言っても過言ではありません。 水素は低分子ガスです。わずかなすき間からでも容易に漏れ出し、材料内に拡散することがあります。また、自動車産業をはじめとする輸送市場では、70.0 MPaを超える圧力で水素を貯蔵し、車両に必要なエネルギー密度を実現することが必要です。燃料補給ステーションでは、熱や圧力の急激な変化によってシステムが悪影響を受ける可能性があります。貯...
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試料採取用ボンベのメンテナンスに関するFAQ
試料採取用ボンベのメンテナンスに関するFAQ Tristian McCallion、カスタム・ソリューションズ担当マネジャー、スウェージロック・エドモントン 日常業務の一環として グラブ・サンプリング を行っている場合は、 試料採取用ボンベ の安全な使用環境を維持することが必要不可欠です。ボンベの破損や不具合が生じると、スタッフの安全が脅かされたり、サンプリングの精度が低下したりするおそれがあります。よって、サンプリングを中心としたオペレーションにおいては、日頃から試料採取用ボンベの定期的なメンテナンスを行う必要があります。 グラブ・サンプリング関連サービスの詳細を見る ボンベ...
