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ALDプロセスにおける3つの課題とその解決方法
ALD/ALE半導体加工処理における課題を解決するには 高い精度が求められる 半導体ファブ の世界では、重要な流体システム部品の品質が鍵を握っていると言っても過言ではありません。例えば、原子層蒸着(ALD)や原子層エッチング(ALE)といったプロセスでは、使用するシステム部品に極めて高いクレンリネス(清浄度)が求められるものの、プロセス・ノードの微細化が進むにつれて、その維持が困難になりつつあります。また、製造プロセスの流体システムで用いられているガスの多くは危険有害性があるため、漏れのないシール性能も重要です。 このような状況から、半導体業界で使用されている流体システム部品(バルブ、...
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一般産業用流体システムの安全性チェックリスト
一般産業用流体システムの安全性チェックリスト Mike Frost、リージョナル・エリア・マネジャー、フィールド・エンジニアリング(アジア太平洋地域担当) 一般産業用流体システムは、さまざまな業界で、高圧・高温の液体とガスをプラント全体に移送しています。高品質な最終製品を提供するのはもちろん、プラント作業者の安全を守るという意味でも、流体システム性能の最適化は欠かせません。 例えば、オイル/ガス施設では、掘削装置を遠隔地や海洋に建設することが多いため、その安全性は流体システムを適切に稼働できるかにかかっています。このようなシステムは大型で複雑になることも珍しくなく、潜在的な危険エリアも多...
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海洋プラットフォームの流体システムを監査する3つの理由
海洋プラットフォームの流体システムを監査する3つの理由 Mark Garvey、フィールド・エンジニア、スウェージロック・スコットランド 「これがうちの掘削リグの現状だって? ありえない! 」 もしあなたが海洋石油/ガス ・プラットフォームの事業者だとしたら、こんな言葉を自分が発するなんて思いもよらないのではないでしょうか。 しかし私は、スウェージロック・スコットランドのフィールド・エンジニアとして働く中で、海洋石油/ガス事業の経営陣がこうした言葉を口にするのを何度も耳にしてきました。この言葉が発せられるのは決まって、海洋プラットフォームの小口径配管システムの監査結果を示した直後です。...
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一般産業用ホースの基礎知識
一般産業用ホースの基礎知識 一般産業用ホースについて詳しくご存じでしょうか? アプリケーションのニーズに適したホースの選定方法を知ることで、安全かつ効率的なシステムのオペレーションを実現することができます。適切にホースを選定するには、材質、コア、エンド・コネクションといったホースのさまざまな特性を見分ける必要があります。 ホースの選定に関して質問がありますか?スウェージロック・リファレンス・センターに掲載しているコラム記事の中から、ホースやその特性、アプリケーションなどに関する記事を以下にまとめました。 一般産業用ホースの交換: コア・チューブの材質に関する検討事項 一般産業用ホー...
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流体システムの漏れを防止するには
チューブの前処理の質がシステムの性能を左右する どの精製所においても、非常に重要な接続部には、高品質なチューブと継手が採用されています。最適な接続部を実現するためには、材質、チューブ外径サイズ、肉厚、材料の特性、施設の仕様など、さまざまな要素を考慮することが求められます。 しかし、流体システムの正常なオペレーションにおいてこうした要素と同じくらい重要になるのは、接続作業において正確な手順を徹底することでしょう。不適切な取り付け作業は、チューブや継手に不具合が生じる最大要因のひとつです。また、安全で漏れがなく耐久性に優れた接続部を実現し、信頼性の高い流体システムを構築するには、継手を取り付...
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ガス供給システムの設計を改善し、コストを削減して安全性の向上を実現するには
Q&A:効率的にガスを供給し、コストの削減や安全性の向上を実現するには ガス供給システムは、精製所、研究施設、分析室といった産業施設における効率的なオペレーションに欠かせません。しかし、このような施設のオペレーション担当者は、ガスの供給をメイン業務としているわけではありません。その他の重要な業務に時間とリソースを割いているという方が大半ではないでしょうか。 しかし、自社で開発したシステムであれ、ガスのサプライヤーに依頼して組み立てたシステムであれ、ガス供給システムを最適化することで、現場の安全性を高め、オペレーション・コストを削減する機会が存在するはずです。実際、 スウェージロックのフィー...
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水素コンプレッサーのメーカーが高品質の継手を頼りにする理由とは
Q&A:PDCマシンズ社、極めて重要な水素の供給方法について語る 水素モビリティ 市場は、成長の一途をたどっています。これは、エスカレートする顧客の要求を満たすには、OEMは技術革新を続けなければならないことを意味します。この市場で優位性を獲得するには、流体システム・アプリケーションの優れた品質、信頼性、漏れのないパフォーマンスが極めて重要です。 PDCマシンズ社が製造している特殊ダイヤフラム・ガス・コンプレッサーは、代替エネルギーをはじめとするさまざまな産業で使用されています。PDCマシンズ社のソリューションは、車載用水素アプリケーションや水素ステーションなどに採用されています。こうし...
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圧力レギュレーターの基礎知識
圧力レギュレーターの基礎知識 圧力レギュレーター は、一般産業用流体システムや分析計装システムにおいて、重要な役割を担っています。圧力レギュレーターを使用することで、運用システムに変化が生じても、希望するシステム圧力や流量を維持することができます。流体システム技術者にとって、各種タイプのレギュレーターとそのしくみに関する実務的な知識が欠かせません。 レギュレーターに関する情報をお探しですか?アプリケーションに適したレギュレーターを選定する方法を知りたいですか?レギュレーターの流量曲線を平坦にする必要がありますか?あらゆる質問にスウェージロックがお答えします。今回は、圧力レギュレーターにつ...
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小さなフットプリント(設置面積)ながら大きな影響力を持つ圧力計の不具合を検出する方法
圧力計の不具合を検出する方法 Dave Ross、シニア・テクニカル・サービス・エンジニア 業界を問わず、圧力計は小さいながらも、システム内では重要な役割を担っています。圧力計でシステム圧力を確認すれば、すべてが問題なく稼働しているかどうか、または差し迫った問題が生じていないかなどを知ることができます。 圧力計が正確に機能していなかった場合、有効なデータが失われ、システム圧力の過不足による影響が生じることから、システム自体の品質が低下するおそれがあります。圧力計の不具合が原因で、システム流体が外部環境に流出し、作業員の負傷、システムの不具合ならびにその対応に必要なダウンタイムと補修費用、シ...
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圧縮天然ガス(CNG)や液化天然ガス(LNG)用の継手を選定する
圧縮天然ガス(CNG)や液化天然ガス(LNG)用のチューブ継手を選定する際のポイント Chuck Hayes、新製品開発担当主任エンジニア 世界の自動車メーカーは、厳格化が進む排ガス規制への対応策として、圧縮天然ガス(CNG)や液化天然ガス(LNG)といったクリーンな燃料にシフトする傾向にあります。 CNGやLNGが持つ大きなビジネス・チャンスを活かすには、燃料源から車両に至るまでのあらゆるレベルにおいて、高品質な燃料供給システムのソリューションを開発する必要があります。あらかじめ曲げ加工を施した チューブ を用いた燃料ライン、 バルブ 、 フレキシブル・ホース 、 測定機器 ...