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Swagelok超高純度用バルブ ALD20シリーズは、低蒸発圧プリカーサー・ガスを必要とする原子層蒸着プロセスに適した大流量用バルブです。 Swagelok ® 超高純度用バルブ（大流量用） ALD20シリーズは、ALDバルブに求められている信頼性および性能を維持しつつ、かつては対応が難しかった温度の安定性および流量も達成しています。このため、メーカーは大幅な工程変更を行うことなく、最先端技術の開発に欠かせない均一な蒸着を実現するため、さまざまな工程と低い蒸気圧の組み合わせを試すことができます。 Swagelok ALD20シリーズ・バルブの特徴： 1.2の流量係数（C v 値）を実...

Swagelokダイヤフラム・バルブ ALD3／ALD6シリーズは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、最高0.62の流量係数を備えており、ALD（原子層蒸着）半導体製造に必要なプリカーサーの供給制御を行います。 Swagelok ® 超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD3／ALD6シリーズを使用すると、 半導体製造 時に蒸着チャンバー内でマイクロデバイスに1層ずつ堆積する際に使用するプリカーサー・ガスの信頼性を保ちつつ、高速供給を行うことができます。高パフォーマンスを誇るALD3／ALD6シリーズ・バルブは、非常に優れたサイクル・ライフ、アクチュエーター部分を含めた高温対応を特...

Swagelok超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD7シリーズは、新規または既存の半導体製造装置のスループットを最大化するのに必要な一貫した流量、開閉スピード、使用温度範囲、クレンリネス（清浄度）を備えています。 原子層蒸着（ALD）向けのSwagelok ® 超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD7シリーズを使用すると、 半導体製造装置メーカー やデバイス・メーカーは、製造工程の限界を克服するのに必要な一貫した流量、大流量、開閉スピード、高温性能を実現し、デバイスの歩留まりを向上させ、収益性を高めることができます。非常に優れたサイクル・ライフで、バルブ間、プリカーサーの供給間、チャ...

Swagelok超高純度用ALD（原子層蒸着）用バルブは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、流量、高温対応性、極めて高い清浄度を備えており、最先端の半導体製造アプリケーションにおいて正確なプリカーサーの供給を実現し、デバイスの歩留まりを最大化します。 ALD用バルブ を世界に送り出してからも、スウェージロックは半導体製造装置メーカーやファブと密接に協力して高度なALD用バルブ・テクノロジーを提供し、市場において急速に進む技術革新に対応する上で欠かせない非常に高いレベルの精度、一貫性、クレンリネス（清浄度）、優れたサイクル・ライフの実現に努めてきました。Swagelok ALD用バルブは、...

Swagelokアンモニア・サンプラーを使用することで、液体や気化したアンモニアの作業者への曝露を最小限に抑えることができるため、無水アンモニア・サンプリングの安全性が向上します。また、サンプリング作業が標準化されることにより、サンプリング・プロセスが大幅に短縮され、工場内でアンモニア・サンプルを運搬する必要が無くなります。 無水アンモニアは、肥料、プラスチック、繊維、石油などの製造に使用されます。貯蔵タンクでのアンモニアによる応力腐食割れや製品の品質低下を防止するため、アンモニアを定期的にサンプリングし、水分の含有量が0.2～0.5%であることを確認する必要があります。 スウェージロックのク...

スウェージロックは、プロセス流体分析に関する豊富な知識を活かして、Pre-Engineered Subsystems（PrESS）、流体システム・アセンブリー、部品など、さまざまなソリューションを提供します。また、設計、トラブルシューティング、トレーニング・サービスを通じて、幅広い流体システム・アプリケーションをサポートします。 スウェージロックがあらかじめ設計したサブシステム（Swagelokリミティッド・ライフタイム保証付き）を使用すると、さまざまな施設において流体のサンプリングおよび制御を簡素化することが可能になり、一貫性および容易な取り付けを実現します。アプリケーション・エンジニアが、...

Swagelok Pre-Engineered Subsystems（PrESS）は、流体システムの専門スタッフが設計と組み立てを行っており、コンパクトで精度が高く、使いやすいシステムです。 一定の設計と組み立て済みの流体サンプリング／制御サブシステムを使用すると、オペレーションの効率性や一貫性を確保することができます。Swagelok Pre-Engineered Subsystems（PrESS）を導入することで、流体サンプリング／制御システムを簡単に構築することができるため、何種類もの部品を購入して組み立てを行う手間を省くことができます。なお、PrESSには操作マニュアルが完備されていま...

ドーム・ロード式プロセス・レギュレーターは、ドループ（流量増加に伴う二次側圧力の降下）を最小限に抑え、一次側圧力や流量が変動しても、二次側圧力を一定に維持します。 背圧プロセス・レギュレーターは、レギュレーターの手動または遠隔でのオペレーションが適しているさまざまな一般産業アプリケーションに使用することができます。ドーム・ロード式プロセス・レギュレーターは、一次側圧力や流量が変動しても、二次側圧力を一定に維持します。この安定性は、設定スプリングを必要としない加圧ドーム制御メカニズムによって実現しています。 汎用性に優れた本レギュレーターは、特定のアプリケーションのニーズに合わせてカスタマイズす...

Swagelokボール・バルブおよびプラグ・バルブを使用することで、大半の産業において包括的な流体の締め切りソリューションを実現することができます。 ボール・バルブ | 信頼性の高い締め切り用バルブ。アプリケーションに合わせて選定・構成することが可能。 プラグ・バルブ | 安価ながら信頼性の高い締め切り用バルブ。低トルクで確実に開閉可能。 Swagelokボール・バルブは、 フュージティブ・エミッション（排出物の漏れ） や漏れを制御し、幅広いアプリケーションに使用可能です。繰り返し漏れの無い締め切りを実現する設計を採用しており、総所有コストを低く抑えることができます。スウェージロックでは、フル...

Swagelokベローズ･シール･バルブを使用すると、漏れの可能性を最小限に抑えることができます。大半のベローズ･シール･バルブでは、パックレス構造または溶接シールを採用しています。オペレーターの安全を確保し、意図したとおりのプロセス機能を実現するべく、外部シールが重要なアプリケーションにおいて、信頼性の高い漏れの無いパフォーマンスを発揮します。 Swagelokベローズ･シール･バルブには、さまざまなタイプや形状があり、一般的な用途から高純度用途に至るまで、幅広いアプリケーションに合わせて製品を選ぶことができます。豊富なオプション［ガスケットでボディとベローズの間をシールまたはボディとベロー...